Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃

Досліджено магніторезистивні та резонансні властивості ультратонких плівок (2—12 нм) лантан-стронцієвих манганітів з надлишком мангану La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃, виготовлених методом магнетронного напорошення на монокристалічній підкладці LaAlO₃. Вивчено товщинну еволюцію магнітних властивостей плівок. Мето...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2014
Hauptverfasser: Полек, Т.І., Под'яловський, Д.Й., Товстолиткін, О.І., Погорілий, А.М., Пащенко, О.В.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Schriftenreihe:Металлофизика и новейшие технологии
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106873
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃ / Т.І. Полек, Д.Й. Под'яловський, О.І. Товстолиткін, А.М. Погорілий, О.В. Пащенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 1. — С. 63-76. — Бібліогр.: 33 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-106873
record_format dspace
spelling irk-123456789-1068732016-10-09T03:02:23Z Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃ Полек, Т.І. Под'яловський, Д.Й. Товстолиткін, О.І. Погорілий, А.М. Пащенко, О.В. Электронные структура и свойства Досліджено магніторезистивні та резонансні властивості ультратонких плівок (2—12 нм) лантан-стронцієвих манганітів з надлишком мангану La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃, виготовлених методом магнетронного напорошення на монокристалічній підкладці LaAlO₃. Вивчено товщинну еволюцію магнітних властивостей плівок. Методом електронного спінового резонансу показано, що плівки є феромагнітними аж до товщини 4 нм; при цьому зберігається досить висока температура Кюрі ТСТС. На основі аналізу магніторезистивних та резонансних даних зроблено висновок про високий ступінь неоднорідності плівок, товщина яких є меншою або дорівнює 4 нм. Исследованы магниторезистивные и резонансные свойства ультратонких плёнок (2—12 нм) лантан-стронциевых манганитов с избытком марганца La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃, изготовленных методом магнетронного напыления на монокристаллическую подложку LaAlO₃. Изучена толщинная эволюция магнитных свойств плёнок. Методом электронного спинового резонанса показано, что плёнки ферромагнитны вплоть до толщины 4 нм; при этом сохраняется достаточно высокая температура Кюри ТСТС. На основе анализа магниторезистивных и резонансных данных сделан вывод о высокой степени неоднородности плёнок, толщина которых меньше или равна 4 нм. Magnetoresistive and resonance properties of ultrathin films (2—12 nm) of lanthanum-strontium La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃ manganites are studied. The films were deposited on LaAlO₃ single-crystalline substrate by magnetron sputtering. Characteristic features of the evolution of magnetic properties with the decrease of film thickness are specified. The electron-spin resonance studies show that the films are ferromagnetic down to a film thickness of 4 nm and retain a relatively high Curie temperature, ТСТС. Based on the analysis of magnetoresistive and resonance data, it is concluded that the films with the thickness of 4 nm and less display high degree of inhomogeneity. 2014 Article Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃ / Т.І. Полек, Д.Й. Под'яловський, О.І. Товстолиткін, А.М. Погорілий, О.В. Пащенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 1. — С. 63-76. — Бібліогр.: 33 назв. — укр. 1024-1809 PACS numbers: 71.30.+h, 73.50.Jt, 75.47.Gk, 75.47.Lx, 76.30.-v DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.01.0063 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106873 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
topic Электронные структура и свойства
Электронные структура и свойства
spellingShingle Электронные структура и свойства
Электронные структура и свойства
Полек, Т.І.
Под'яловський, Д.Й.
Товстолиткін, О.І.
Погорілий, А.М.
Пащенко, О.В.
Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃
Металлофизика и новейшие технологии
description Досліджено магніторезистивні та резонансні властивості ультратонких плівок (2—12 нм) лантан-стронцієвих манганітів з надлишком мангану La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃, виготовлених методом магнетронного напорошення на монокристалічній підкладці LaAlO₃. Вивчено товщинну еволюцію магнітних властивостей плівок. Методом електронного спінового резонансу показано, що плівки є феромагнітними аж до товщини 4 нм; при цьому зберігається досить висока температура Кюрі ТСТС. На основі аналізу магніторезистивних та резонансних даних зроблено висновок про високий ступінь неоднорідності плівок, товщина яких є меншою або дорівнює 4 нм.
format Article
author Полек, Т.І.
Под'яловський, Д.Й.
Товстолиткін, О.І.
Погорілий, А.М.
Пащенко, О.В.
author_facet Полек, Т.І.
Под'яловський, Д.Й.
Товстолиткін, О.І.
Погорілий, А.М.
Пащенко, О.В.
author_sort Полек, Т.І.
title Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃
title_short Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃
title_full Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃
title_fullStr Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃
title_full_unstemmed Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃
title_sort вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок la₀,₆sr₀,₂mn₁,₂o₃/laalo₃
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2014
topic_facet Электронные структура и свойства
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106873
citation_txt Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La₀,₆Sr₀,₂Mn₁,₂O₃/LaAlO₃ / Т.І. Полек, Д.Й. Под'яловський, О.І. Товстолиткін, А.М. Погорілий, О.В. Пащенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 1. — С. 63-76. — Бібліогр.: 33 назв. — укр.
series Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv AT polektí vplivíndukovanihpídkladkoûnapruženʹnaelektričnítamagnítnívlastivostíulʹtratonkihplívokla06sr02mn12o3laalo3
AT podâlovsʹkijdj vplivíndukovanihpídkladkoûnapruženʹnaelektričnítamagnítnívlastivostíulʹtratonkihplívokla06sr02mn12o3laalo3
AT tovstolitkínoí vplivíndukovanihpídkladkoûnapruženʹnaelektričnítamagnítnívlastivostíulʹtratonkihplívokla06sr02mn12o3laalo3
AT pogorílijam vplivíndukovanihpídkladkoûnapruženʹnaelektričnítamagnítnívlastivostíulʹtratonkihplívokla06sr02mn12o3laalo3
AT paŝenkoov vplivíndukovanihpídkladkoûnapruženʹnaelektričnítamagnítnívlastivostíulʹtratonkihplívokla06sr02mn12o3laalo3
first_indexed 2025-07-07T19:08:00Z
last_indexed 2025-07-07T19:08:00Z
_version_ 1837016318243504128
fulltext 63 ЭЛЕКТРОННЫЕ СТРУКТУРА И СВОЙСТВА PACS numbers: 71.30.+h, 73.50.Jt, 75.47.Gk, 75.47.Lx, 76.30.-v Вплив індукованих підкладкою напружень на електричні та магнітні властивості ультратонких плівок La0,6Sr0,2Mn1,2O3/LaAlO3 Т. І. Полек, Д. Й. Под’яловський, О. І. Товстолиткін, А. М. Погорілий, О. В. Пащенко * Інститут магнетизму НАН України і МОН України, бульв. Акад. Вернадського, 36-б, 03142 Київ, Україна, *Донецький фізико-технічний інститут ім. О. О. Галкіна НАН України, вул. Р. Люксембурґ, 72, 83114 Донецьк, Україна Досліджено магніторезистивні та резонансні властивості ультратонких плівок (2—12 нм) лантан-стронцієвих манганітів з надлишком мангану La0,6Sr0,2Mn1,2O3, виготовлених методом магнетронного напорошення на монокристалічній підкладці LaAlO3. Вивчено товщинну еволюцію магні- тних властивостей плівок. Методом електронного спінового резонансу показано, що плівки є феромагнітними аж до товщини 4 нм; при цьому зберігається досить висока температура Кюрі ТС. На основі аналізу магні- торезистивних та резонансних даних зроблено висновок про високий сту- пінь неоднорідності плівок, товщина яких є меншою або дорівнює 4 нм. Исследованы магниторезистивные и резонансные свойства ультратонких плёнок (2—12 нм) лантан-стронциевых манганитов с избытком марганца La0,6Sr0,2Mn1,2O3, изготовленных методом магнетронного напыления на монокристаллическую подложку LaAlO3. Изучена толщинная эволюция магнитных свойств плёнок. Методом электронного спинового резонанса показано, что плёнки ферромагнитны вплоть до толщины 4 нм; при этом сохраняется достаточно высокая температура Кюри ТС. На основе анализа магниторезистивных и резонансных данных сделан вывод о высокой сте- пени неоднородности плёнок, толщина которых меньше или равна 4 нм. Magnetoresistive and resonance properties of ultrathin films (2—12 nm) of lanthanum-strontium La0.6Sr0.2Mn1.2O3 manganites are studied. The films were deposited on LaAlO3 single-crystalline substrate by magnetron sputter- ing. Characteristic features of the evolution of magnetic properties with the decrease of film thickness are specified. The electron-spin resonance studies Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2014, т. 36, № 1, сс. 63—76 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2014 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 64 Т. І. ПОЛЕК, Д. Й. ПОД’ЯЛОВСЬКИЙ, О. І. ТОВСТОЛИТКІН та ін. show that the films are ferromagnetic down to a film thickness of 4 nm and retain a relatively high Curie temperature, TC. Based on the analysis of mag- netoresistive and resonance data, it is concluded that the films with the thick- ness of 4 nm and less display high degree of inhomogeneity. Ключові слова: заміщені манганіти, перехід метал—діелектрик, елект- ронний спіновий резонанс, магнітоопір. (Отримано 29 листопада 2013 р.) 1. ВСТУП Манганіти з перовськітною структурою, які описуються загальною формулою Re1xMexMnO3, де Re – рідкісноземельний метал (La3, Pr3, Nd3), Me – лужний або лужноземельний елемент (Sr2, Ca2, Ba2) [1, 2], привертають до себе увагу через унікальні властивості (ефект колосального магнітоопору, високий ступінь спінової поля- ризації), які є корисними для прикладних задач матеріалознавства, наноелектроніки та спінтроніки [3, 4]. Також дані сполуки є ціка- вими з точки зору фундаментальної фізики [5]. В останнє двадцятиліття виконано значну кількість досліджень, серед яких найбільшу увагу приділяли дослідженню лантанових манганітів при заміщенні лантану стронцієм та кальцієм. Вибір са- ме таких сполук не є випадковим. У першому випадку спостерігали найбільше значення температури Кюрі ТС для даного класу матері- алів, яка