Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd

Роботу присвячено встановленню загальних закономірностей впливу температури термооброблення та товщини прошарку з Gd на структурнофазовий стан, електрофізичні та магнеторезистивні властивості тришарових плівок Co/Gd/Co і Fe/Gd/Fe....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2013
Hauptverfasser:	Воробйов, С.І., Чешко, І.В., Чорноус, А.М., Шпетний, І.О.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainian
Veröffentlicht:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
Schriftenreihe:	Металлофизика и новейшие технологии
Schlagworte:	Металлические поверхности и плёнки
Online Zugang:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104265
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd / С.І. Воробйов, І.В. Чешко, А.М. Чорноус, І.О. Шпетний // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1645-1658. — Бібліогр.: 18 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-104265
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1042652016-07-07T03:02:12Z Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd Воробйов, С.І. Чешко, І.В. Чорноус, А.М. Шпетний, І.О. Металлические поверхности и плёнки Роботу присвячено встановленню загальних закономірностей впливу температури термооброблення та товщини прошарку з Gd на структурнофазовий стан, електрофізичні та магнеторезистивні властивості тришарових плівок Co/Gd/Co і Fe/Gd/Fe. Работа посвящена установлению общих закономерностей влияния температуры термообработки и толщины слоя из Gd на структурно-фазовое состояние, электрофизические и магниторезистивные свойства трёхслойных плёнок Co/Gd/Co и Fe/Gd/Fe. The paper is concerned with revealing of common regularities of heat treatment effect and layer thickness of Gd on the structural and phase states, electrophysical and magnetoresistive properties of three-layer Co/Gd/Co and Fe/Gd/Fe films. 2013 Article Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd / С.І. Воробйов, І.В. Чешко, А.М. Чорноус, І.О. Шпетний // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1645-1658. — Бібліогр.: 18 назв. — укр. 1024-1809 PACS numbers: 68.55.Nq, 71.20.Be, 71.20.Eh, 73.50.Jt, 75.30.Gw http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104265 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Ukrainian
topic	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки
spellingShingle	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки Воробйов, С.І. Чешко, І.В. Чорноус, А.М. Шпетний, І.О. Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd Металлофизика и новейшие технологии
description	Роботу присвячено встановленню загальних закономірностей впливу температури термооброблення та товщини прошарку з Gd на структурнофазовий стан, електрофізичні та магнеторезистивні властивості тришарових плівок Co/Gd/Co і Fe/Gd/Fe.
format	Article
author	Воробйов, С.І. Чешко, І.В. Чорноус, А.М. Шпетний, І.О.
author_facet	Воробйов, С.І. Чешко, І.В. Чорноус, А.М. Шпетний, І.О.
author_sort	Воробйов, С.І.
title	Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd
title_short	Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd
title_full	Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd
title_fullStr	Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd
title_full_unstemmed	Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd
title_sort	вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі со, fe та gd
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2013
topic_facet	Металлические поверхности и плёнки
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104265
citation_txt	Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd / С.І. Воробйов, І.В. Чешко, А.М. Чорноус, І.О. Шпетний // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1645-1658. — Бібліогр.: 18 назв. — укр.
series	Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv	AT vorobjovsí vplivtemperaturinafazovijskladelektrofízičnítamagnetorezistivnívlastivostíplívkovihsistemnaosnovísofetagd AT češkoív vplivtemperaturinafazovijskladelektrofízičnítamagnetorezistivnívlastivostíplívkovihsistemnaosnovísofetagd AT čornousam vplivtemperaturinafazovijskladelektrofízičnítamagnetorezistivnívlastivostíplívkovihsistemnaosnovísofetagd AT špetnijío vplivtemperaturinafazovijskladelektrofízičnítamagnetorezistivnívlastivostíplívkovihsistemnaosnovísofetagd
