Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок...

by Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
Published 2009

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния...

by Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
Published 2008

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

by Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И., Пономарь, В.Н., Шикуло, В.Е.
Published 2003