Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu

Представлені результати дослідження структурно-фазового стану двошарових плівок основі Co та Cu до та після деформації. Встановлено, що пружна деформація практично не впливає на кристалічну структуру зразків. Досліджено влив перпендикулярного магнітного поля на тензорезистині властивості зразків, ро...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2014
Автори:	Макуха, З.M., Проценко, I.Ю.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Назва видання:	Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/103575
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu / З.M. Макуха, I.Ю. Проценко // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 2. — С. 179-284. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-103575
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1035752016-06-21T03:02:19Z Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu Макуха, З.M. Проценко, I.Ю. Представлені результати дослідження структурно-фазового стану двошарових плівок основі Co та Cu до та після деформації. Встановлено, що пружна деформація практично не впливає на кристалічну структуру зразків. Досліджено влив перпендикулярного магнітного поля на тензорезистині властивості зразків, розраховано магнітний коефіцієнт коефіцієнта тензочутливості. Магнітне поле призводить до збільшення коефіцієнту тензочутливості. Представленные результаты исследования структурно-фазового состояния пленок на основе Co и Cu до и после деформации. Установлено, что упругая деформация практически не влияет на кристаллическую структуру образцов. Исследовано влияние перпендикулярного магнитного поля на тензорезистивные свойства образцов, рассчитан магнитный коэффициент коэффициента тензочувствительности. Магнитное поле приводит к увеличению коэффициента тензочувствительности. The results of a structural-phase state study of the films based on Co and Cu before and after strain were presented in the work. It was found that the elastic deformation didn’t influence the crystal structure of the samples The influence of a perpendicular magnetic field on the strain properties of thin-films samples was investigated, magnetic coefficient of the gauge factor was calculated. Magnetic field leads to increase of the gauge factor. 2014 Article Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu / З.M. Макуха, I.Ю. Проценко // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 2. — С. 179-284. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/103575 538.975; 537.634 uk Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Ukrainian
description	Представлені результати дослідження структурно-фазового стану двошарових плівок основі Co та Cu до та після деформації. Встановлено, що пружна деформація практично не впливає на кристалічну структуру зразків. Досліджено влив перпендикулярного магнітного поля на тензорезистині властивості зразків, розраховано магнітний коефіцієнт коефіцієнта тензочутливості. Магнітне поле призводить до збільшення коефіцієнту тензочутливості.
format	Article
author	Макуха, З.M. Проценко, I.Ю.
spellingShingle	Макуха, З.M. Проценко, I.Ю. Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu Физическая инженерия поверхности
author_facet	Макуха, З.M. Проценко, I.Ю.
author_sort	Макуха, З.M.
title	Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu
title_short	Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu
title_full	Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu
title_fullStr	Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu
title_full_unstemmed	Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu
title_sort	магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках co/cu
publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate	2014
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/103575
citation_txt	Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu / З.M. Макуха, I.Ю. Проценко // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 2. — С. 179-284. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.
