Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники...

by Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Филатов, А.Ю., Монтей, Г.
Published 2017

Влияние рассеяния частиц износа инструмента в контактной зоне на формирование микропрофиля обработанной поверхности при полировании кварца...

by Филатов, Ю.Д., Филатов, А.Ю., Сирота, О.О., Ящук, В.П., Монтей, Г., Хайзель, У., Сторчак, М.
Published 2010