Turtsevich, A., & Nalivaiko, O. (2015). Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago Style (17th ed.) CitationTurtsevich, A.S, and O.Y Nalivaiko. Deposition of Borophosphosilicate Glass Films Using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate System. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2015.
MLA (8th ed.) CitationTurtsevich, A.S, and O.Y Nalivaiko. Deposition of Borophosphosilicate Glass Films Using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate System. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2015.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.