series	Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv	AT makuhazm magnítodeformacíjnijefektudvošarovihplívkahcocu AT procenkoiû magnítodeformacíjnijefektudvošarovihplívkahcocu
first_indexed	2025-07-07T14:05:21Z
last_indexed	2025-07-07T14:05:21Z
_version_	1836997277854466048
fulltext	Макуха З. М., Проценко І. Ю., 2014 © 279 УДК 538.975; 537.634 МАГНІТОДЕФОРМАЦІЙНИЙ ЕФЕКТ У ДВОШАРОВИХ ПЛІВКАХ Co/Cu З. M. Макуха, I. Ю. Проценко Сумський державний університет, Україна Надійшла до редакії 01. 07. 2014 Представлені результати дослідження структурно-фазового стану двошарових плівок ос но ві Co та Cu до та після деформації. Встановлено, що пружна деформація практично не впли ває на кристалічну структуру зразків. Досліджено влив перпендикулярного магнітного по ля на тензорезистині властивості зразків, розраховано магнітний коефіцієнт коефіцієнта тен зо чу- тли вості. Магнітне поле призводить до збільшення коефіцієнту тензочутливості. Ключові слова: двошарові плівки Co/Cu, магнітодеформаційний ефект, коефіцієнт тен зо чу- тли вості, пружна деформація. МАГНИТОДЕФОРМАЦИОННЫЙ ЭФФЕКТ У ДВУХСЛОЙНЫХ ПЛЕНКАХ Co/Cu З. Н. Макуха, И. Е. Проценко Представленные результаты исследования структурно-фазового состояния пленок на основе Co и Cu до и после деформации. Установлено, что упругая деформация практически не вли яет на кристаллическую структуру образцов. Исследовано влияние перпендикулярного ма гни т- но го поля на тензорезистивные свойства образцов, рассчитан магнитный коэффициент ко- эф фици ента тензочувствительности. Магнитное поле приводит к увеличению коэффициента тен зочувствительности. Ключевые слова: двухслойные пленки Co/Cu, магнитодеформационный эффект, коэффици- ент тензочувствительности, пластическая деформация. MAGNETO-STRAIN EFFECT IN DOUBLE — LAYER FILM Co/Cu Z. M. Makukha, I. Yu. Protsenko The results of a structural-phase state study of the films based on Co and Cu before and after strain we re presented in the work. It was found that the elastic deformation didn’t influence the crystal stru- ctu re of the samples The influence of a perpendicular magnetic field on the strain properties of thin- films samples was investigated, magnetic coefficient of the gauge factor was calculated. Magnetic field leads to increase of the gauge factor. Keywords: double-layer films Co/Cu, magneto-strain effect, gauge factor, magnetic coefficient of the gauge factor, elastic strain. ВСТУП Розробка багатофункціональних датчиків, які б реєстрували дві та більше величин одночасно, є актуальною проблемою фі зики тонких плівок. Одним із ва ріантів та кого дат чика може бути тензодат чик на основі ма лодослідженого магнітодеформаційного ефе кту [1, 2], тобто за леж ності тен зо чут- ливості від величини зов нішнього маг ніт- ного поля. Ця пробле ма зна ходиться в по- лі зору дослідників з точ ки зору впливу магнітного поля на тензорезистивні та ме- ха нічні властивості масив них і плівкових матеріалів [3—5]. Було встановлено, що дія магнітне поле невеликого значення призво- дить до збільшення значення коефіцієнта тен зочутливості (КТ) у масивних аморф- них металічних сплавах на основі Fe, в той час як збільшення величини магнітного по ля призводить до зменшення КТ з вихо- дом на насичення у цих сплавах [3]. У на- півпровідникових матеріалах р-типу про- відності у магнітному