Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом
Одержані методом сканувальної тунельної мікроскопії (СТМ) зображення поверхонь сколювання (100) шаруватого кристалу In₄Se₃, інтеркальованого сріблом, відтворюють борознисту структуру (100) поверхонь сколювання відповідно до результатів їх структурно-кристалографічних досліджень. Встановлено відсутні...
Gespeichert in:
| Datum: | 2013 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
| Schriftenreihe: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104176 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом / П.В. Галій, Т.М. Ненчук, А. Ціжевський, П. Мазур, Я.М. Бужук, І.Р. Яровець // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 8. — С. 1031-1043. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-104176 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1041762016-07-04T03:01:56Z Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом Галій, П.В. Ненчук, Т.М. Ціжевський, А. Мазур, П. Бужук, Я.М. Яровець, І.Р. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Одержані методом сканувальної тунельної мікроскопії (СТМ) зображення поверхонь сколювання (100) шаруватого кристалу In₄Se₃, інтеркальованого сріблом, відтворюють борознисту структуру (100) поверхонь сколювання відповідно до результатів їх структурно-кристалографічних досліджень. Встановлено відсутність реконструкції поверхні (100) кристалу після інтеркаляції сріблом. Для поверхонь сколювання інтеркальованих сріблом кристалів також характерним є наявність областей з «темними і світлими плямами», для яких відсутня періодичність, що обумовлено, згідно з даними сканувальної тунельної спектроскопії (СТС), наявністю або браком на поверхні інтеркалату. Спектри СТС однозначно уможливлюють зробити висновок про існування на поверхні сколювання різних локальних областей, які виявляють або напівпровідникові, або суто металічні властивості. У цілому дані СТС/СТМ вказують на неоднорідний в наномасштабі розподіл інтеркалату срібла на поверхні відколу. Полученные методом сканирующей туннельной микроскопии (СТМ) изображения поверхностей скалывания (100) слоистого кристалла In₄Se₃, интеркалированного серебром, отображают бороздчатую структуру (100) поверхностей скалывания в соответствии с результатами их структурнокристаллографических исследований. Установлено отсутствие реконструкции поверхности (100) кристалла после интеркаляции серебром. Для поверхностей скалывания интеркалированных серебром кристаллов также характерным является наличие областей с «тёмными и светлыми пятнами», для которых отсутствует периодичность и которые обусловлены, согласно данным сканирующей туннельной спектроскопии (СТС), наличием или отсутствием на поверхности интеркалата. Спектры СТС однозначно позволяют сделать вывод о существовании на поверхности скалывания разных локальных областей, которые проявляют либо полупроводниковые, либо чисто металлические свойства. В целом данные СТС/СТМ указывают на неоднородное в наномасштабе распределение интеркалата серебра на поверхности скола. Scanning tunnelling microscopy (STM) images of (100) surfaces of layered In₄Se₃ crystal intercalated with silver show the striated structure of the cleavage surface, in accordance with their structural and crystallography investigations. Crystal surface (100) does not reveal reconstruction after silver intercalation. Surfaces of intercalated crystal also reveal ‘dark and bright patches’ associated with the presence or absence of intercalate, according to scanning tunnelling spectroscopy (STS) data. STS spectra unambiguously allow to conclude that different local areas exist on the cleavage surface and demonstrate semiconductor or pure metallic properties. As a whole, STM/STS data point to non-uniform distribution of intercalated silver on the cleavage surface in nanoscale level. 2013 Article Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом / П.В. Галій, Т.М. Ненчук, А. Ціжевський, П. Мазур, Я.М. Бужук, І.Р. Яровець // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 8. — С. 1031-1043. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 1024-1809 PACS numbers:68.35.bg, 68.37.Ef,68.47.De,68.47.Fg,71.20.Tx,73.20.At, 82.80.Pv http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104176 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| spellingShingle |
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Галій, П.В. Ненчук, Т.М. Ціжевський, А. Мазур, П. Бужук, Я.М. Яровець, І.Р. Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом Металлофизика и новейшие технологии |
| description |
Одержані методом сканувальної тунельної мікроскопії (СТМ) зображення поверхонь сколювання (100) шаруватого кристалу In₄Se₃, інтеркальованого сріблом, відтворюють борознисту структуру (100) поверхонь сколювання відповідно до результатів їх структурно-кристалографічних досліджень. Встановлено відсутність реконструкції поверхні (100) кристалу після інтеркаляції сріблом. Для поверхонь сколювання інтеркальованих сріблом кристалів також характерним є наявність областей з «темними і світлими плямами», для яких відсутня періодичність, що обумовлено, згідно з даними сканувальної тунельної спектроскопії (СТС), наявністю або браком на поверхні інтеркалату. Спектри СТС однозначно уможливлюють зробити висновок про існування на поверхні сколювання різних локальних областей, які виявляють або напівпровідникові, або суто металічні властивості. У цілому дані СТС/СТМ вказують на неоднорідний в наномасштабі розподіл інтеркалату срібла на поверхні відколу. |
| format |
Article |
| author |
Галій, П.В. Ненчук, Т.М. Ціжевський, А. Мазур, П. Бужук, Я.М. Яровець, І.Р. |
| author_facet |
Галій, П.В. Ненчук, Т.М. Ціжевський, А. Мазур, П. Бужук, Я.М. Яровець, І.Р. |
| author_sort |
Галій, П.В. |
| title |
Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом |
| title_short |
Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом |
| title_full |
Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом |
| title_fullStr |
Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом |
| title_full_unstemmed |
Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом |
| title_sort |
наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів in₄se₃, інтеркальованих сріблом |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2013 |
| topic_facet |
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104176 |
| citation_txt |
Наноструктурні дослідження поверхонь (100) кристалів In₄Se₃, інтеркальованих сріблом / П.В. Галій, Т.М. Ненчук, А. Ціжевський, П. Мазур, Я.М. Бужук, І.Р. Яровець // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 8. — С. 1031-1043. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| series |
Металлофизика и новейшие технологии |
| work_keys_str_mv |
AT galíjpv nanostrukturnídoslídžennâpoverhonʹ100kristalívin4se3ínterkalʹovanihsríblom AT nenčuktm nanostrukturnídoslídžennâpoverhonʹ100kristalívin4se3ínterkalʹovanihsríblom AT cíževsʹkija nanostrukturnídoslídžennâpoverhonʹ100kristalívin4se3ínterkalʹovanihsríblom AT mazurp nanostrukturnídoslídžennâpoverhonʹ100kristalívin4se3ínterkalʹovanihsríblom AT bužukâm nanostrukturnídoslídžennâpoverhonʹ100kristalívin4se3ínterkalʹovanihsríblom AT ârovecʹír nanostrukturnídoslídžennâpoverhonʹ100kristalívin4se3ínterkalʹovanihsríblom |
| first_indexed |
2025-07-07T14:56:46Z |
| last_indexed |
2025-07-07T14:56:46Z |
| _version_ |
1837000511294799872 |
| fulltext |
1031
СТРОЕНИЕ И СВОЙСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ
И МЕЗОСКОПИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ
PACS numbers:68.35.bg, 68.37.Ef,68.47.De,68.47.Fg,71.20.Tx,73.20.At, 82.80.Pv
Наноструктурні дослідження поверхонь (100)
кристалів In4Se3, інтеркальованих сріблом
П. В. Галій, Т. М. Ненчук, А. Ціжевський
*, П. Maзур*,
Я. M. Бужук, І. Р. Яровець
Львівський національний університет ім. Івана Франка,
факультет електроніки,
вул. Драгоманова, 50,
79005 Львів, Україна
*Вроцлавський університет,
Інститут експериментальної фізики,
пл. Макса Борна, 9,
50-204 Вроцлав, Польща
Одержані методом сканувальної тунельної мікроскопії (СТМ) зображення
поверхонь сколювання (100) шаруватого кристалу In4Se3, інтеркальова-
ного сріблом, відтворюють борознисту структуру (100) поверхонь сколю-
вання відповідно до результатів їх структурно-кристалографічних дослі-
джень. Встановлено відсутність реконструкції поверхні (100) кристалу
після інтеркаляції сріблом. Для поверхонь сколювання інтеркальованих
сріблом кристалів також характерним є наявність областей з «темними і
світлими плямами», для яких відсутня періодичність, що обумовлено,
згідно з даними сканувальної тунельної спектроскопії (СТС), наявністю
або браком на поверхні інтеркалату. Спектри СТС однозначно уможлив-
люють зробити висновок про існування на поверхні сколювання різних
локальних областей, які виявляють або напівпровідникові, або суто мета-
лічні властивості. У цілому дані СТС/СТМ вказують на неоднорідний в
наномасштабі розподіл інтеркалату срібла на поверхні відколу.
Полученные методом сканирующей туннельной микроскопии (СТМ)
изображения поверхностей скалывания (100) слоистого кристалла In4Se3,
интеркалированного серебром, отображают бороздчатую структуру (100)
поверхностей скалывания в соответствии с результатами их структурно-
кристаллографических исследований. Установлено отсутствие рекон-
струкции поверхности (100) кристалла после интеркаляции серебром.
Для поверхностей скалывания интеркалированных серебром кристаллов
также характерным является наличие областей с «тёмными и светлыми
Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2013, т. 35, № 8, сс. 1031—1043
Оттиски доступны непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2013 ИМФ (Институт металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НАН Украины)
Напечатано в Украине.
1032 П. В. ГАЛІЙ, Т. М. НЕНЧУК, А. ЦІЖЕВСЬКИЙ та ін.
пятнами», для которых отсутствует периодичность и которые обусловле-
ны, согласно данным сканирующей туннельной спектроскопии (СТС),
наличием или отсутствием на поверхности интеркалата. Спектры СТС
однозначно позволяют сделать вывод о существовании на поверхности
скалывания разных локальных областей, которые проявляют либо полу-
проводниковые, либо чисто металлические свойства. В целом данные
СТС/СТМ указывают на неоднородное в наномасштабе распределение ин-
теркалата серебра на поверхности скола.
