Квазиоптическое масштабное моделирование влияния локализованных дефектов поверхности металлов на данные оптической эллипсометрии...

by Беляева, А.И., Галуза, A.A., Киселев, В.К., Коленов, И.В., Савченко, А.А., Кулешов, Е.М., Серебрянский, С.Ю.
Published 2014