полі вели чи ною 3 Тл спостерігається зменшення КТ (від но- сна зміна опору становить 12 % при дії маг нітного поля та 9,5 % без поля, тобто МАГНІТОДЕФОРМАЦІЙНИЙ ЕФЕКТ У ДВОШАРОВИХ ПЛІВКАХ CO/CU ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 2, vol. 12, No. 2280 КТ зменшується з 4 до 3 відповідно) при деформації εl = 0,03 % [4]. Питання зміни фа зового стану та кристалічної структури плівкових матеріалів у процесі та після де- фор мації було вивчено і обговорено в робо- тах [6—8]. Метою даної роботи було дослідження тен зорезистивних характеристик плівкових ма теріалів в умовах дії зовнішнього перпен- ди кулярного магнітного поля, а також впли- ву деформації на структуру та фазовий стан плівок. Плівкові системи на основі Co та Cu представляють значний ін терес з точки зору можливого їх застосуван ня як чутли- вих елементів мікросенсорів, оскільки в цих системах утворюється твердий розчин на стадії конденсації, а також ре алізується спін-залежне розсіювання еле ктронів. ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНА ЧАСТИНА Плівкові зразки отримувалися методом тер - мічного випаровування у вакуумній ус та- новці ВУП-5М (10–3—10–4 Па). Тов щина кон тролювалась в процесі кон денсації ме- тодом кварцового резонатора, а також уточ- нювалась після напилення мето дом оп- тич ної інтерферометрії. Для дослідження тен зорезистивних властивостей та маг ні то- деформаційного ефекту зразки деформува- лися в інтервалі пружної деформації для да- них матеріалів εl = (0—0,4) % за допомогою автоматизованої системи з комп’ютерним уп равлінням процесу (детальніше робота установки описана в [9]). Як підкладки ви- ко ристовувалися смужки полістиролу, у яких інтервал пружньої деформації до 2 %, тоб то зразки деформувалися пружно. Цикл «навантаження-зняття навантажен- ня» проводився без, а потім при дії зов ніш нь- ого магнітного поля, орієнтованого перпен- ди кулярно до напрямку розтягу плівки. Маг нітне поле створювалось постійними маг нітами з індукцією 30 мТл. Середнє та миттєве значення коефіцієнту повздовжньої тензочутливості розраховува- лось за формулами [10]: і , де RП та Rі — початкове та миттєве значення елек тричного опору; ΔR = R(εl) – R(0) та ΔRі = R(εli + Δεli) – R(εli) — зміна опору у всьому в інтервалі деформації (Δεl) та в інтервалі Δεlі; εl — значення поздовжньої деформації. Для кількісної оцінки маг ні то де фор ма- цій ного ефекту при повздовжній де фор- ма ції зразка було розраховано магнітний ко ефіцієнт коефіцієнту тензочутливості (МККТ), за формулою [1, 2]: (1) де Δγl = γl(B) – γ(0); ΔB — зміна індукції при- кладеного магнітного поля. Дослідження структурно-фазового стану проводилося за допомогою приладу ПЕМ- 125К. На полістиролові смужки конден су- вався шар NaCl (товщина в декілька де сят ків нм), а потім плівка Cо або пошарово осад- жу вався Co та Cu. Піс ля проведення циклів «навантаження ↔ зняття навантаження» зра зки препарувались для електронно-мі- кро скопічних досліджень їх структурного ста ну, тобто електронографічні дослідження проводились до та після де фор мації зразка, що дозволило визначити вплив деформації на зазначені властивості. РЕЗУЛЬТАТИ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ Були проведені дослідження у одно- і дво - шарових плівок на основі Co та Сu перед та після деформації до 0,4 %. Результа