Scanning tunnelling microscopy (STM) images of (100) surfaces of layered
In4Se3 crystal intercalated with silver show the striated structure of the
cleavage surface, in accordance with their structural and crystallography
investigations. Crystal surface (100) does not reveal reconstruction after sil-
ver intercalation. Surfaces of intercalated crystal also reveal ‘dark and
bright patches’ associated with the presence or absence of intercalate, accord-
ing to scanning tunnelling spectroscopy (STS) data. STS spectra unambigu-
ously allow to conclude that different local areas exist on the cleavage surface
and demonstrate semiconductor or pure metallic properties. As a whole,
STM/STS data point to non-uniform distribution of intercalated silver on the
cleavage surface in nanoscale level.
Ключові слова: Оже-електронна спектроскопія, сканувальна тунельна
мікроскопія та спектроскопія, шаруваті кристали, інтеркаляція метала-
ми, наноструктури.
(Отримано 4 липня 2013 р.)
1. ВСТУП
Ріст і дослідження металічних плівок у наномасштабі на поверхні
напівпровідникових кристалів є однією з базових проблем, що важ-
лива як з фундаментальної точки зору, так і характерна для бага-
тьох застосувань напівпровідників у нанотехнологіях. Шаруваті
напівпровідникові кристали In4Se3 зі слабкими міжшаровими Ван
дер Ваальсовими зв’язками, і, як наслідок цього, придатні до інте-
ркаляції, зокрема, металічних домішок у міжшарову щілину, ви-
кликають інтерес як природні матриці з низькою питомою елект-
ропровідністю ( 0,01—0,05 (Омсм)
1) для формування провідних
металічних наноструктур [1].
У роботі наведено результати дослідження з формування наност-
руктур на міжшарових поверхнях сколювання (ПС) (100) шарува-
тих напівпровідникових кристалів In4Se3, інтеркальованих сріб-
лом, методами: Оже-електронної спектроскопії (ОЕС), сканувальної
тунельної мікроскопії (СТМ) та сканувальної тунельної спектрос-
копії (СТС).
Сколювання кристалів In4Se3(Ag) у надвисокому вакуумі (НВВ)
схематично наведено на рис. 1, б. Внаслідок сколювання металічні
НАНОСТРУКТУРНІ ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХОНЬ (100) КРИСТАЛІВ In4Se3 1033
наноструктури, що формуються в процесі інтеркалювання в об’ємі
шаруватого кристалу (ШК) в міжшарових щілинах, «виходять» на
поверхню сколювання (100). Процедура сколювання ШК In4Se3(Ag)
у НВВ (10
9—10
10
Тор) вздовж міжшарових щілин у напрямку
<010> [2] дає можливість дослідження їх міжшарових ПС (100) по-
верхнево чутливими методами – ОЕС, СТМ/СТС.
2. ОБ’ЄКТИ ДОСЛІДЖЕННЯ,
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНІ МЕТОДИКИ Й УМОВИ
Досліджені ШК In4Se3, інтеркальовані сріблом, вирощено методом
Чохральського з надстехіометричного по індію та з додатковим вмі-
стом срібла розтопу In4Se3 10 ат.% In 35 ат.% Ag. Термооброб-
лення ШК In4Se3(Ag) з домішкою срібла у вакуумованих кварцових
ампулах на протязі 30 год. при 540 К призводить до інтеркаляції Ag
[2, 3]. З термодинамічних міркувань, наведених у [3, 4], випливає,
що домішки, які при леґуванні первісно увійшли в кристалічні ша-
ри ШК, будуть переходити з них у Ван дер Ваальсівські щілини, за-
безпечуючи у такий спосіб самоочищення шарів від домішок, що й
лежить в основі самовільного по In та спеціального по Ag інтерка-
лювання ШК In4Se3.
Шляхом термооброблення одержаних ШК In4Se3(Ag) інтеркалю-
юча домішка наприкінці випадає в міжшарові щілини. ШК з реа-
льними інтеґральними концентраціями інтеркалюючих домішок
Ag х 0—3,5 ат.%, що увійшли до них, мали виразну шаруватість і
легко сколювались.
Шляхом інтеркалювання Іn4Se3(Ag) з наступним сколюванням in
situ вздовж міжшарових щілин, одержували леґовані металічним
сріблом ПС (100) Іn4Se3 (див. рис. 1, б). Термічне оброблення прис-
корює встановлення термодинамічної рівноваги в спеціально неін-
теркальованих та інтеркальованих ШК Іn4Se3(Ag) й структурно
впорядковує останні. Також, відпал не впливає на усереднену за
об’ємом величину концентрації інтеркалату в Іn4Se3(Ag), що підт-
верджено методом кількісної ОЕС.
X-променева дифрактометрія зразків Іn4Se3 та Іn4Se3, інтерка-
льованих Ag, виконувалась з використанням порошкового дифрак-
тометра (‘STOE STADI І’ powder diffractometer, Germany) з CuK1-
випромінюванням 1,540598 Å. Оброблення результатів дифрак-
тометрії виконано з використанням програмного забезпечення і баз
даних ‘STOE Powder Diffraction Software (WinXPOW)’.