first_indexed	2025-07-07T15:08:47Z
last_indexed	2025-07-07T15:08:47Z
_version_	1837001269202386944
fulltext	1645 PACS numbers: 68.55.Nq, 71.20.Be, 71.20.Eh, 73.50.Jt, 75.30.Gw Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd С. І. Воробйов , І. В. Чешко , А. М. Чорноус , І. О. Шпетний,** Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна *Інститут магнетизму НАН України і МОН України, бульв. Акад. Вернадського, 36-б, 03142 Київ, Україна Роботу присвячено встановленню загальних закономірностей впливу те- мператури термооброблення та товщини прошарку з Gd на структурно- фазовий стан, електрофізичні та магнеторезистивні властивості тришаро- вих плівок Co/Gd/Co і Fe/Gd/Fe. Встановлено, що у свіжосконденсовано- му стані плівкові системи на основі Co, Fe та Gd після конденсації при те- мпературі підложжя Тп  460 К і охолодження до кімнатної мають фазо- вий склад ГЩП-Со  ГЦК-Со  ка-Gd та ОЦК-Fe  ка-Gd відповідно. Тер- мооброблення плівкових систем на основі Co і Gd до температури 800 і 1000 К не призводить до зміни фазового складу, хоча концентрація крис- талів ГЦК-Со істотно збільшується. Фазовий склад плівкових зразків на основі Fe і Gd не змінюється після термооброблення до 600 К, а у зразках яких було відпалено при 900 К спостерігається утворення додаткової окси- дної фази ГЦК-Fe3O4. Показано, що в розглянутих системах проявляється анізотропний характер залежности величини магнетоопору від прикладе- ного зовнішнього магнетного поля. Для всіх плівкових зразків до і після термообробки, незалежно від геометрії міряння, залежності величин маг- нетоопору і коерцитивної сили від ефективної товщини прошарку із ка-Gd мають осцилівний характер. Відпалювання плівкових зразків слабо впли- ває на величину їх магнетоопору. Работа посвящена установлению общих закономерностей влияния темпе- ратуры термообработки и толщины слоя из Gd на структурно-фазовое со- стояние, электрофизические и магниторезистивные свойства трёхслой- ных плёнок Co/Gd/Co и Fe/Gd/Fe. Установлено, что в свежесконденсиро- ванном состоянии плёночные системы на основе Co, Fe и Gd после конден- сации при температуре подложки Тп  460К и охлаждения до комнатной Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2013, т. 35, № 12, сс. 1645—1658 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2013 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 1646 С. І. ВОРОБЙОВ, І. В. ЧЕШКО, А. М. ЧОРНОУС, І. О. ШПЕТНИЙ имеют фазовый состав ГЩП-Со  ГЦК-Со  ка-Gd и ОЦК-Fe  ка-Gd соот- ветственно. Термообработка плёночных систем на основе Co и Gd до темпера- туры 800 и 1000 К не приводит к изменению фазового состава, хотя концен- трация кристаллов ГЦК-Со существенно увеличивается. Фазовый состав плёночных образцов на основе Fe и Gd не меняется после термообработки до 600 К, а в образцах, которые были отожжены при 900 К, наблюдается образо- вание дополнительной оксидной фазы ГЦК-Fe3O4. Показано, что в рассматри- ваемых системах проявляется анизотропный характер зависимости величи- ны магнетосопротивления от приложенного внешнего магнитного поля. Для всех плёночных образцов до и после термообработки, независимо от геомет- рии измерения, зависимости величин магнетосопротивления и коэрцитивной силы от эффективной толщины слоя из ка-Gd имеют осциллирующий харак- тер. Отжиг плёночных образцов слабо влияет на величину их магнетосопро- тивления. The paper is concerned with revealing of common regularities of heat treat- ment effect and layer thickness of Gd on the structural and phase states, elec- trophysical and magnetoresistive properties of three-layer Co/Gd/Co and Fe/Gd/Fe films. As specified, under condition of freshly condensed state, film systems based on Co, Fe and Gd after condensation on substrate at tem- perature Тs  460 K and cooling up to the room temperature have the phase compositions h.c.p.-Со  f.c.c.-Со  q.a-Gd and b.c.c.-Fe  q.a-Gd respective- ly. Heat treatment of film systems based on Co and Gd up to the temperatures 800 and 1000 K does not result in changing the phase composition, although the content of f.c.c.-Со crystals increases considerably. Phase composition of film samples based on Fe and Gd is not changed after the heat treatment up to 600 K; but, in samples, which are annealed up to 900 K, the formation of ad- ditional f.c.c.