Вплив умов осадження і відпалу на нанотвердість аморфних Si–C–N-плівок

von Порада, О.К.
Veröffentlicht 2015

Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття

von Порада, О.К., Козак, А.О., Іващенко, В.І., Дуб, С.М., Толмачева, Г.М.
Veröffentlicht 2016

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок

von Порада, О.К., Іващенко, В.І., Іващенко, Л.А., Козак, А.О., Ситіков, О.О.
Veröffentlicht 2019

Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів

von Іващенко, Л.А., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Карпець, М.В., Бутенко, О.О., Закієв, І.М.
Veröffentlicht 2009

Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H

von Иващенко, В.И., Порада, О.К., Иващенко, Л.А., Дуб, С.Н., Тимофеева, И.И., Гришнова, Л.А.
Veröffentlicht 2010

Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si

von Сукач, А.В., Тетьоркін, В.В., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Козак, А.О., Ткачук, А.І., Ворощенко, А.Т.
Veröffentlicht 2013

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням...

von Козак, А.О., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Іващенко, Л.А., Синельниченко, О.К., Дуб, С.М., Литвин, О.С., Тимофєєва, І.І., Толмачева, Г.М.
Veröffentlicht 2015