X-променевий структурний фазовий аналіз інтеркальованих ШК
In4Se3(Ag) підтверджує їх шарувату структуру, яка дозволяє відно-
сно легкого одержувати міжшарові (100) ПС. Отже, для всіх спеці-
ально неінтеркальованих та інтеркальованих сріблом ШК In4Se3 ПС
(100) одержували сколюванням in situ кристалічних зразків спеці-
1034 П. В. ГАЛІЙ, Т. М. НЕНЧУК, А. ЦІЖЕВСЬКИЙ та ін.
альної форми в НВВ вістрям з неіржавійної сталі.
Для елементно-фазового аналізу ПС (100) In4Se3(Ag) використо-
вували Оже-спектрометр 09 ІОС-2. Оже-електронні спектри одер-
жано при енергії первинних електронів 3 кеВ з використанням ци-
ліндричного дзеркального енергоаналізатора Оже-електронів. У
диференційованому dN(E)/dE Оже-спектрі ПС (100) In4Se3(Ag), на-
веденому на рис. 1, а, присутній пік Оже-електронів з енергією 351
еВ, який відповідає MNN Оже-переходу електронів срібла. Оже-
спектр ПС (100) In4Se3(Ag), одержаний безпосередньо після сколю-
вання в НВВ при тиску залишкових газів у камері 10
9
Тор, не міс-
тить піків вуглецю або інших можливих забруднень, які характерні
для поверхонь, одержаних сколюванням на повітрі.
Незважаючи на велику концентрацію Ag у розтопі (до 35 ат.%),
результати кількісного Оже-аналізу методом чистих стандартів з
матричними поправками [5] показали, що усереднена концентра-
Рис. 1. Типовий спектр Оже-електронів ПС (100) напівпровідникового ін-
теркальованого сріблом ШК In4Se3(Ag), записаний безпосередньо після
сколювання в НВВ (510
9
Тор) (а). Фраґмент міжшарової ПС (100) інтерка-
льованого сріблом ШК Іn4Se3(Ag) відповідно до структури кристалу Іn4Se3
(проекція на площину (001)) в [2] та Х-променевих структурних дослі-
джень. Трикутник у верхній лівій частині вказує напрямок сколювання.
[In3]
5
– полікатіон індію (In1, In2, In3) в шарі, In
– катіон індію в між-
шаровій щілині (In4), Ag – інтеркалююча домішка в міжшаровій щілині і
на одержаній ПС (100) (поверхневе леґування). Константи кристалічної
ґратниці за результатами Х-променевої дифрактометрії: a 15,297(1),
b 12,308(1), c 4,0810(5) Å; ґратниця орторомбічна, Pnnm (
12
2hD ) (б).
НАНОСТРУКТУРНІ ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХОНЬ (100) КРИСТАЛІВ In4Se3 1035
ція срібла на ПС (100) і в тонкій приповерхневій області Оже-
аналізу ( 1 нм) є меншою, ніж 2,5—3 ат.%. Реальна концентрація
Ag на поверхні, що власне формує наноструктури внаслідок інтер-
каляції в міжшарову щілину, може бути в декілька разів більшою,
тому що в розрахунку відносних атомних концентрацій беруть
участь Оже-сиґнали атомів індію та селену майже моношару ПС
кристалу, в той же час, Оже-пік Ag формується атомами, які знахо-
дяться на ПС (100) In4Se3(Ag).
Діаметр зондувального електронного променя в ОЕС становив
40 мкм, а ефективна глибина виходу найбільш високоенергетич-
них Оже-електронів Se 1315 еВ в Оже-спектрі – 1,5 нм (рис. 1, а),
що не перевищує товщини моношару ШК In4Se3 в напрямку вектора
сталої ґратниці а (1,53 нм [2], рис. 1, б). Однак, навіть у цьому ви-
падку складно передбачити однорідність та структурованість інте-
ркалату срібла в міжшаровій щілині на атомному рівні. Тому дослі-
дження металічних наноструктур на атомно шорстких, гофрованих
ПС (100) In4Se3(Ag) (рис. 1, б) сканувальними методами СТМ/СТС
могло б дати відповіді на питання щодо їх структурованого або нев-
порядкованого розміщення, форми та ін.
Дані СТМ/СТС одержано на установці Omicron NanoTechnology
STM/AFM System, Germany. Експерименти виконували в НВВ,
кращому за 10
10
Тор при кімнатній температурі. Дослідження в
НВВ такого рівня дозволяє уникнути впливу адсорбатів, поява
яких на ПС (100) In4Se3 з атмосфери залишкових газів НВВ камери,
вивчалась нами раніше [6, 7].
СТМ-зображення ПС (100) In4Se3(Ag) записували в режимі пос-
тійного струму тунелювання, як правило, меншому за 0,1 нА з ви-
користанням вольфрамового вістря. СТС застосовували в режимі
зображень тунельного струму (режим current imaging tunnelling
spectroscopy (CITS)). Результати CITS дозволяють пов’язати елект-
ронні властивості ПС (100) In4Se3(Ag) з «просторовою» інформацією
методом екстраґування зображень, одержаних у діапазоні зміщень
між вістрям і поверхнею від 4 В до 4 В, і застосуванням мульти-
профілювання зображень з аналізом їх топографічних особливостей
і локальної густини поверхневих електронних станів (ЛГПЕС).