-Fe3O4 oxide phase could be observed. As shown, in considered systems, the anisotropic character of magnetoresistance value dependence on applied external magnetic field is revealed. For all film samples before and af- ter heat treatment, regardless of measuring geometry, the dependences of magnetoresistance value and coercive force on effective thickness of interlayer of q.a-Gd has oscillating character. Annealing of film samples affects slightly on the value of their magnetoresistance. Ключові слова: фазовий склад, електрофізичні властивості, магнетоопір, коерцитивна сила, плівкові системи. (Отримано 5 грудня 2013 р.) 1. ВСТУП Застосування 2D-наноматеріалів у вигляді мультишарів та багато- шарових плівкових функціональних структур супроводжується ря- дом невирішених проблем, які пов’язані з відсутністю однозначної інформації щодо особливостей дифузійних процесів, фазоутворення та структурних перетворень в умовах дії різних фізичних полів, що призводять до зміни властивостей всієї наносистеми в цілому. Бага- ВПЛИВ ТЕМПЕРАТУРИ НА ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМ 1647 тошарові плівкові структури з використанням поєднання феромаг- нетних і рідкоземельних металів, зокрема Fe або Co з Gd, здобувають популярність при виготовленні нових функціональних елементів спінтроніки та наносенсорної техніки [1, 2]. Унікальність таких по- єднань викликана особливостями взаємодії магнетних моментів їх атомів, а саме непрямим обміном, наприклад, між трьохвалентним іоном Fe, у якого 3d-оболонка заповнена наполовину і який має сфе- рично симетричний розподіл заряду, та між рідкоземельним атомом Gd з незаповненою 5f-оболонкою, що має сильні спін-орбітальну вза- ємодію та несиметричний розподіл заряду. Обмінна енергія поєд- нання цих атомів має виражений анізотропний характер. При пев- них умовах структура Fe—Gd проявляє властивості антиферомагне- тика, коли обмінна взаємодія домінує над збудженнями, а параметр взаємодії менше нуля, і саме ця властивість забезпечує можливість реалізації спін-залежного розсіювання електронів у даних системах. Рядом авторів [3—6] відмічалось, що у дво- та багатошарових плі- вкових системах на основі Fe і Gd або Co і Gd з товщиною шарів 1— 10 нм шар гадолінію перебуває у аморфному стані, причому саме присутність в плівковій системі цієї аморфної фази забезпечує ви- сокі значення магнетної анізотропії та коерцитивності. У зв’язку з цим метою даної роботи стало вивчення структурно- фазового стану плівкових систем на основі Fe, Co і Gd та встанов- лення його впливу на магнеторезистивні властивості. 2. МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ Тришарові плівки Со/Gd/Co/П та Fe/Gd/Fe/П (П – підкладка) бу- ли отримані методом електронно-променевого осадження шляхом пошарової конденсації у робочому об’ємі вакуумної камери (тиск газів залишкової атмосфери Р  10 4 Па) із середньою швидкістю конденсації   0,01—0,03 нм/с на підігріту до температури Тп   460 К підкладку. Нами було досліджено серію зразків у яких ефе- ктивна товщина окремих шарів Co і Fe становила 10 нм, а у випадку Gd вона змінювалась від 1 до 10 нм. При вивченні електрофізичних і магнеторезистивних властивостей плівкових матеріалів та їх наступної експлуатації важливу роль відіг- рає підкладка, яка повинна задовольняти певним встановленим вимо- гам, зокрема, бути діелектричною, мати термічну стійкість, низькі температурний коефіцієнт лінійного розширення і шорсткість повер- хні та мати високу механічну міцність. Комплексу таких вимог відпо- відають ситалові підкладки [7], які використовуються при виготов- ленні гібридних інтегральних мікросхем та ряду датчиків. У зв’язку з цим при дослідженні магнеторезистивних властивостей нами викори- стовувались ситалові підкладки розмір яких складав 1010 мм. Дос- татня адгезія плівок до підкладки забезпечувалась її підігрівом, крім 1648 С. І. ВОРОБЙОВ, І. В. ЧЕШКО, А. М. ЧОРНОУС, І. О. ШПЕТНИЙ цього це дозволяло отримати більш структурно-досконалі зразки з меншою кількістю дефектів кристалічної будови. Для дослідження кристалічної структури і фазового складу плівкові зразки осаджувались на плівки-підкладки з аморфного вуглецю. Дослі- дження структурних характеристик проводилось