становить  370 К. Для випадку лантан-кальцієвого ман- ганіту було відкрито явище сильного впливу магнітного поля на електропровідність [6], яке одержало назву явища колосального магнітоопору (КМО). Нажаль, взаємозв’язок температури Кюрі і магнітоопору такий, що при високих значеннях температури Кюрі ТС магнітоопір МО є невеликим, тоді як високі значення МО спосте- рігаються при низьких температурах. При переході з об’ємного стану до тонкоплівкового змінюються і властивості манганітів [1, 7, 8]. Особливо значні зміни відбувають- ся в області нанометрових товщин. Так, при досягненні певної тов- щини плівки стають немагнітними з активаційним характером провідності у всьому інтервалі температур [1, 13, 14], на відміну від об’ємного стану, в якому манганіти є феромагнетиками з металіч- ним типом провідності. Цей шар з деґрадованими електричними та магнітними властивостями одержав назву «dead layer» [8]. Ми в по- дальшому будемо використовувати позначення Д-шар. Причиною появи Д-шару є напруження, які виникають через відмінність па- раметрів ґратниць плівки та підкладки. Кількісною характеристи- кою цього є величина   (as  ab)/as, де as і ab – параметри ґратниць підкладки і самого матеріалу в об’ємному стані відповідно. ВПЛИВ НАПРУЖЕНЬ НА ВЛАСТИВОСТІ УЛЬТРАТОНКИХ ПЛІВОК 65 Вибираючи тип підкладки, можна задавати не тільки величину напруження, але і його тип: стиснення або розтяг. Вирішальну роль напруження, індукованого підкладкою, на існування Д-шару відмі- чено переважною більшістю авторів (хоча є і альтернативна думка [9]). Але єдиної думки на механізм його реалізації немає. Різні авто- ри по-різному пояснюють деградацію електричних та магнітних вла- стивостей під дією напружень: існуванням тонкого когерентно- напруженого стану, в якому через спотворення MnO6 октаедрів спо- стерігається зміна фізичних властивостей [10]; наявністю високоде- фектного шару, який виникає при високих значеннях  [11]; неодно- рідністю хімічного складу на межі поділу плівка—підкладка [12]. Дослідженню впливу товщини плівок на їх властивості присвячено велику кількість як експериментальних [6, 13—15], так і теоретичних робіт [16, 17]. Так, в теоретичній роботі Мілліса та ін. [16] розроблено модель для опису характеру впливу деформівних напружень на тем- пературу Кюрі. Автори розглядали напруження в плівках як суперпо- зицію об’ємної (ізостатичної) і двовісної (Яна—Теллера) складових, кожна з яких по-своєму впливає на TC. Ізостатичне стиснення збіль- шує ступінь перекриття електронних орбіталей, що призводить до збільшення імовірності переносу електронів і росту TC. З іншого боку, двовісне напруження збільшує різницю енергії eg рівнів d-оболонки мангану і тим самим підсилює тенденцію електронів ставати більш локалізованими, що і викликає зниження ТС [1]. В роботах [13, 15], автори виконали вимірювання як електрич- них, так і магнітних параметрів лантан-стронцієвих манганітів. Було встановлено, що при досягненні певної товщини tc_R плівка показує активаційний характер провідності, хоча все ще залиша- ється феромагнітною. При подальшому зменшенні товщини до зна- чення tc_M плівка втрачає свої магнітні властивості. Тобто існує як електричний, так і магнітний Д-шар, причому їх значення можуть суттєво відрізнятися. Так, наприклад, в роботі [15] для лантан- стронцієвого манганіту, напорошеного на монокристалічну підкла- дку, критичний шар, при якому плівка приймає активаційний ха- рактер провідності, становить 3,2 нм, тоді як вона все ще залиша- ється магнітною аж до товщини 1,2 нм. Хоча електричні та магнітні параметри в заміщених манганітах досить сильно зв’язані, напруження по-різному впливають на ці фізичні величини. Справа в тому, що магнітний стан обумовлений комплексом взаємодій: подвійний обмін у ланцюжку Mn3—O2— Mn4, непрямий обмін між іонами Mn3—Mn3 і Mn4—Mn4 та інши- ми. Електричні властивості визначаються лише подвійним обмі- ном. Тому значення tc_R і tc_M можуть відрізнятися. Дослідження цих аспектів є важливим, оскільки можуть допомогти в розумінні взаємозалежності параметрів електричної і магнітної підсистем складних оксидів, зокрема манганітів. 66 Т. І. ПОЛЕК, Д. Й. ПОД’ЯЛОВСЬКИЙ, О. І. ТОВСТОЛИТКІН та ін. Основними методами дослідження при експериментальному ви- вченні були магнітометричні та електротранспортні вимірювання. Для різних типів підкладок експериментально знайдено значення товщини Д-шару, які знаходяться в межах від 1 до 5 нм [6, 10—12, 18]. Що ж стосується магнітного резонансу, то таких досліджень є вкрай мало. Так, в роботі [19] при дослідженні товщинної залежно- сті інтенсивності сиґналу ядерного магнітного резонансу (ЯМР) встановлено, що присутність магнітної фази залежить від текстуро- ваності плівки. Відносно ж досліджень манганітових плівок за до- помогою методу електронного спінового резонансу (ЕСР), то вони були в основному присвячені вивченню анізотропії плівок [20, 21] або природі фазового розшарування в них [22, 23]. Цікавою, на наш погляд, є робота [24], в якій досліджували елек- тричні та магнітні властивості лантан-стронцієвих манганітів, на- порошених на різні монокристалічні підкладки. Це дозволило ав- торам задавати різну величину напруження в плівках. Для знахо- дження температури переходу феромагнетик—парамагнетик (ФМ— ПМ) використовували метод ЕСР. Зміна температури Кюрі, визна- чена шляхом аналізу спектрів феромагнітного резонансу, якісно описується теорією Мілліса [16]. Нажаль, в цій роботі [24] дослі- джуються відносно товсті плівки (їхня товщина набагато переви- щує товщину Д-шару) в інтервалі товщин 40—100 нм. Унікальні властивості манганітів, головним чином, визначають- ся співвідношенням кількості різновалентних іонів мангану, яке, в свою чергу, залежить від ступеня леґування двовалентним елемен- том [1—3]. Як було зазначено раніше, обмінна взаємодія і перене- сення заряду відбуваються через ланцюжок Mn3—O2—Mn4. Тради- ційним способом зміни співвідношення Mn3/Mn4, і, як наслідок, фізичних властивостей, є заміщення двовалентними лужноземель- ними елементами в лантановій підґратниці [2, 5]. У роботі [25] ав- тори, як можливий варіант впливу на властивості манганітів, розг- лядають внесення в сполуку LaMnO3 надлишкового мангану. Так, в роботі [26] було показано, що для об’ємних зразків La0,6Sr0,2Mn1,2O3 характерне високе значення температури Кюрі ТС  368 К. З іншого боку, через надлишок мангану цим матеріалам притаманна особли- ва дефектна структура. Тому їхні властивості можуть значно відрі- знятися від традиційно досліджуваних манганітів. Суттєво впли- вають на властивості манганітів методи виготовлення, а також мік- роструктура зразків [27, 28]. У попередній роботі [29] нами було досліджено електричні та ма- гніторезистивні властивості плівок La0,6Sr0,2Mn1,2O3 у широкому ін- тервалі товщин. Було встановлено, що товщина електричного кри- тичного шару tc R становить  3 нм. Як було сказано вище, товщини електричного tc R і магнітного tc М Д-шарів в ультратонких плівках можуть відрізнятися. Тому в даній роботі методом ЕСР досліджу- ВПЛИВ НАПРУЖЕНЬ НА ВЛАСТИВОСТІ УЛЬТРАТОНКИХ ПЛІВОК 67 ються магнітні властивості ультратонких плівок (2—12 нм) La0,6Sr0,2Mn1,2O3, напорошених на монокристалічну підкладку LaAlO3. Різниця параметрів ґратниці для об’ємного зразка LSMO і підкладки становить   2,2%, що забезпечує деформацію стис- нення в площині плівки. Температура Кюрі ТС в роботі визначалася як з магнітотранспортних вимірювань, так і з резонансних, що до- зволило визначити крім загальної температурної еволюції фізич- них параметрів, ще й ступінь їх неоднорідності. 2. ЕКСПЕРИМЕНТ Манганітові плівки були осаджені на монокристалічні підкладки LaAlO3 (001) методом магнетронного осадження з використанням мішені La0,6Sr0,2Mn1,2O3. Матеріал мішені був виготовлений методом стандартної твердофазної реакції [26]. При напорошенні темпера- тура підкладки становила 670C, а тиск суміші газу (80% O2 і 20% Ar) в камері становив 810 2 торр. Товщина плівок контролювалася за часом напорошення, швидкість якого була постійною і становила  2,1 Å/с. Після приготування всі зразки були відпалені при темпе- ратурі 900C протягом 1 години [29].У даній роботі досліджували чотири плівки з товщинами від 2 до 12 нм. Вимірювання магнітоопору були виконані в температурному ін- тервалі 77—330 К з використанням стандартного чотириточкового методу. Магнітоопір вимірювали в полі до 15 кЕ і визначали як MR(T)  (R0(Т)  RН(Т))/R0(Т), де R0 – електричний опір у нульово- му магнітному полі, а RH – електроопір в присутності зовнішнього поля. Магнітне поле прикладали паралельно до площини плівки і напрямку електричного струму. Дослідження електронного спінового резонансу виконували в ін- тервалі температур 100—300 К з використанням спектрометра ELEXSYS E500 EPR (BrukerBioSpin GmbH, Germany) при частоті   9,44 ГГц. Вимірювання виконували при двох орієнтаціях пло- щини плівки відносно напрямку магнітного поля: паралельному () і перпендикулярному (). 