Аналіз і оброблення СТМ/СТС даних виконувалися із викорис-
танням програмного забезпечення WSM v.4.0 від Nanotec Elec-
tronica [8].
3. РЕЗУЛЬТАТИ ТА ЇХ АНАЛІЗ
3.1. Сканувальна тунельна мікроскопія поверхні
Відомо, що СТМ дозволяє одержувати зображення поверхонь з
атомним розділенням, однак, у випадку ПС (100) In4Se3, навіть для
1036 П. В. ГАЛІЙ, Т. М. НЕНЧУК, А. ЦІЖЕВСЬКИЙ та ін.
спеціально неінтеркальованих кристалів, як правило, його важко
досягнути при кімнатній температурі, тому обмежуються ґратни-
цевим розрізненням, яке полягає в ідентифікації борознистої стру-
ктури поверхні. Така структура характеризується періодичністю в
напрямку вектора сталої ґратниці b з розміром сумірним з відпові-
дною відстанню в об’ємі ШК (див. рис. 1, б). Попередньо нами було
одержано двовимірні СТМ-зображення ПС (100) In4Se3 спеціально
неінтеркальованих, які дозволяють кількісно оцінити морфологію
ПС (100) в напрямках b і с (рис. 1, б) з використанням для аналізу
СТМ-зображень двовимірної Фур’є-фільтрації [9].
За результатами СТМ-аналізу одержано зображення, які мають
високу роздільну здатність як вздовж ПС (100) In4Se3(Ag), так і по
висоті для достатньо гладких в атомному масштабі ПС (100). На ри-
сунку 2 наведено відповідне фільтроване зображення поверхні.
Фільтр «Похідна», використаний у цьому випадку, дозволяє зроби-
ти більш контрастними області топографічних особливостей на по-
верхні, в той же час області незначних висотних змін заповнюються
однаковим кольором. Аналіз СТМ-зображення, наведеного на рис.
2, дозволяє встановити неоднорідність структури поверхні, яка,
очевидно, обумовлена неоднорідним розподілом інтеркалату по ПС
(100) In4Se3(Ag) в атомному масштабі і/або особливостями утворен-
ня досліджуваної поверхні, оскільки, ми маємо справу з однією з
частин розколеного кристалу.
Поряд з вивченням металевих наноструктур на поверхні In4Se3
важливо також дослідити можливу реконструкцію поверхні «підк-
ладки» в безпосередньому контакті з інтеркалатом, тобто, поверхні
(100) In4Se3(Ag), в той час, коли відомо з досліджень методами
атомно-силової мікроскопії (АСМ) [10], СТМ та дифракції повіль-
них електронів [11, 12], що поверхня спеціально неінтеркальова-
них кристалів In4Se3 не перебудовується під час сколювання крис-
талу.
Для оцінки періодичності поверхневих структур на ПС (100)
In4Se3(Ag) використовується аналіз профілів вздовж вибраних на
зображенні напрямків. З наведеного на рис. 2, в профілю поверхні
вздовж напрямку вектора сталої ґратниці b і профілю на рис. 2, д,
одержаного із збільшеного фраґмента зображення поверхні (рис. 2,
г), і який добре відповідає профілю борозни на поверхні кристалу,
відповідно до кристалографічних даних (стала ґратниці для об’єму
вздовж напрямку c, паралельному до борозни, становить 4,0810(5)
Å, а вздовж напрямку b, перпендикулярному до неї або до ланцюж-
ків – 12,308(1) Å), можна зробити висновок про нереконструйова-
ну структуру ПС (100) In4Se3(Ag), принаймні в напрямку b. Одер-
жати дані про період ПС (100) In4Se3(Ag) у напрямку с, як це було
для ПС (100) спеціально неінтеркальованого кристалу в [5], не вда-
лося через недостатню роздільну здатність одержаних зображень.
Крім того, виконано аналіз профілів для «зашумлених» областей
НАНОСТРУКТУРНІ ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХОНЬ (100) КРИСТАЛІВ In4Se3 1037
СТМ-зображень ПС (100), тобто, для яких не вдалося спостерігати
будь-яку періодичність, а лише яскраві і темні плями, які можна
пов’язати з наявністю або браком інтеркалату, як це випливає з да-
них СТС, розглянутих нижче.
Як можна визначити з наведеного на рис. 3 відповідного профі-
лю, перепад по висоті для таких плям на СТМ-зображенні не пере-
вищує величину 15 Å, яка є сумірною з товщиною моношару дослі-
джуваного кристалу In4Se3(Ag).
Кількісно морфологію ПС (100) In4Se3(Ag) з присутністю на ній
наноструктур можна оцінити використовуючи стандартні статис-
Рис. 2. Фільтроване (фільтр «Похідна») СТМ-зображення площадки 5252
нм2
ПС (100) Іn4Se3(Ag), одержаної in situ, записане в режимі постійного
струму при напрузі зміщення 1,6 В: 3D (а); 2D (б) та відповідний профіль
(в). Відстань 34,44 нм відповідає 28 періодам ґратниці ШК Іn4Se3 вздовж
осі b. Збільшений фраґмент зображення (г) і відповідний профіль (д)
вздовж осі b відображають характерну структуру борозни.