методами просвічую- чої електронної мікроскопії та електронографії (прилад ПЕМ—125К). Вимірювання електричного опору у зовнішньому магнетному по- лі проводили за чотирьохточковою схемою. Через два крайні елект- роди по зразку пропускався струм 1 мА, а два середні використову- вались для зняття спаду напруги. Для цього застосовувався про- грамно-апаратний комплекс, який описаний у роботі [8]. Дослі- дження залежності опору від напруженості магнетного поля у трьох геометріях вимірювання (перпендикулярна, поперечна, поздовж- ня) здійснювалось за кімнатної температури. Розрахунок величини магнетоопору MО проводився за формулою: %,100 min minmax R RR МО  (1) де Rmax і Rmin найбільше і найменше значення опору плівкового зра- зка на залежності опору від напруженості зовнішнього магнетного поля В. Термообробка плівкових зразків проводилась у вакуумі (Р  10 4 Па) до Тв  800 і 1000 К (система Со/Gd/Co/П) та Тв  600 і 900 К (систе- ма Fe/Gd/Fe/П) за схемою «нагрівання  витримка протягом 20 хв.  охолодження до кімнатної температури». Регулювання швидкості нагріву і охолодження зразків, часу витримки, контроль температури підкладок здійснювалось в автоматичному режимі за допомогою програмно-апаратного комплексу на основі 16-бітного сигма-дельта АЦП ADAM-4118 з використанням методики, запро- понованої у роботі [9]. 3. ЕЛЕКТРОФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ТА ФАЗОВИЙ СКЛАД ПЛІВКОВИХ СТРУКТУР Fe/Gd/Fe ТА Co/Gd/Со На рисунку 1 проілюстровано типові температурні залежності опо- ру R(T) для плівкових систем різної товщини. Аналізуючи ці дані можна відмітити наступне. Характер залежностей опору від темпе- ратури для плівкових систем аналогічний температурним залежно- стям опору одношарових плівок Co і Fe [10, 11]. Такий результат представляється закономірним, оскільки ефективна товщина ша- рів Gd складає до 10 нм, а сумарна ефективна товщина шарів Co і Fe становить до 20 нм, тому можна говорити, що електричний струм переважно поширюється у шарах феромагнетиків. Залежність R(T) для плівкових зразків при нагріві впродовж пер- ВПЛИВ ТЕМПЕРАТУРИ НА ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМ 1649 шого циклу до температур 500—580 К (рис. 1, а, б) має вендівський ха- рактер [12], оскільки на ній спостерігається явно виражені три ділянки. На першій з яких в інтервалі температур 300430 К (Co/Gd/Co) та 300— 470 К (Fe/Gd/Fe) опір зростає із збільшенням температури. На другій ділянці, внаслідок процесів заліковування дефектів кристалічної будо- ви і рекристалізації, спостерігається неметалевий характер залежності R(T). Після закінчення процесу заліковування дефектів опір починає рости із збільшенням температури. Криві охолодження 1-го циклу та криві нагріву і охолодження 2-го циклу фактично накладаються. Це свідчить про повну термостабілізацію електрофізичних властивостей. Збільшення граничної температури відпалювання впливає на характер залежності R(T) для систем на основі Fe і Gd (рис. 1, г). Зокрема, в них спостерігається відносно різке зростання опору, який після відпалювання плівки має більше значення ніж у свіжо- сконденсованих зразках (причину цього ми обговоримо пізніше). Для плівкових систем на основі Co і Gd при збільшенні температури відпалювання після охолодження значення опору менше, ніж у а б в г Рис. 1. Температурна залежність опору для тришарових плівок: Со(3)/Gd(10)/Co(5)/П (а), Fe(5)/Gd(5)/Fe(5)/П (б), Со(5)/Gd(5)/Co(10)/П (в), Fe(5)/Gd(7)/Fe(10)/П (г); ■, □ – перший цикл; , ○ – другий цикл (те- мні і світлі маркери – нагрівання і охолодження відповідно). 1650 С. І. ВОРОБЙОВ, І. В. ЧЕШКО, А. М. ЧОРНОУС, І. О. ШПЕТНИЙ свіжосконденсованих зразках (рис. 1, в). Розглянемо фазовий склад свіжосконденсованих плівкових зра- зків. Типові електронограми та знімки кристалічної структури плі- вок на основі Co і Gd наведено на рис. 2, а; їх розшифровка містить- ся в табл. 1. На електронограмах від свіжосконденсованих зразків фіксуються лінії, які відповідають відбиттям від кристалографіч- них площин ГЩП-Со і ГЦК-Со. Наявність відбиттів від кристалог- рафічних площин (111) і (200), які належать ГЦК-Со, пояснюється дефектами пакування (ДП) у ГЩП-Со [13]. Яскраво виражених ліній, які б відповідали відбиттям від кристалографічних площин Gd на еле- ктронограмах від свіжосконденсованих плівок не