APA (7th ed.) Citation

Гладковский, В., Костин, Е., Полозов, Б., Федорович, О., & Петряков, В. (2014). Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Гладковский, В.В, Е.Г Костин, Б.П Полозов, О.А Федорович, and В.А Петряков. Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2014.

MLA (8th ed.) Citation

Гладковский, В.В, et al. Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2014.