Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть вторая: эксперимент - Гаркавенко, А.С.; Мокрицкий, В.А.; Банзак, О.В.; Завадский, В.А. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2014)
При облучении полупроводниковых кристаллов мощными (сильноточными) импульсными электронными пучками высоких энергий обнаружен новый вид отжига, названный авторами ионизационным. В данной статье описаны экспериментальные исследования, подтверждающие сделанное ранее теоретическое обоснование.