Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники

by Борисенко, А.Г.
Published 2013

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления

by Болтовец, Н.С., Борисенко, А.Г., Иванов, В.Н., Федорович, О.А., Кривуца, В.А., Полозов Б.П.
Published 2009

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия

by Борисенко, А.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Болтовец, Н.С., Иванов, В.Н., Свешников, Ю.Н.
Published 2005