3. РЕЗУЛЬТАТИ На рисунку 1, а зображено температурні залежності питомого елек- троопору для плівок LSMO/LAO з товщинами 12 і 4 нм, як в магніт- ному полі так і без нього. Залежності (Т) мають типовий для ман- ганітів характер: нижче певної температури ТМІ спостерігається ме- талічний характер провідності (d/dT  0), вище ТМО тип провіднос- ті стає активаційним (d/dT  0) [1, 2]. Залежність магнітоопору MR від температури показано на рис. 1, б. Значення температури 68 Т. І. ПОЛЕК, Д. Й. ПОД’ЯЛОВСЬКИЙ, О. І. ТОВСТОЛИТКІН та ін. максимуму магнітоопору в даній роботі позначається як ТС МО. Як видно з рисунка, зі зменшенням товщини плівок температура ТС_MR зменшується, що характерно для тонких та ультратонких мангані- тових плівок. ТС МО все ще залишається високою для плівки товщи- ною 4 нм і становить 186 К. Також варто відмітити збільшення ширини піка магнітоопору для найтоншої плівки. При електричних вимірюваннях плівка товщиною 2 нм показала активаційний характер провідності у всьому інтервалі температур. При цьому значення питомого електроопору було на 3 порядки ви- ще за значення, одержані для плівок із нашої серії. Магніторезисти- вні вимірювання також показали відсутність будь-якого впливу маг- нітного поля на властивості. Таким чином, товщина цієї плівки мен- ша за tc R, що узгоджується з розрахунками, виконаними в роботі [29]. На рисунку 2 показано ЕСР-спектри, одержані для двох товщин плівок La0,6Sr0,2Mn1,2О3 – 12 нм (а) і 4 нм (б). Наведено дані для різ- них температур у двох орієнтаціях магнітного поля щодо площини Рис. 1. Температурна залежність питомого електроопору, виміряного в магнітному полі (затемнені квадратики) та без нього (світлі трикутники) для плівок LSMO/LAO з товщинами 12 і 4 нм (а); залежність магнітоопору від температури для даних плівок у магнітному полі величиною 15 кЕ (б). ВПЛИВ НАПРУЖЕНЬ НА ВЛАСТИВОСТІ УЛЬТРАТОНКИХ ПЛІВОК 69 плівки. З рисунка 2, а видно, що сиґнали, одержані при різних орі- єнтаціях плівки, зміщені один відносно одного. Це є свідченням феромагнітного впорядкування. Положення ліній становить 2250 і 8520 кЕ при паралельній та перпендикулярній орієнтаціях магніт- ного поля щодо площини плівки (виміри при температурі 100 К). При підвищенні температури сиґнали ЕСР для двох конфіґурацій зближаються і при температурі 300 К збігаються. Температурна еволюція ЕСР-спектрів для плівок з товщинами 8 нм (не показано) і 4 нм (рис. 2, б) схожа до вище описаного випадку. Для плівки товщи- ною 4 нм спостерігається нечіткість спектрального сиґналу, що пов’язано з її малою товщиною. Для плівки товщиною 2 нм, нами бу- ло одержано слабкий сиґнал, який не залежить від орієнтації магніт- ного поля відносно площини плівки у всьому інтервалі температур. Таким чином, плівка товщиною 2 нм є або повністю немагнітною або слабкомагнітною. Тобто товщина магнітного Д-шару tc М, як і елект- ричного tc R, знаходиться в області 2—4 нм. На рисунку 3 показано залежність резонансних полів від темпе- ратури для плівок LSMO/LAO різних товщин. З графіків видно, що з ростом температури резонансне поле при перпендикулярній орієнта- ції магнітного поля зменшується, а при паралельній – слабко зрос- тає. Для плівки товщиною 4 нм при паралельній орієнтації магнітно- го поля спостерігається аномальна залежність H0 від температури, Рис. 2. Спектри ЕСР для плівок LSMO з товщинами 12 нм (а) і 4 нм (б), ви- міряні при паралельній и перпендикулярній орієнтаціях магнітного поля щодо площини плівки. 70 Т. І. ПОЛЕК, Д. Й. ПОД’ЯЛОВСЬКИЙ, О. І. ТОВСТОЛИТКІН та ін. що можна пояснити наявністю в плівці внутрішньоплощинної анізо- тропії [19, 31]. У випадку ізотропної феромагнітної плівки резонансне поле ви- значається формулами Кіттеля [32]: 2 || || 0 0 eff( / ) ( 4 ),H H M     (1) ,4/ eff0 MH   (2) де || 0H та  0H – резонансні поля для випадків, коли магнітне поле Н направлено паралельно і перпендикулярно до площини плівки, Мeff – ефективна намагніченість. Користуючись рівняннями Кіттеля з використанням експериме- нтально одержаних резонансних полів, нами були розраховані тем- пературні залежності ефективної намагніченості, які показано на рис. 4. З рисунка видно, що з ростом температури намагніченість спадає. З даних ЕСР значення ТС знаходили як температуру макси- мальної зміни намагніченості (dMeff/dT  max) і позначали як ТС ESR. На вставці зображено товщинну залежність ефективної на- магніченості при температурі 100 К. Зі