1038 П. В. ГАЛІЙ, Т. М. НЕНЧУК, А. ЦІЖЕВСЬКИЙ та ін.
тичні дані стосовно шорсткості поверхні, її асиметрії та гостроти
(піковості) [13]. Однак, необхідно усвідомлювати, що така інфор-
мація відрізнятиметься від даних, одержаних іншими методами
дослідження поверхні, які безпосередньо надають усереднені зна-
чення по досліджуваній області поверхні.
По-перше, необхідно відмітити, що просте порівняння таблиць
кольорів, як відображення висоти відповідного пікселя, для СТМ-
зображень у випадках чистого і інтеркальованого сріблом ШК, оде-
ржаних при сумірних напругах зміщення вістря—поверхня і розмі-
рах сканованої області, дозволяє зробити висновок щодо суттєво
більшого розкиду амплітуд по вісі висот для останніх, ніж для спе-
ціально неінтеркальованих ПС, як правило, в 2—3 рази.
Детальний аналіз з використанням стандартних параметрів для
статистичного аналізу топографії ПС (100) In4Se3(Ag) для СТМ-
зображень, а саме середньоквадратичної шорсткості (Root Mean
Square (RMS) roughness), асиметрії (skewness) і ексцесу (kurtosis),
підтверджує таку тенденцію для масивів значень всього зображен-
ня (див. табл. 1).
Середньоквадратична шорсткість однозначно вказує на більшу
неоднорідність ПС (100) In4Se3(Ag) порівняно з неінтеркальовани-
ми. Величина параметра асиметрії свідчить про майже симетрич-
ний розподіл висот пікселів зображення відносно усередненої пло-
щини (симетричний розподіл при величині параметра, що дорівнює
нулю) для поверхонь спеціально неінтеркальованих кристалів, а
також про наявність «суттєвих дір» у поверхні (від’ємна величина
більша за 1) для ПС (100) In4Se3(Ag).
Рис. 3. СТМ-зображення площадки 5050 нм
2
з одержаної in situ ПС (100)
In4Se3(Ag), записане в режимі постійного струму при напрузі зміщення
1,6 В (а), та відповідний профіль між двома затіненими областями (б).
НАНОСТРУКТУРНІ ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХОНЬ (100) КРИСТАЛІВ In4Se3 1039
Ексцес (гострота поверхні або піковість) для Ґауссівських розпо-
ділів висот наближається до величини 3,0, що є, насправді, харак-
терним для поверхонь спеціально неінтеркальованих кристалів.
Більші значення для In4Se3(Ag) вказують на більш вузькі розподіли
по висоті пікселів СТМ-зображення досліджуваних поверхонь.
Для СТС-досліджень, як вказувалось вище, застосовано метод
CITS (current-imaging tunnelling spectroscopy), який забезпечує за-
пис I—V кривих для кожного пікселя топографічного СТМ-зобра-
ження. Вимірювання локальних CITS-кривих дозволяє оцінити
зміни локальної електронної структури поверхні, оскільки залеж-
ність dI/dV від напруги зміщення V (dI(V)/dV f(V)) є пропорцій-
ною до ЛГПЕС.
Необхідно нагадати, що тунельний струм зондує область з діаме-
тром 5 Å, тому СТС-спектри, навіть одержані в багатьох точках та
усереднені по достатньо великих у наномасштабі ділянках поверх-
ні, є відмінними від таких, що одержані іншими методами спектро-
скопії поверхні, наприклад, ультрафіолетовою фотоелектронною
спектроскопією, яка «інтегрує» значно більші ділянки поверхні.
У методі CITS проводиться аналіз даних СТС з просторовим роз-
діленням, тобто поєднується одержання локальних вольт-амперних
(I—V) характеристик з побудовою відповідних СТМ-зображень.
Причому, особливості топографії СТМ-зображень однієї і тієї ж об-
ласті поверхні, одержані при різних величинах напруги зміщення,
можна легко порівнювати, використовуючи «інструментарій» му-
льтипрофілювання зображень. Відомо, що за певних умов дані CITS
уможливлюють ідентифікацію хімічних або структурних чинни-
ків, які призводять до особливостей в спектрах [14, 15].
Нами аналізувалися так звані нормовані CITS-зображення, тобто
залежності ((dI/dV)/(I/V) F(V)), які більш адекватно відобража-
ють відносну ЛГПЕС і одержуються при різних напругах зміщення
вістря—поверхня, і тому, окрім позиціонування особливостей топо-
графії на поверхні дають можливість оцінити відносну ЛГПЕС для
відповідних точок на поверхні.
Порівняння СТС-спектрів ПС (100), усереднених за площею по-
ТАБЛИЦЯ 1. Порівняльна таблиця параметрів поверхонь ШК In4Se3.
