Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий - Соболь, О.В.; Андреев, А.А.; Григорьев, С.Н.; Волосова, М.А.; Столбовой, В.А.; Фильчиков, В.Е.; Киданова, Н.В.; Антоненкова, Г.В.; Черкасова, Н.Ю. (Металлофизика и новейшие технологии, 2013)
Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий.