Физические механизмы распыления мишеней из SiO₂ ускоренными ионами фуллерена C₆₀

by Малеев, М.В., Зубарев, Е.Н., Пуха, В.Е., Дроздов, А.Н., Вус, А.С.
Published 2015

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀

by Малеев, М.В., Зубарев, Е.Н., Пуха, В.Е., Дроздов, А.Н., Вус, А.С., Девизенко, А.Ю.
Published 2015

Особенности взаимодействия ускоренных инов С₆₀ с поверхностью ITO мишени

by Малеев, М.В., Зубарев, Е.Н., Пуха, В.Е., Дроздов, А.Н., Вус, А.С., Пеньков, А.В.
Published 2015