ти представлені на рис. 1, на прикладі Сo(30 нм) /NaCl/П. П 1 l l R R ∆ γ = ∆ε 1 i li i li R R ∆ γ = ∆ε ( ) 1 0 l lB l B 1 γ ε ∆γ β =  γ ∆  а 50 nm a З. М. МАКУХА, І. Ю. ПРОЦЕНКО ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 2, vol. 12, No. 2 281 Одношарові зразки мають кри ста лі чну ре- ші тку, що відповідає ГЩП-Со, у дво ша ро - вих, окрім ГЩП-Со, на електроно гра мах фі- ксуються кільця твердого розчину т. р. (Cu, Co) на основі гратки ГЦК-Cu. Після деформації (рис. 1б) суттєвих змін в стру ктурно-фазовому стані не спо сте рі га - є ться, що можна пояснити тим, що зразки де формуються пружно, на відміну від, на- при клад, даних робіт [6, 7], в яких зраз ки за- зна ють пластичної деформації, в ре зуль таті чо го спостерігаються зміна фазового ста ну, рух дислокацій з об’єму зерна на його межі та утонення зразка. Розшифрування елек- тронограм наведене в табл. 1. Типові деформаційні залежності одно- та двошарових плівкових систем без та при дії перпендикулярного магнітного по ля (В = 30 мТл) представлені на рис. 2, 3 (де- формація без дії магнітного поля рис. 2а, 3а, та при внесенні зразків в магнітне по ле 2б, 3б). б Рис. 1. Кристалічна структура та дифракційні кар- тини від одношарової плівки Сo(30)/П у сві жо- скон ден сованому стані (а) та після деформації до εl = 0,4 % (б) Таблиця 1 Розрахунок електронограм від одношарової плівки ГЩП-Сo(30)/NaCl/П у свіжосконденсованому стані та після деформації до εl = 0,4 % С — сильна; ср — середня; сл — слабка 50 nm b № εl = 0 % № εl = 0,4 % І, в. о. dhkl, Å hkl a, Å І, в. о. dhkl, Å hkl a, Å 1 С 2,16 100 2,50 1 С 2,18 100 2,51 2 С 2,04 111 – 2 С 2,06 111 – 3 С 1,92 101 – 3 С 1,93 101 – 4 сл 1,49 102 – 4 сл 1,51 102 – 5 ср 1,25 110 2,51 5 ср 1,27 110 2,53 6 сл 1,16 103 – 6 сл 1,17 103 – 7 ср 1,07 201 – 7 ср 1,08 201 – ā (ГЩП-Со) = 2,51 Å ā0(ГЩП-Со) = 2,51 Å [11] ā (ГЩП-Со) = 2,52 Å ∆R/R γlM γl = 2,96 5 4 3 2 1 0,020 0,015 0,010 0,005 0,000 –0,005 0,0 0,1 0,2 0,3 εl, % εl, % εl, % 0,3 0,3 0,2 0,2 0,1 0,1 0,0 0,0 452 456 460 464 R, Ом VII VII VII I I а ∆R/R γlM γl = 3,76 4 2 0,025 0,020 0,015 0,010 0,005 0,000 0,0 0,1 0,2 0,3 εl, % εl, % εl, % 0,3 0,3 0,2 0,2 0,1 0,1 0,0 0 0,0 516 512 520 524 528 R, Ом VII VII VII I I б Рис. 2. Залежність ΔR/R, R та γl від εl для плівки Co(36)/П без (а) та при дії магнітного поля (б) МАГНІТОДЕФОРМАЦІЙНИЙ ЕФЕКТ У ДВОШАРОВИХ ПЛІВКАХ CO/CU ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 2, vol. 12, No. 2282 ВИСНОВКИ Вивчено структурно-фазовий стан плів- кових матеріалів на основі Co та Cu до та після деформації εl = (0—0,4) %. Встанов- лено, що пружна деформація практично не впливає на кристалічну структуру і не змі- нює фазовий стан систем. Досліджено вплив магнітного поля на тен зорезистивні властивості одно- та дво- ша рових систем на основі Co та Cu. Встано- влено, що перпендикулярне магнітне поле при зводить до збільшення коефіцієнту тен- зо чутливості, що можна пояснити динамікою руху електронів у магнітному полі (більш де тально див. [13]). Робота виконана у рамках держбюджетної тематики № 0112U001381 Міністерства осві- ти і науки України (2012—2014 р. р.). Для деформаційних залежно стей харак- тер на типова відміна першого де фор ма - ційного циклу від наступних, що пов’я за но з релаксаційними процесами у плів ці. Ко е фі- цієнт тензочутливості для од ношарових