Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники

by Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Прихна, Т.А., Филатов, А.Ю., Ковалев, С.В., Боримский, А.И., Панова, А.Н., Кулич, В.Г., Ветров, А.Г., Данильченко, Я.Л., Сильченко, М.А.
Published 2015