Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц

Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2013
Main Authors: Першин, Ю.П., Севрюкова, В.А., Зубарев, Е.Н., Оберемок, А.С., Мельник, В.П., Романюк, Б.Н., Попов, В.Г., Литвин, П.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
Series:Металлофизика и новейшие технологии
Subjects:
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104262
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine