Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь...

by Соколюк, Д.В., Куцай, О.М., Старик, С.П., Ткач, В.М., Стаценко, О.О., Білорусець, В.В.
Published 2014