зменшенням товщини, ве- личина Мeff монотонно спадає. Ефективна намагніченість для плів- ки товщиною 12 нм є на 22,5% більшою, ніж Мeff для плівки тов- щиною 4 нм. У випадку монокристалічних зразків температура Кюрі ТС і тем- пература максимуму магнітоопору ТМО збігаються, чи, принаймні, є близькими. Для неоднорідних або сильно напружених плівок таке Рис. 3. Залежність резонансного поля від температури при перпендикуля- рній і паралельній орієнтації магнітного полящодо площини плівки. ВПЛИВ НАПРУЖЕНЬ НА ВЛАСТИВОСТІ УЛЬТРАТОНКИХ ПЛІВОК 71 співвідношення може не виконуватись. Тому різниця між цими ве- личинами дає певну інформацію про ступінь неоднорідності (на- пруженості) плівок. На рисунку 5, а зображено температурну залежність температури максимуму магнітоопору (TC_МО) та температури Кюрі, одержану з резонансних даних (ТС_ESR). З рисунка видно, що зі зменшенням тов- щини температура переходу спадає. На рисунку 5, б показано тов- щинну залежність різниці температур переходу ТС, одержаних двома вищезгаданими способами. Із залежності видно, що найбільше значення ТС спостерігається для найтоншої плівки і становить 38 К, тоді як при товщині 8 і 12 нм воно практично однакове і скла- дає близько 10 К. Така суттєва відмінність в значеннях температури Кюрі свідчить про те, що, залишаючись все ще магнітною і провід- ною плівкою з досить високою температурою переходу (200 К), ви- рішальну роль в ній відіграють уже ефекти на межі поділу плівка— підкладка. Причиною такої різкої зміни температури Кюрі, а також ТС при переході плівки від товщини 8 до 4 нм може бути велике значення параметра невідповідності  (у нашому випадку   2,2%), вна- слідок якого виникають напруження. Так, наприклад, в нашій ро- боті [29] досліджувалися електричні властивості плівок La0,6Sr0,2Mn1,2O3 на LaAlO3 і SrTiO3 (STO) підкладках. Встановлено, що для плівок товщиною 4 нм, напорошених на LAO і STO підклад- Рис. 4. Температурна залежність ефективної намагніченості для LSMO плівок. На вставці показано товщинну залежність намагніченості при те- мпературі 100 К. 72 Т. І. ПОЛЕК, Д. Й. ПОД’ЯЛОВСЬКИЙ, О. І. ТОВСТОЛИТКІН та ін. ки, значення TС_МО різко відрізняється, тоді як вплив підкладки на цю температуру для плівок 8 нм і вище практично відсутній. У роботі [18] наведено результати дослідження залежності TC від товщини плівок лантан-стронцієвого манганіту на STO підкладці, взяті з трьох різних джерел. В усіх трьох випадках для товщин  10 нм спостерігається плавна зміна ТC. В іншій роботі [33] дослі- джувалися плівки лантан-кальцієвого манганіту, напорошеного на різні підкладки. Для випадку STO і LAO   1,1% та 1,7%, відповід- но. Для плівки з більшим напруженням знову ж таки спостерігаєть- ся різкий перехід від магнітного до повністю немагнітного стану. Таким чином, внаслідок виконаних досліджень встановлено, що зі зменшенням товщини плівки LSMO/LAO температура Кюрі і намаг- ніченість зменшуються, а різниця Т між ТС_МО і ТС_ESR зростає. Плі- вка товщиною 4 нм ще є феромагнітною з металічним характером провідності і відносно високою ТС, а плівка товщиною 2 нм – уже немагнітна з активаційним характером провідності. Як результат, товщина електричного і магнітного Д-шару є близькими, і знахо- дяться в інтервалі товщин 2—4 нм. Одержані результати є важли- вими для глибшого розуміння природи взаємозалежності парамет- рів електричної і магнітної підсистем заміщених манганітів. Рис. 5. Товщинна залежність температури Кюрі, визначеної з даних ЕСР (ТC_ESR) та магніторезонансних вимірювань (ТC_МО) (а); залежність різниці температур Кюрі, одержаних різними методами, від товщини плівок (б). ВПЛИВ НАПРУЖЕНЬ НА ВЛАСТИВОСТІ УЛЬТРАТОНКИХ ПЛІВОК 73 4. ВИСНОВКИ У даній роботі досліджено магніторезистивні та резонансні власти- вості ультратонких плівок лантан-стронцієвих манганітів з надли- шком мангану. Плівки були вирощені на монокристалічній підклад- ці LaAlO3 (001) методом магнетронного напорошення, при цьому па- раметр невідповідності плівки і підкладки становив   2,2%. Вста- новлено, що температура максимуму магнітоопору ТС_MR зі зменшен- ням товщини зменшується. За допомогою ЕСР виявлено, що ефекти- вна намагніченість плівок Мeff монотонно зменшується зі зменшен- ням товщини, при цьому плівка LSMO товщиною 4 нм має намагні- ченість на  22,5% менше за найтовстішу плівку із серії (12 нм). При порівнянні значень температур TС_МО і ТС_ESR встановлено, що для найтоншої плівки їхня різниця Т є в  4 рази більшою, ніж у випад- ку плівок з товщинами 8 та 12 нм і становить  38 К. При виконанні електричних та резонансних досліджень не виявлено різниці у зна- ченнях товщини електричного та магнітного Д-шару, наявність якої спостерігалася рядом авторів у манганітах іншого хімічного складу. Роботу підтримано Українським науково-технологічним центром (проект № 5714). ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. K. Dörr, J. Phys. D, 39, No. 7: R125 (2006). 2. E. Dagotto, T. Hotta, and A. Moreo, Phys. Rep., 344, No. 1: 1 (2001). 3. M. K. Khodzitsky, T. V. Kalmykova, S. I. Tarapov, D. P. Belozorov, A. M. Pogorily, A. I. Tovstolytkin, A. G. Belous, and S. A. Solopan, Appl. Phys. Lett., 95, No. 8: 082903 (2009). 4. X. Moya, L. E. Hueso, F. Maccherozzi, A. I. Tovstolytkin, D. I. Podyalovskii, C. Ducati, L. Phillips, M. Ghidini, O. Hovorka, A. Berger, M. E. Vickers, E. Defaÿ, S. S. Dhesi, and N. D. Mathur, Nature Mater., 12, No. 1: 52 (2013). 5. В. М. Локтев, Ю. Г. Погорелов, Физика низких температур, 26, № 1: 231 (2000). 6. S. Jin, T. H. Tiefel, M. McCormack, R. A. Fastnacht, R. Ramesh, and L. H. Chen, Science, 264, No. 5157: 413 (1994). 7. A. I. Tovstolytkin, A. N. Pogorily, A. I. Matviyenko, A. Ya. Vovk, and Zh. Wang, J. Appl. Phys., 98, No. 4: 043902 (2005). 8. J. Z. Sun, D. W. Abraham, R. A. Rao, and C. B. Eom, J. Appl. Phys. Lett., 74, No. 20: 3017 (1999). 9. J. Dvorak, Y. U. Idzerda, S. B. Ogale, S. Shinde, T. Wu, T. Venkatesan, and R. Ramesh, J. Appl. Phys., 97, No. 10: 10C102 (2005). 10. H. W. Zandbergen, S. Freisem, T. Nojima, and J. Aarts, Phys. Rev. B, 60, No. 14: 10259 (1999). 11. A. Biswas, M. Rajeswari, R. C. Srivastava, T. Venkatesan, R. L. Greene, Q. Lu, and A. J. Millis, Phys. Rev. B, 63, No. 18: 184424 (2001). 12. Yu. A. Boikov, R. Gunnarsson, and T. Claeson, J. Appl. Phys., 96: 435 (2004). 74 Т. І. ПОЛЕК, Д. Й. ПОД’ЯЛОВСЬКИЙ, О. І. ТОВСТОЛИТКІН та ін. 13. R. P. Borges,W. Guichard, J. G. Lunney, J. M. D. Coey, and F. Ott, J. Appl. Phys, 89, No. 7: 3868 (2001). 14. M. Angeloni, G. Balestrino, N. G. Boggio, P. G. Medaglia, P. Orgiani, and A. Tebano, J. Appl. Phys., 96, No. 11: 6387 (2004). 15. M. Huijben, L. W. Martin, Y.-H. Chu, M. B. Holcomb, P. Yu, G. Rijnders, D. H. A. Blank, and R. Ramesh, Phys. Rev. B, 78, No. 9: 094413 (2008). 16. A. J. Millis, T. Darling, and A. Migliori, J. Appl. Phys., 83, No. 3: 1588 (1998). 17. L. Bray, Phys. Rev. B, 75, No. 10: 104423 (2007). 18. A. de Andres, J. Rubio, G. Casto, S. Taboada, J. L. Martines, and J. M. Colino, Appl. Phys. Lett., 83, No. 4: 713 (2003). 19. I. C. Infante, F. Sánchez, J. Fontcuberta, M. Wojcik, E. Jedryka, S. Estradé, and J. P. Espinós, Phys. Rev. B, 76, No. 22: 224415 (2007). 20. N. M. Nemes, M. Garcia-Hernandez, Z. Szatmari, T. Feher, F. Simon, C. Visani, and J. Santamaria, IEEE Trans. Magn., 44, No. 11: 2926 (2008). 21. A. I. Tovstolytkin, A. I. Matviyenko, V. M. Tsmots, L. I. Pankiv, and I. S. Pankiv, Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 42, No. 2: 151 (2011). 22. A. I. Tovstolytkin, V. V. Dzyublyuk, D. I. Podyalovskii, X. Moya, C. Israel, D. Sánchez, and N. D. Mathur, Phys. Rev. B, 83, No. 18: 184404 (2011). 23. A. I. Tovstolytkin, A. M. Pogorily, Y. I. Dzhezherya, V. V. Dzyublyuk, and D. J. Mapps, J. Phys.: Condens. Matter, 21, No. 38: 386003 (2009). 24. G. A. Ovsyannikov, A. M. Petrzhik, I. V. Borisenko, A. A. Klimov, Y. A. Ignatov, V. V. Demidov, and S. A. Nikitov, J. Exp. Theor. Phys., 108, No. 1: 48 (2009). 25. В. Т. Довгий, А. И. Линник, В. П. Пащенко, В. Н. Деркаченко, В. К. Проко- пенко, В. А. Турченко, Н. В. Давыдейко, Физика низких температур, 29, № 4: 380 (2003). 26. В. П. Пащенко, А. А. Шемяков, И. В. Жихарев и др., Металлофиз. новей- шие технол., 27, № 12: 1567 (2005). 27. А. Г. Белоус, О. И. Вьюнов, Е. В. Пашкова, О. З. Янчевский, А. И. Товсто- лыткин, А. Н. Погорелый, Неорг. матер., 39, № 2: 212 (2003). 28. A. I. Tovstolytkin, A. N. Pogorily, S. V. Cherepov, G. V. Bondarkova, and V. I. Silantiev, Металлофиз. новейшие технол., 22, № 11: 23 (2000). 29. A. I. Tovstolytkin, T. I. Polek, A. I. Matviyenko, M. I. Zakharenko, M. P. Semen’ko, and A. V. Pashchenko, Solid State Phenom., 200: 239 (2013). 30. P. Schiffer, A. P. Ramirez, W. Bao, and S.-W. Cheong, Phys. Rev. Lett., 75, No. 18: 3336 (1995). 31. V. O. Golub, V. V. Dzyublyuk, A. I. Tovstolytkin, S. K. Arora, R. Ramos, R. G. Sofin, and I. V. Shvets, J. Appl. Phys., 107, No. 9: 09B108 (2010). 