The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition

von Demchishin, A.V., Evsyukov, A.N., Goncharov, A.A., Kostin, E.G.
Veröffentlicht 2008

The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron

von Panchenko, O.A., Goncharov, A.A., Demchishin, A.V., Kostin, E.G., Pavlov, S.N., Stetsenko, B.V.
Veröffentlicht 2005

Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications

von Goncharov, A., Demchishin, A., Dobrovolskiy, A., Kostin, E., Panchenko, O., Pavlov, C., Protsenko, I., Stetsenko, B., Ternovoy, E., Brown, I. G.
Veröffentlicht 2005