спостерігається. На дифрактограмах спостерігається два гало із середнім діаметром, який дає середнє значення міжплощинних відстаней 0,29 нм і 0,18 нм. По- дібний результат описаний авторами [14], де досліджувалась структу- ра багатошарових плівок на основі Gd/Cu і Gd/Si з товщинами шарів Gd 7,5—40 нм. На думку авторів [14] наявність 2-го гало свідчить про початок кристалізації у шарах Gd, а плівки рідкоземельних металів таких як Gd, Tb, Dy проявляють схильність до аморфізації. Таким чи- ном, плівкові системи на основі Co і Gd після конденсації при темпера- турі підкладки Тп  460 К і охолодження до кімнатної мають фазовий склад ГЩП-Со  ГЦК-Со  квазіаморфний Gd. Від плівок, які пройшли термообробку до температур 800 К і Рис. 2. Електронограми (а—в) та мікроструктури (г, д) від тришарових плі- вок до (а, г) та після (б, в, д) термовідпалювання: Co(10)/Gd(5)/Co(10)/П (а, г – 460 К, б – 800 К, в, д– 1000К. ВПЛИВ ТЕМПЕРАТУРИ НА ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМ 1651 1000 К на електронограмах спостерігається зростання інтенсивнос- ті від ліній, які належать ГЦК-фазі, а на знімках кристалічної структури (рис. 2, д) спостерігаються відповідні кристали. Поряд з цим на електронограмах фіксуються відбиття від кристалографіч- них площин ГЩП-Со, але дещо з меншою інтенсивністю. Таким чином для плівкових зразків, які пройшли термообробку до 800 К і 1000 К, фіксується двофазний склад ГЩП-Со  ГЦК-Со з парамет- рами решітки ГЦК-Со а  0,356 нм (а0  0,3545 нм [16]), ГЩП-Со а  0,253 нм, с  0,412 нм (а0  0,2514 нм, с0  0,4105 нм [16]). Такий результат можна пояснити на основі електронно-мікроскопічних досліджень плівок після їх охолодження до кімнатної температури тим, що відбувається стабілізація ГЦК-фази при оберненому ГЦК  ГЩП-переході. Для свіжосконденсованих плівок на основі Fe і Gd з товщиною прошарку останнього не більше 10 нм також спостерігається квазіа- морфна фаза Gd. Відпалювання зразків до температур 600 і 900 К не призводить до зміни фазового складу в шарах Gd (рис. 3, табл. 2). На електронограмах від зразків у свіжосконденсованому стані спостерігаються лінії, які відповідають відбиттям від кристалогра- фічних площин ОЦК-Fe. Порівнюючи значення міжплощинних ві- дстаней (табл. 2) та параметра решітки а  0,287 нм (а0  0,286 нм [16]) у плівкових і масивних зразках, можна відмітити їх співпа- ТАБЛИЦЯ 1. Розшифровка дифракційної картини від зразка Co(10)/Gd(5)/Co(10)/П. № Тп  460 К Тв  800 К Тв  1000 К d0, нм [15] І, від. од dhkl, нм hkl Фазовий склад І, від. од dhkl, нм hkl Фазовий склад І, від. од dhkl, нм hkl Фазовий склад 1 Сл. — кa-Gd Сер. — — кa-Gd Сер. — — кa-Gd — 2 Сер. 0,216 100 ГЩП-Сo Сер. 0,215 100 ГЩП-Сo Сл. 0,215 100 ГЩП-Сo 0,2158 3 Д. С. 0,205 111 ГЦК-Co (ДП) Д. С. 0,205 111 ГЦК-Co Д.С. 0,205 111 ГЦК-Co 0,2037 4 С. 0,192 101 ГЩП-Сo С. 0,191 101 ГЩП-Сo Сер. 0,191 101 ГЩП-Сo 0,1915 5 Д. сл. — кa-Gd Д. сл. — — кa-Gd Д. сл. — — кa-Gd — 6 Сл. 0,178 200 ГЦК-Co (ДП) Сл. 0,177 200 ГЦК-Co Сл. 0,177 200 ГЦК-Co 0,1773 7 Сл. 0,125 110 ГЩП-Сo Сл. 0,124 110 220 ГЩП-Сo ГЦК-Co Сер. 0,124 110 220 ГЩП-Сo ГЦК-Co 0,125 0,1253 8 Сл. 0,115 103 ГЩП-Сo Сл. 0,115 103 ГЩП-Сo Д. сл. 0,115 103 ГЩП-Сo 0,1148 9 Сер. 0,107 201 ГЩП-Сo Сер. 0,106 201 311 ГЩП-Сo ГЦК-Co Сер. 0,106 201 311 ГЩП-Сo ГЦК-Co 0,1066 0,1066 Д. С. – дуже сильна, С. – сильна, Сер. – середня, Сл. – слабка, Д. сл. – дуже слабка 1652 С. І. ВОРОБЙОВ, І. В. ЧЕШКО, А. М. ЧОРНОУС, І. О. ШПЕТНИЙ дання в межах похибки визначення. Після відпалювання до темпе- ратури 600 К на електронограмах в залежності від товщини шару Fe можуть з’являтися додаткові лінії, які належать відбиттям від кри- сталографічних площин ГЦК-Fe3О4. Причиною утворення оксидної фази може бути взаємодія заліза з атомами кисню залишкової атмосфери у процесі відпалювання. Нами у роботі [10] було встановлено, що температура початку окис- лення плівок заліза є розмірно-залежною величиною, яка зміню- ється від 550 до 720 К в інтервалі товщин 15—150 нм. У зв’язку з цим для тришарових систем наявність або відсутність у плівках до- мішкової фази оксиду пов’язані з товщинами шарів Fe. Очевидно, що окислювальні процеси більш активно протікають у верхньому шарі Fe, оскільки його поверхня відкрита у процесі відпалювання. У той час як нижній шар Fe є захищеним підкладкою від впливу газів залишкової атмосфери (при дослідженні електрофізичних і магнеторезистивних властивостей в якості підкладки обирався си- тал, при вивченні фазового складу – вуглець). Збільшення темпе- ратури відпалювання до 900 К викликає більш активні окислюва- льні процеси у шарах заліза (рис. 2, табл. 2). Ці дані узгоджуються з результатами досліджень електрофізичних властивостей, згідно яких (рис. 1, г) опір плівок після відпалювання має більше значен- ня, ніж у свіжосконденсованих зразках, за рахунок наявності у ві- Рис. 3. Електронограми (а, б, в) та мікроструктури (г, д) від тришарових плівок до (а, г) та після (б, в, д) термовідпалювання: Fe(10)/Gd(3)/Fe(10)/П (а, г – 460 К, б – 600 К, в, д– 900К). ВПЛИВ ТЕМПЕРАТУРИ НА ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМ 1653 дпалених плівках оксидної фази. Таким чином, у плівковій системі на основі Fe і Gd з товщинами шарів dFe  5—10 нм, dGd  1—10 нм відбуваються наступні фазові пе- ретворення ка-Gd  ОЦК-Fe К600  ка-Gd  ОЦК-Fe або ка-Gd  ОЦК- Fe К900  ка-Gd  ОЦК-Fe  ГЦК-Fe3O4. 4. МАГНЕТОРЕЗИСТИВНІ ВЛАСТИВОСТІ Висновки про структурно-фазовий склад плівкових зразків підтве- рджуються результатами дослідження їх магнеторезистивних ха- рактеристик. На рисунку 4 проілюстровано сімейство залежностей магнетоопору від величини B для плівкових систем до і після тер- мообробки. Питання про особливості залежностей МО від В у різ- них геометріях вимірювання нами обговорювалось раніше у роботі [17]. Відпалювання зразків істотним чином не призводить до зміни характеру вказаних залежностей, а впливає лише на величину маг- нетоопору. У таблицях 3, 4 приведено дані про величину магнетоопору та ко- ерцитивної сили при кімнатній температурі виміряні на прикладі плівкової системи Со(10)/Gd/Co(10)/П з ефективною товщиною прошарку з гадолінію від 1 до 10 нм, які пройшли термообробку ТАБЛИЦЯ 2. Розшифровка дифракційної картини від зразка Fe(10)/Gd(3)/Fe(10)/П. № Т  460 К Тв  600 К Тв  900 К d0, нм [15] І, від. од. dhkl, нм hkl Фазовий склад І, від. од. dhkl, нм hkl Фазовий склад І, від. од. dhkl, нм hkl Фазовий склад 1 Сл. — — кa-Gd Сл. — — кa-Gd Сер. — — кa-Gd — 2 — — — — — — — — С. 0,254 311 ГЦК-Fe3O4 0,253 3 — — — — — — — — Сер. 0,211 400 ГЦК-Fe3O4 0,210 4 Д. С. 0,203 110 ОЦК-Fe Д. С. 0,203 110 ОЦК-Fe Д. С. 0,204 110 ОЦК-Fe 0,201 5 Д. сл. — — кa-Gd Д. сл. — — кa-Gd Сл. — — кa-Gd — 6 — — — — — — — — С. 0,149 440 ГЦК-Fe3O4 0,1483 7 С. 0,143 200 ОЦК-Fe С. 0,144 200 ОЦК-Fe Сер. 0,143 200 ОЦК-Fe 0,1428 8 — — — — — — — — Сл. 0,128 533 ГЦК-Fe3O4 0,1092 9 С. 0,117 211 ОЦК-Fe С. 0,117 211 ОЦК-Fe С. 0,117 211 ОЦК-Fe 0,1166 10 Сл. 0,101 220 ОЦК-Fe Сл. 0,102 220 ОЦК-Fe Д. сл. 0,102 220 ОЦК-Fe 0,101 11 — — — — — — — — Сл. 0,097 555 ГЦК-Fe3O4 0,0966 12 Сер. 0,092 310 ОЦК-Fe Сер. 0,091 310 ОЦК-Fe Сл. 0,091 310 ОЦК-Fe 0,0904 1654 С. І. ВОРОБЙОВ, І. В. ЧЕШКО, А. М. ЧОРНОУС, І. О. ШПЕТНИЙ при різних температурах. Відмітимо, що величина коерцитивної сили Нс визначалась із залежності МО від В за положенням макси- мумів. В усіх геометріях вимірювання для плівкових зразків Со/Gd/Co/П та Fe/Gd/Fe/П, які пройшли різний ступінь термооб- робки, має місце осцилівний характер залежності МО і Нс від ефек- тивної товщини прошарку з Gd. Такий результат може бути пов’язаний з осциляційною залежністю обмінної взаємодії між електронами провідності [18]. Після відпалювання до температури 800 К для зразків на основі Со і Gd не спостерігається явної тенденції щодо впливу температури на величину МО в усіх трьох геометріях вимірювання. Це стосуєть- ся і величини Нс для поперечної і поздовжньої геометрії. Хоча у ви- падку перпендикулярної геометрії коерцитивність плівкових зраз- ків після відпалювання до 900 К збільшується. Відпалювання до температури 1000 К викликає зростання величини МО у плівкових зразках з ефективною товщиною прошарку з Gd більше 6 нм, що а б в г Рис. 4. Залежність величини магнетоопору від прикладеного зовнішнього магнетного поля при трьох геометріях вимірювання: перпендикулярній (■), поперечній () та поздовжній (▲) для плівкових систем: а, б – Fe(10)/ка- Gd(7)/Fe(10)/П, в, г – Со(10)/ка-Gd(6)/Со(10)/П у свіжосконденсованому стані (а, в) та після термообробки до 900К (б) та 800К (г). ВПЛИВ ТЕМПЕРАТУРИ НА ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМ 1655 ТАБЛИЦЯ 3. Залежність