Тематические направления

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2014
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Schriftenreihe:Физическая инженерия поверхности
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/103580
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Тематические направления // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 2. — С. 319. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-103580
record_format dspace
fulltext Тематичні напрямки: • фізика поверхні — модифікації, покриття, плівки, приповерхні і перехідні шари різних видів, як результат впливу плазми, корпускулярно-фотонних потоків і випромінювання; • взаємодія різноманітних видів випромінювання з поверхнями металів, напівпровідників, діелектриків; • фізика і техніка низькотемпературної плазми; • фізика і техніка лазерів; • фізичні властивості плівок і покриттів; • нанофізика, мікро- і нанотехнології, мікро- і наноелектроніка; • фізичні та технічні аспекти сучасних технологій обробки поверхні, діагностики і кон- тролю технологічних процесів. Тематические направления: • физика поверхности — модификации, покрытия, пленки, приповерхностные и переход- ные слои различных видов, как результат воздействия плазмы, корпускулярно-фотон- ных потоков и излучения; • взаимодействие разнообразных видов излучения с поверхностями металлов, полупро- водников, диэлектриков; • физика и техника низкотемпературной плазмы; • физика и техника лазеров; • физические свойства пленок и покрытий; • нанофизика, микро- и нанотехнологии, микро- и наноэлектроника; • физические и технические аспекты современных технологий обработки поверхности, диагностики и контроля технологических процессов. Topic directions: • surface physics — modification, coating, film, near-surface and transient layers of different kinds, as outcome of influencing of plasma, corpuscular-photon flows and radiation; • interaction of miscellaneous kinds of radiation with surfaces of metals, semiconductors, di e- lectrics; • physics and engineering of low-temperature plasma; • physics and engineering of lasers; • physical characteristics of films and coatings; • nanophysics, micro and nanoelectronics, micro and nanotechnologies; • physical and engineering aspects of modern technologies of surfacing, diagnostic and control of technological processes.
spelling irk-123456789-1035802016-06-21T03:02:47Z Тематические направления 2014 Article Тематические направления // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 2. — С. 319. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/103580 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
format Article
title Тематические направления
spellingShingle Тематические направления
Физическая инженерия поверхности
title_short Тематические направления
title_full Тематические направления
title_fullStr Тематические направления
title_full_unstemmed Тематические направления
title_sort тематические направления
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2014
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/103580
citation_txt Тематические направления // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 2. — С. 319. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
first_indexed 2025-07-07T14:05:44Z
last_indexed 2025-07-07T14:05:44Z
_version_ 1836997303007707136