Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния...

за авторством Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
Опубліковано 2008

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок...

за авторством Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
Опубліковано 2009

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния...

за авторством Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
Опубліковано 2008

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок...

за авторством Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
Опубліковано 2009

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

за авторством Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И., Пономарь, В.Н., Шикуло, В.Е.
Опубліковано 2003

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

за авторством Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И., Пономарь, В.Н., Шикуло, В.Е.
Опубліковано 2003