Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

за авторством Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И., Пономарь, В.Н., Шикуло, В.Е.
Опубліковано 2003