величини коерцитивної сили та магнетоопору від товщини прошарку Gd та температури термообробки для плівкової си- стеми Со(10)/ка-Gd/Co(10)/П. Товщина Gd, нм 1 2,1 5 6,2 7,2 8,8 10 П е р п е н д и - к у л я р н а H c , м Т л 460 К 800 К 1000 К 208,8 275,9 320,7 187,8 191,9 205,8 71,2 126,1 194,7 77,4 93,9 95,1 78,7 80,1 80,1 89,6 121,1 121,1 10,3 25,8 25,8 М О , % 460 К 800 К 1000 К 0,394 0,452 0,277 0,272 0,286 0,221 0,159 0,165 0,152 0,201 0,132 0,447 0,247 0,276 0,358 0,069 0,141 0,153 0,152 0,104 0,225 П о п е р е ч н а H c , м Т л 460 К 800 К 1000 К 15,5 27,7 30,1 28,6 28,1 28,7 26,1 30,9 32,9 13,7 14,5 17,1 14,9 12,9 15,4 44,1 41,6 37,6 24,5 26,8 15,2 М О , % 460 К 800 К 1000 К 0,253 0,197 0,195 0,193 0,142 0,149 0,082 0,175 0,183 0,069 0,092 0,132 0,093 0,085 0,106 0,124 0,092 0,152 0,087 0,079 0,178 П о з д о в ж н я H c , м Т л 460 К 800 К 1000 К 11,1 16,3 14,6 34,4 40,1 21,4 13,1 35,1 31,8 17,6 27,3 16,1 17,9 27,4 17,6 52,5 48,7 39,5 25,9 29,8 10,5 М О , % 460 К 800 К 1000 К 0,151 0,356 0,213 0,105 0,077 0,069 0,089 0,067 0,049 0,039 0,049 0,124 0,083 0,024 0,089 0,024 0,061 0,084 0,044 0,041 0,136 ТАБЛИЦЯ 4. Залежність величини коерцитивної сили та магнетоопору від товщини прошарку Gd та температури термообробки для плівкової си- стеми Fe(10)/ка-Gd/Fe(10)/П. Товщина Gd, нм 1,2 3,5 5 7 8,3 9 10 П е р п е н д и - к у л я р н а H c , м Т л 460 К 900 К — 70,9 98,5 44,5 — 81,1 184,2 174,6 122,9 39,7 112,4 82,2 116,1 64,9 М О , % 460 К 900 К — 0,062 0,036 0,109 — 0,094 0,091 0,071 0,081 0,062 0,037 0,067 0,021 0,084 П о п е р е ч н а H c , м Т л 460 К 900 К 23,9 25,4 17,8 13,1 34,2 41,3 23,7 27,1 30,1 25,9 22,9 29,3 32,9 23,9 М О , % 460 К 900 К 0,044 0,062 0,041 0,076 0,056 0,059 0,072 0,082 0,079 0,069 0,053 0,081 0,069 0,078 П о з д о в ж н я H c , м Т л 460 К 900 К 21,5 22,5 19,1 14,5 32,2 25,1 22,1 26,8 30,3 26,1 26,9 27,8 29,9 31,2 М О , % 460 К 900 К 0,031 0,035 0,007 0,053 0,004 0,025 0,023 0,029 0,007 0,032 0,026 0,038 0,007 0,009 1656 С. І. ВОРОБЙОВ, І. В. ЧЕШКО, А. М. ЧОРНОУС, І. О. ШПЕТНИЙ можна пов’язати з інтенсивнішими процесами кристалізації у цих шарах. З іншого боку зміна величини магнетоопору може бути ви- кликана процесами термостимульованої взаємної дифузії між ша- рами з відповідним розмиттям інтерфейсів. Але ці процеси сильні- ше б впливали на зміну форми залежностей магнетоопору. Для системи Fe/Gd/Fe/П після відпалювання до 600 К, для яких не фіксується утворення оксидної фази, також не прослідковується явна тенденція до впливу температури на величину МО. Хоча вели- чина Нс дещо збільшується (рис. 5). У випадку обох систем термообробка при відносно низьких тем- пературах не впливає на фазовий склад зразків, а рекристалізацій- ні процеси не викликають істотного збільшення розміру зерен. З цієї причини можливо не зазнає змін доменна структура зразків, тому істотного збільшення або зменшення МО нами не спостеріга- ється. Після відпалювання плівок на основі Fe і Gd до 900 К у зраз- ках спостерігається утворення оксидної фази ГЦК-Fe3О4. Це в свою чергу призводить до збільшення величини МО в плівковій системі в цілому. 5. ВИСНОВКИ У результаті комплексного дослідження фазового складу, електро- фізичних і магнеторезистивних властивостей плівкових систем Со/Gd/Co/П та Fe/Gd/Fe/П з ефективною товщиною шару Gd dGd  110 нм, які отримані при температурі підкладки Тп  460 К можна зробити наступні висновки. 1. Плівкові зразки на основі Со і Gd, як після конденсації так і тер- а б Рис. 5. Залежність величини магнетоопору від прикладеного зовнішнього магнетного поля при поперечній геометрії вимірювання для плівкових систем: Fe(10)/ка-Gd(3)/Fe(10)/П (а), Fe(10)/ка-Gd(5)/Fe(10)/П (б) у сві- жосконденсованому стані (■) та після термообробки до 900К (). ВПЛИВ ТЕМПЕРАТУРИ НА ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМ 1657 мообробки при температурах 800 і 1000 К мають фазовий склад ГЩП-Со  ГЦК-Со  ка-Gd. 2. У плівковій системі на основі Fe і Gd відбуваються наступні фазові перетворення: ка-Gd  ОЦК-Fe К600  ка-Gd  ОЦК-Fe або ка-Gd  ОЦК- Fe К900  ка-Gd  ОЦК-Fe  ГЦК-Fe3O4. Утворення оксидної фази пере- важно за рахунок взаємодії з газами залишкової атмосфери призво- дить до збільшення електричного опору відпалюваних плівок від- носно свіжосконденсованих зразків. 