Спеціально неінтеркальований
In4Se3
Інтеркальований
In4Se3(Ag)
Середньоквадратична
шорсткість
(RMS roughness), нм
0,1—0,2 0,3
Асиметрія (skewness) 0,02—0,05 (0,45—1,09)
Ексцес (kurtosis) 2,79—3,15 3,2—5,45
1040 П. В. ГАЛІЙ, Т. М. НЕНЧУК, А. ЦІЖЕВСЬКИЙ та ін.
верхні 5050 нм
2
(тобто одержаних шляхом усереднення 6400 «точ-
кових локальних спектрів» від областей з діаметром 5 Å), для спе-
ціально неінтеркальованих кристалів In4Se3 та кристалів, інтерка-
льованих сріблом, наведено на рис. 4. У цьому випадку для ПС (100)
In4Se3(Ag) спостерігаються два максимуми ЛГПЕС по обидва боки
рівня Фермі при енергіях 0,37 еВ і 0,3 еВ, на відміну від ПС (100)
спеціально неінтеркальованих кристалів, для яких спостерігається
один максимум ЛГПЕС при енергії 0,3 еВ. Вочевидь, можна зроби-
ти висновок, що причиною максимумів ЛГПЕС біля рівня Фермі в
спектрах ПС (100) спеціально неінтеркальованих ШК In4Se3 є при-
сутність самоінтеркальованого індію на поверхнях в обох випадках
і срібла додатково на поверхнях In4Se3(Ag). Висота цих піків ЛГПЕС
змінюється суттєво від точки до точки на ПС (100); у той же час ене-
ргетичне положення є незмінним. Такі результати вказують на те,
що обидві металічні фази як індію, так і срібла, що обумовлені інте-
ркалатами, є присутніми на відколах In4Se3(Ag).
На рисунку 5 наведено двовимірне та відповідне тривимірне
СТМ-зображення ПС (100) In4Se3(Ag), а також локальні нормовані
СТС-спектри у відповідних вибраних областях на поверхні з харак-
терними особливостями топографії. Кожен з цих СТС-спектрів оде-
ржано з даних CITS шляхом вибору однієї або декількох з 6400 то-
чок на поверхні. В останньому випадку він представляє усереднені
дані декількох локальних СТС-спектрів. Як правило, більшість
аналізованих точок характеризуються типовими напівпровіднико-
вими СТС-спектрами, наведеними на рис. 5, в. Виступи на ПС (100)
Рис. 4. Усереднені за областю 5050 нм
2
(6400 точок) ПС (100) НВВ-від-
колу Іn4Se3 нормовані (dI/dV)/(I/V) F(V) спектри СТС: а – для спеціаль-
но неінтеркальованого, б – для інтеркальованого сріблом кристалу Іn4Se3.
НАНОСТРУКТУРНІ ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХОНЬ (100) КРИСТАЛІВ In4Se3 1041
In4Se3(Ag), як видно зі спектра СТС на рис. 5, г, однозначно мають
металічну природу.
Внаслідок методології CITS-аналізу одержують 110 просторових
карт струмів тунелювання при певних напругах зміщення вістря—
ПС (100) In4Se3(Ag) з діапазону від 4 В до 4 В, які можна тракту-
вати, як відображення відносної величини ЛГПЕС, що задіяні у
процесах тунелювання.
Кількісний аналіз таких просторових карт струмів тунелювання
в діапазоні напруг зміщення вістря—поверхня зразка In4Se3(Ag) в
межах величини забороненої зони в напівпровіднику In4Se3, яка
сумірна з даними для об’єму 0,68 еВ, дозволяє оцінити відносну кі-
лькість локальних точок, які мають суто металічну природу серед
усіх аналізованих точок на вибраній ділянці ПС (100) кристалу.
Таким чином, для невеликих за розмірами ділянок ПС (100),
Рис. 5. Записані в режимі постійного струму при напрузі зміщення 1,6 В
2D (а) і 3D (б) СТМ-зображення площадки 5050 нм
2, одержаної in situ ПС
(100) In4Se3(Ag) з металічним включенням, яке характеризується локаль-
ним суто металічним СТС-спектром (г), на відміну від решти типових ло-
кальних СТС-спектрів поверхні (в); профіль поверхні металічного вклю-
чення (д).
1042 П. В. ГАЛІЙ, Т. М. НЕНЧУК, А. ЦІЖЕВСЬКИЙ та ін.
стандартно це області 5050 нм
2, оцінено відносні концентрації на-
явної металічної складової, які змінюються в достатньо широких
межах від 12 до 24%. Якісний склад цієї металічної складової для
ПС (100) ШК In4Se3(Ag) і спеціально неінтеркальованих In4Se3, як і
слід було очікувати, є трохи різним, що можна бачити з типових
СТС-спектрів, наведених на рис. 4.
Ще одним висновком, який випливає з порівняння відносних
концентрацій металічної фази і аналогічних даних з результатів
кількісної ОЕС, щодо відносної концентрації срібла, є неоднорід-
ність шару інтеркалату на ПС (100) ШК у локальному масштабі для
кристалів In4Se3(Ag), на відміну від поверхонь спеціально неінтер-
кальованих кристалів, для яких СТС-спектри в локальних точках
поверхні демонструють відносну однорідність розподілу ЛГПЕС по
досліджуваній поверхні (100) шаруватого кристалу In4Se3.