плі- вок Со знаходиться в межах γl = (1,4—2,9), для двошарових — γl = (1,3—3,4) в залежності від товщини зразка. Коефіцієнт тензочутливості, в межах по хибки, спадає з товщиною та від по- відає кла сичній розмірній залежності. Від но- сно ма ле значення γl пояснюється можливим збільшення коефіцієнта Пуассона до величи- ни, більшої, ніж 0,5 (детальніше див. [12]). Розрахунок величини МККТ здійснювався за формулою (1). З отриманих результатів можна зробити висновок, що магнітне поле призводить до збільшення коефіцієнту тензочутливості для одно- та для двошарових плівкових систем на основі Co і Cu, а величина МККТ має зна- чення 7,1— 16,7 Тл–1 (табл. 2). ∆R/R γlM γl = 2,2 6 3 0 0,012 0,008 0,004 0,000 0,0 0,1 0,2 0,3 0,4 εl, % εl, % 0,3 0,3 0,2 0,2 0,1 0,1 0,0 0,0 149,5 149,0 148,5 148,0 147,5 R, Ом V V V I I а б Рис. 3. Залежність ΔR/R, R та γl від εl для плівки Co(20)/Cu(30)/П без (а) та при дії магнітного поля (б) ∆R/R γlM γl = 3,3 6 4 2 0,015 0,010 0,005 0,000 0,0 0,1 0,2 0,3 εl, % εl, % εl, % 0,3 0,3 0,2 0,2 0,1 0,1 0,0 0,0 202 200 198 196 R, Ом V V V I I Зразок Загальна товщина, нм Середнє значення γl βγlB, Тл–1 B = 0 B = 30 мТл Одношарові плівки Co(30)/П 30 1,4 1,1 7,1 Co(36)/П 36 2,9 3,7 9,2 Co(40)/П 40 2,2 1,1 16,6 Двошарові плівки Сu(10)/Co(30)/П 40 1,3 1,9 15,4 Сu(20)/Co(30)/П 50 2,2 3,3 7,6 Сu(40)/Co(30)/П 70 1,6 2 16,7 Сu(50)/Co(30)/П 80 2,7 3,3 7,4 Таблиця 2 Величина γl і МККТ для плівок Со та двошарових плівкових систем Cu/Co З. М. МАКУХА, І. Ю. ПРОЦЕНКО ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 2, vol. 12, No. 2 283 Однодворец Л. В., Проценко С. И., Шума- кова Н. И. Магниторезистивные свойства многослойных наноразмерных пленочных систем // ВАНТ. Серия: Вакуум, чистые ма- териалы, сверхпроводники. — 2009. — № 6. — С. 169—174. LІTERATURA 1. Procenko S. I. Magnіtodeformacіjnij efekt u tonkih metalevih plіvkah // Zh. nano- ta elek- tron. fіz. — 2009. — Vol. 1, No. 2. — P. 7—10. 2. Makukha Z. M., Protsenko S. I., Od no dvo- rets L. V., Protsenko I. Yu. Magneto-strain ef fect in do uble-layer film system // J. Nano- Ele ctron. Phys. — 2012. — Vol. 4, No. 2. — P. 02043. 3. Zaharchenko N. I., Semenko M. P. Vliyanie ma gnitnogo polya na tenzorezistivnyj effekt v amorfnyh splavah na osnove zheleza // FMM. — 2007. — Vol. 104, No. 2. — P. 150—154. 4. Wang W. L., Liao K.J., Hu C. G., Wang S. X., Kong C. Y., Liao H. Y. Study on piezoresistive effect of diamond films under magnetic field // Sens. Actuat. A — Phys. — 2003. — Vol. 108, No. 55. — P.55—58. 5. Golovin Y. I. Magnetoplastic effect in solids // Solid State Phys. — 2004. — Vol. 46, No. 5. — P. 789—824. 6. Ogorodnikov V. V., Malyshevskij K. V. Mo- le kulyarno-dinamicheskoe modelirovanie ra- stya zheniya nanokristala NiAl // Metalofiz. no vejshie tehnol. — 2001. — Vol. 23, No. 8. — P. 1029—1039. 7. Hoo-Jeong Lee, Ping Zhang, John C. Brav man. Tensile failure by grain thinning in mi cro ma- chi ned aluminum thin films // J. Appl. Phys. — 2003. — Vol. 93, No. 3. — P. 1443—1451. 8. Read D. T. Tension-tension fatigue of cooper thin films // Int. J. Fatigue. —1998. — Vol. 20, No. 3. — P. 203—209. 9. Protsenko S. I., Velykodnyi D. V., Keraj V. A., Desai M. S., Panchal C. J., Protsenko I. Yu. Electrophysical properties of Cu/Cr and Fe/ Cr film systems within elastic and plastic de- for ma tion range // J. Mater. Sci. — 2009. — Vol. 44, No. 18. — P. 4905—4910. 