Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

von Дуб, С.Н., Гончаров, А.А., Петухов, В.В.
Veröffentlicht 2009

Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов

von Гончаров, А.А., Дуб, С.Н., Агулов, А.В., Петухов, В.В.
Veröffentlicht 2015

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок...

von Петухов, В.В., Гончаров, А.А., Коновалов, В.А., Терпий, Д.Н., Ступак, В.А.
Veröffentlicht 2005