3. В усіх геометріях вимірювання для плівкових зразків до і після тер- мообробки величини МО і Нс мають осцилюючий характер залежності від ефективної товщини прошарку із ка-Gd. Відпалювання плівкових зразків до Тв  800 К слабо впливає на зміну величини їх магнетоопору. 4. За рахунок утворення оксидної фази у системах на основі Fe і Gd має місце збільшення величини магнетоопору. Автори виражають подяку професору І. Ю. Проценку за обгово- рення результатів роботи. Робота виконана у рамках НДР № 0112U004688 та індивідуаль- ного гранту МОН України для проходження стажування у провід- них закордонних університетах (2011—2012 рр.), Інститут Жан Ла- мур Університету Лотарингії, (м. Нансі, Франція). ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. H. Nagura, K. Takanashi, S. Mitani, K. Saito, and T. Shima, J. Magn. Magn. Mater., 240: 183 (2002). 2. S. Mangin, L. Thomas, F. Montaigne, W. Lin, T. Hauet, and Y. Henry, Phys. Rev. B, 80: 224424 (2009). 3. M. Sajieddine, Ph. Bauer, K. Cherifi, C. Dufour, G. Marchal, and R. E. Camley, Phys. Rev. B, 49, Nо. 13: 8815 (1994). 4. N. Sato and K. Habu, J. Appl. Phys., 61, No. 8: 4287 (1987). 5. J. A. Alonso, R. Hojvat de Tendler, D. A. Barbiric, and J. M. Riveiro, J. Phys.: Condens. Matter, 14, No. 9: 8913 (2002). 6. Magnetizm Nanosistem na Osnove Redkozemel’nykh i 3-d Perekhodnykh Metallov (The Magnetism of Nanosystems Based on Rare Earth and 3-d Transition Metals) (Ed. V. A. Vas’kovskiy) (Ekaterinburg : Izd-vo Ural. Un-ta: 2008) (in Russian). 7. V. L. Solomakho, G. I. Tomilin, B. V. Tsitovich, and L. G. Yudovin, Spravochnik Konstruktora-Priborostroitelya. Proyektirovanie. Osnovnyye Normy (The Directory of Instrumenter and Designer. The Designing. The Basic Norms) (Minsk: Vyshshaya shkola: 1988) (in Russian). 8. M. H. Demydenko, S. I. Protsenko, D. M. Kostyuk, and I. V. Cheshko, J. Nano-Electron. Phys., 3, No. 4: 81 (2011). 9. V. A. Zlenko, S. I. Protsenko, and R. Safaric, J. Nano-Electron. Phys., 1, No. 2: 29 (2009). 1658 С. І. ВОРОБЙОВ, І. В. ЧЕШКО, А. М. ЧОРНОУС, І. О. ШПЕТНИЙ 10. S. I. Vorobiov, L. V. Odnodvorets, O. V. Pylypenko, and A. M. Chornous, Nanosystems, Nanomaterials, Nanotechnologies, 10, Iss. 4: 829 (2012) (in Ukrainian). 11. I. Yu. Protsenko, M. D. Smolin, V. G. Shamonya et al., Ukr. J. Phys., 29, No. 6: 920 (1984) (in Ukrainian). 12. V. Vand, Pros. Phys. Soc., 55: 222 (1943). 13. T. B. Gorbacheva, Rentgenografiya Tvyordykh Splavov (X-Ray Analysis of Solid Alloys) (Moscow: Metallurgiya: 1985) (in Russian). 14. V. O. Vas’kovskiy, A. V. Svalov, A. V. Gorbunov, N. N. Schegoleva, and S. M. Zadvorkin, Physica B, 315: 143 (2002). 15. S. S. Gorelik, L. I. Rastorguyev, and Yu. A. Skakov, Rentgenograficheskiy i Ehlektronno-Opticheskiy Analiz: Prilozheniye (X-Ray and Electron-Optical Analysis: The Application) (Moscow: Metalurgiya: 1970) (in Russian). 16. V. G. Samsonov, Fiziko-Khimicheskie Svoystva Ehlementov: Spravochnik (The Physico-Chemical Properties of the Elements: Handbook) (Kiev: Naukova Dumka: 1965) (in Russian). 17. S. I. Vorobiov, O. V. Shutileva, I. A. Shpetnyi, and A. M. Chornous, J. Nano-Electron. Phys., 4, No. 4: 04026 (2012) (in Ukrainian). 18. S. Parkin, R. Bhadra, and K. Roche, Phys. Rev. Lett., 66: 2152 (1991). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <FEFF005500740069006c0069007a007a006100720065002000710075006500730074006500200069006d0070006f007300740061007a0069006f006e00690020007000650072002000630072006500610072006500200064006f00630075006d0065006e00740069002000410064006f00620065002000500044004600200070006900f900200061006400610074007400690020006100200075006e00610020007000720065007300740061006d0070006100200064006900200061006c007400610020007100750061006c0069007400e0002e0020004900200064006f00630075006d0065006e007400690020005000440046002000630072006500610074006900200070006f00730073006f006e006f0020006500730073006500720065002000610070006500720074006900200063006f006e0020004100630072006f00620061007400200065002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065002000760065007200730069006f006e006900200073007500630063006500730073006900760065002e> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Вплив температури на фазовий склад, електрофізичні та магнеторезистивні властивості плівкових систем на основі Со, Fe та Gd

Institution

Ähnliche Einträge