10. Tishchenko K. V., Odnodvorets L. V., Pro- tsen ko І. Yu. Electrophysical properties of na- nodimentional Pt thin films // Metallofiz. no- veishie tekhnol. — 2011. — No. 33. — 1351 p. 11. Gorelik S. S., Rastorguev L. N., Skakov Yu. A. Rentgenograficheskij i elek-tronograficheskij analiz metallov. Prilozheniya. — M.: Me tal lur- giya, 1970. — 3 p. 12. Protsenko I. Yu., Odnodvorets L. V., Ty chen- ko K. V., Shumakova M. O. Features strain ЛІТЕРАТУРА 1. Проценко С. I. Магнітодеформаційний ефект у тонких металевих плівках // Ж. на но- та електрон. фіз. — 2009. — Т. 1, № 2. — С. 7—10. 2. Makukha Z. M., Protsenko S. I., Od no dvo- rets L. V., Protsenkо I. Yu. Magneto-strain ef fect in do uble-layer film system // J. Nano- Ele ctron. Phys. — 2012. — Vol. 4, No. 2. — 02043 p. 3. Захарченко Н. И., Семенько М. П. Влия- ние ма гнитного поля на тензорезистивный эффект в аморфных сплавах на основе же- леза // ФММ. — 2007. — Т. 104, № 2. — С. 150—154. 4. Wang W. L., Liao K. J., Hu C. G., Wang S. X., Kong C. Y., Liao H. Y. Study on piezoresistive effect of diamond films under magnetic field // Sens. Аctuat. A — Phys. — 2003. — Vol. 108, No. 55. — P. 55—58. 5. Golovin Y. I. Magnetoplastic effect in solids // Solid State Phys. — 2004. — Vol. 46, No. 5. — P. 789—824. 6. Огородников В. В., Малышевский К. В. Молекулярно-динамическое моделирование рас тяжения нанокристала NiAl // Метало- физ. новейшие технол. — 2001. — Т. 23, № 8. — С. 1029—1039. 7. Hoo-Jeong Lee, Ping Zhang, John C. Brav man. Tensile failure by grain thinning in mi cro ma- chi ned aluminum thin films // J. Appl. Phys. — 2003. — Vol. 93, No. 3. — P. 1443—1451. 8. Read D. T. Tension-tension fatigue of cooper thin films // Int. J. Fatigue. — 1998. — Vol. 20, No. 3. — P. 203—209. 9. Protsenko S. I., Velykodnyi D. V., Keraj V. A., Desai M. S., Panchal C. J., Protsenko I. Yu. Electrophysical properties of Cu/Cr and Fe/Cr film systems within elastic and plastic de for ma- ti on range // J.Mater. Sci. — 2009. — Vol. 44, No. 18. — P. 4905—4910. 10. Tishchenko K.V., Odnodvorets L. V., Pro tsen- ko І. Yu. Electrophysical properties of na- nodimentional Pt thin films // Metallofiz. no- vei shie tekhnol. — 2011. — No. 33. — 1351 p. 11. Горелик С. С., Расторгуев Л. Н., Скаков Ю. А. Рентгенографический и элек-тронографи- чес кий анализ металлов. Приложения. — М.: Металлургия, 1970. — 3 с. 12. Protsenko I. Yu., Odnodvorets L. V., Tys chen- ko K. V., Shumakova M. O. Features strain pro per ties thin-films: anomalous small of strain co efficient // J. Mech. Eng. Technol. — 2013. — Vol. 1, No. 1. — P. 34—39. 13. Сынашенко О. В., Ткач Е. П., Бурык И. П., МАГНІТОДЕФОРМАЦІЙНИЙ ЕФЕКТ У ДВОШАРОВИХ ПЛІВКАХ CO/CU ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 2, vol. 12, No. 2284 pro per ties thin-films: anomalous small of strain co efficient // J. Mech. Eng. Technol. — 2013. — Vol. 1, No. 1. — P. 34—39. 13. Synashenko O. V., Tkach E. P., Buryk I. P., Odnodvorec L. V., Procenko S. I., Shu ma ko va N. I. Magnitorezistivnye svojstva mno go sloj nyh nanorazmernyh plenochnyh sistem // VANT. Seriya: Vakuum, chistye materialy, sver h provodniki. — 2009. — No.6. — P. 169 —174.

Магнітодеформаційний ефект у двошарових плівках Co/Cu

Репозитарії

Схожі ресурси