Turtsevich, A., & Nalivaiko, O. (2015). Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Turtsevich, A.S, und O.Y Nalivaiko. Deposition of Borophosphosilicate Glass Films Using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate System. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2015.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Turtsevich, A.S, und O.Y Nalivaiko. Deposition of Borophosphosilicate Glass Films Using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate System. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2015.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.