Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц....
Saved in:
Date: | 2013 |
---|---|
Main Authors: | , , , , , , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
Series: | Металлофизика и новейшие технологии |
Subjects: | |
Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104262 |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Cite this: | Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |