Упрочнение поверхности изделий сложной геометрической формы в смеси металлического пара и быстрых молекул газа - Григорьев, С.Н.; Метель, А.С.; Волосова, М.А.; Мельник, Ю.А.; Болбуков, В.П. (Металлофизика и новейшие технологии, 2013)
Для синтеза износостойких покрытий на изделиях из проводящих и диэлектрических материалов сложной геометрической формы с выступами и полостями разработан источник потока медленных атомов металла, совмещённого с потоком быстрых молекул газа. При давлении 0,2—0,5 Па смеси аргона и азота (15%) на обрабатываемых изделиях синтезируются нитридные покрытия, бомбардируемые молекулами газа с энергией, регулируемой от нуля до сотен электрон-вольт. Совпадение траекторий атомов металла и быстрых молекул газа от общей эмиссионной сетки до вращающихся в камере изделий обеспечивает непрерывность бомбардировки быстрыми молекулами покрытий, синтезируемых внутри и снаружи полостей, и идентичность их свойств, несмотря на меньшую толщину покрытий внутри полостей.