4. ВИСНОВКИ
ПС (100) інтеркальованих сріблом ШК In4Se3(Ag) показують відсут-
ність реконструкції поверхні і добру відповідність параметрів пове-
рхневої і об’ємної ґратниць. Для поверхонь інтеркальованих крис-
талів характерним є наявність СТМ-областей з «темними і світлими
плямами», для яких відсутня реґулярність та періодичність, що
обумовлено наявністю або браком інтеркалату і (або) особливостями
утворення поверхонь під час сколювання. Різниця висот за топо-
графічним профілем для таких областей не перевищує товщини
моношару кристалу.
Результати СТС з просторовим розділенням дозволяють зробити
висновок, що поряд з наявністю локалізованих станів на ПС (100)
In4Se3, зумовлених самоінтеркалатом індію, які характерні для
спеціально неінтеркальованих кристалів, спостерігаються стани
обумовлені сріблом, введеним у міжшарову щілину в процесі інтер-
каляції. Крім того, СТС-спектри однозначно дозволяють зробити
висновок про існування на поверхні сколювання різних локальних
областей, які виявляють або напівпровідникові, або суто металічні
властивості.
У цілому, результати СТС/СТМ вказують на неоднорідний розпо-
діл інтеркалату на поверхні відколу (100) кристалу In4Se3(Ag) в на-
номасштабі.
ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
1. P. V. Galiy, T. M. Nenchuk, A. Ciszewski, P. Mazur, S. Zuber, and Ya. M.
Buzhuk, Functional Materials, 20, No. 1: 37 (2013).
2. U. Schwarz and H. Hillebrecht, Z. Kristallogr., 210, No. 5: 342 (1995).
НАНОСТРУКТУРНІ ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХОНЬ (100) КРИСТАЛІВ In4Se3 1043
3. Г. С. Гертович, С. И. Гринева, О. П. Столярчук и др., Сб. науч. трудов «Ма-
териаловедение узкощелевых и слоистых полупроводников» (Киев: Науко-
ва думка: 1989).
4. З. Д. Ковалюк, Физические основы полупроводникового материаловедения
(Киев: Наукова думка: 1982).
5. М. Ю. Барбашов, В. А. Горелик, О. Д. Протопопов и др., Электронная про-
мышленность, 2 (130): 33 (1984).
6. P. V. Galiy, T. M. Nenchuk, J. M. Stakhira, and Ya. M. Fiyala, J. Electron
Spectrosc. Relat. Phenom., 105: 91 (1999).
7. П. В. Галій, Т. М. Ненчук, О. Я. Мельник, Й. М. Стахіра, УФЖ, 48, № 3: 256
(2003).
8. I. Horcas, R. Fernandez, J. M. Gomez-Rodriguez, J. Colchero, J. Gomez-
Herrero, and A. M. Baro, Rev. Sci. Instrum., 78: 013705 (2007).
9. P. V. Galiy, T. M. Nenchuk, O. R. Dveriy, A. Ciszewski, P. Mazur, S. Zuber,
and Ya. M. Buzhuk, Chem. Met. Alloys, 4, Iss. 1/2: 63 (2011).
10. P. V. Galiy, A. Ciszewski, O. R. Dveriy, Ya. B Losovyj, P. Mazur, T. M.
Nenchuk, S. Zuber, and Ya. M. Fiyala, Functional Materials, 16, No. 3: 279
(2009).
11. P. V. Galiy, T. M. Nenchuk, O. R. Dveriy, A. Ciszewski, P. Mazur, and S.
Zuber, Phys. E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures, 41, Iss. 3: 465
(2009).
12. П. В. Галій, Т. М. Ненчук, О. Р. Дверій, О. П. Поплавський, Я. М. Фіяла,
Фізика і хімія твердого тіла, 10, № 4: 813 (2009).
13. M. Aguilar, A. I. Oliva, and E. Anguiano, Surf. Sci., 420: 275 (1999).
14. K. S. Nakayama, T. Sugano, K. Ohmori, A. W. Signor, and J. H. Weaver, Surf.
Sci., 600: 716 (2006).
15. Z. Klusek, P. Kobierski, and W. Olejniczak, Appl. Phys. A, 66: S129—S133
(1998).
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <FEFF005500740069006c0069007a007a006100720065002000710075006500730074006500200069006d0070006f007300740061007a0069006f006e00690020007000650072002000630072006500610072006500200064006f00630075006d0065006e00740069002000410064006f00620065002000500044004600200070006900f900200061006400610074007400690020006100200075006e00610020007000720065007300740061006d0070006100200064006900200061006c007400610020007100750061006c0069007400e0002e0020004900200064006f00630075006d0065006e007400690020005000440046002000630072006500610074006900200070006f00730073006f006e006f0020006500730073006500720065002000610070006500720074006900200063006f006e0020004100630072006f00620061007400200065002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065002000760065007200730069006f006e006900200073007500630063006500730073006900760065002e>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|