32. C. Kittel, Phys. Rev., 73, No. 2: 155 (1948). 33. M. Ziese, H. C. Semmelhack, K. H. Han, S. P. Sena, and H. J. Blythe, J. Appl. Phys., 91, No. 12: 9930 (2002). REFERENCES 1. K. Dörr, J. Phys. D, 39, No. 7: R125 (2006). 2. E. Dagotto, T. Hotta, and A. Moreo, Phys. Rep., 344, No. 1: 1 (2001). 3. M. K. Khodzitsky, T. V. Kalmykova, S. I. Tarapov, D. P. Belozorov, A. M. Pogorily, A. I. Tovstolytkin, A. G. Belous, and S. A. Solopan, Appl. Phys. Lett., 95, No. 8: 082903 (2009). 4. X. Moya, L. E. Hueso, F. Maccherozzi, A. I. Tovstolytkin, D. I. Podyalovskii, ВПЛИВ НАПРУЖЕНЬ НА ВЛАСТИВОСТІ УЛЬТРАТОНКИХ ПЛІВОК 75 C. Ducati, L. Phillips, M. Ghidini, O. Hovorka, A. Berger, M. E. Vickers, E. Defaÿ, S. S. Dhesi, and N. D. Mathur, Nature Mater., 12, No. 1: 52 (2013). 5. V. V. Loktev and Yu. G. Pogorelov, Fizika Nizkikh Temperatur, 26, No. 1: 231 (2000) (in Russian). 6. S. Jin, T. H. Tiefel, M. McCormack, R. A. Fastnacht, R. Ramesh, and L. H. Chen, Science, 264, No. 5157: 413 (1994). 7. A. I. Tovstolytkin, A. N. Pogorily, A. I. Matviyenko, A. Ya. Vovk, and Zh. Wang, J. Appl. Phys., 98, No. 4: 043902 (2005). 8. J. Z. Sun, D. W. Abraham, R. A. Rao, and C. B. Eom, J. Appl. Phys. Lett., 74, No. 20: 3017 (1999). 9. J. Dvorak, Y. U. Idzerda, S. B. Ogale, S. Shinde, T. Wu, T. Venkatesan, and R. Ramesh, J. Appl. Phys., 97, No. 10: 10C102 (2005). 10. H. W. Zandbergen, S. Freisem, T. Nojima, and J. Aarts, Phys. Rev. B, 60, No. 14: 10259 (1999). 11. A. Biswas, M. Rajeswari, R. C. Srivastava, T. Venkatesan, R. L. Greene, Q. Lu, and A. J. Millis, Phys. Rev. B, 63, No. 18: 184424 (2001). 12. Yu. A. Boikov, R. Gunnarsson, and T. Claeson, J. Appl. Phys., 96, 435 (2004). 13. R. P. Borges,W. Guichard, J. G. Lunney, J. M. D. Coey, and F. Ott, J. Appl. Phys, 89, No. 7: 3868 (2001). 14. M. Angeloni, G. Balestrino, N. G. Boggio, P. G. Medaglia, P. Orgiani, and A. Tebano, J. Appl. Phys., 96, No. 11: 6387 (2004). 15. M. Huijben, L. W. Martin, Y.-H. Chu, M. B. Holcomb, P. Yu, G. Rijnders, D. H. A. Blank, and R. Ramesh, Phys. Rev. B, 78, No. 9: 094413 (2008). 16. A. J. Millis, T. Darling, and A. Migliori, J. Appl. Phys., 83, No. 3: 1588 (1998). 17. L. Bray, Phys. Rev. B, 75, No. 10: 104423 (2007). 18. A. de Andres, J. Rubio, G. Casto, S. Taboada, J. L. Martines, and J. M. Colino, Appl. Phys. Lett., 83, No. 4: 713 (2003). 19. I. C. Infante, F. Sánchez, J. Fontcuberta, M. Wojcik, E. Jedryka, S. Estradé, and J. P. Espinós, Phys. Rev. B, 76, No. 22: 224415 (2007). 20. N. M. Nemes, M. Garcia-Hernandez, Z. Szatmari, T. Feher, F. Simon, C. Visani, and J. Santamaria, IEEE Trans. Magn., 44, No. 11: 2926 (2008). 21. A. I. Tovstolytkin, A. I. Matviyenko, V. M. Tsmots, L. I. Pankiv, and I. S. Pankiv, Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 42, No. 2: 151 (2011). 22. A. I. Tovstolytkin, V. V. Dzyublyuk, D. I. Podyalovskii, X. Moya, C. Israel, D. Sánchez, and N. D. Mathur, Phys. Rev. B, 83, No. 18: 184404 (2011). 23. A. I. Tovstolytkin, A. M. Pogorily, Y. I. Dzhezherya, V. V. Dzyublyuk, and D. J. Mapps, J. Phys.: Condens. Matter, 21, No. 38: 386003 (2009). 24. G. A. Ovsyannikov, A. M. Petrzhik, I. V. Borisenko, A. A. Klimov, Y. A. Ignatov, V. V. Demidov, and S. A. Nikitov, J. Exp. Theor. Phys., 108, No. 1: 48 (2009). 25. V. T. Dovhiy, A. I. Linnik, V. P. Pashchenko, V. N. Derkachenko, V. K. Prokopenko, V. A. Turchenko, and N. V. Davydeyko, Fizika Nizkikh Tem- peratur, 29, No. 4: 380 (2003) (in Russian). 26. V. P. Pashchenko, A. A. Shemyakov, I. V. Zhikharev et al., Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 27, No. 12: 1567 (2005) (in Russian). 27. A. G. Belous, O. I. V’yunov, E. V. Pashkova, O. Z. Yanchevskiy, A. I. Tovstolytkin, and A. N. Pogorelyy, Neorg. Mater., 39, No. 2: 212 (2003). 28. A. I. Tovstolytkin, A. N. Pogorily, S. V. Cherepov, G. V. Bondarkova, and V. I. Silantiev, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 22, No. 11: 23 (2000). 29. A. I. Tovstolytkin, T. I. Polek, A. I. Matviyenko, M. I. Zakharenko, M. P. 76 Т. І. ПОЛЕК, Д. Й. ПОД’ЯЛОВСЬКИЙ, О. І. ТОВСТОЛИТКІН та ін. Semen’ko, and A. V. Pashchenko, Solid State Phenom., 200: 239 (2013). 30. P. Schiffer, A. P. Ramirez, W. Bao, and S.-W. Cheong, Phys. Rev. Lett., 75, No. 18: 3336 (1995). 31. V. O. Golub, V. V. Dzyublyuk, A. I. Tovstolytkin, S. K. Arora, R. Ramos, R. G. Sofin, and I. V. Shvets, J. Appl. Phys., 107, No. 9: 09B108 (2010). 32. C. Kittel, Phys. Rev., 73, No. 2: 155 (1948). 33. M. Ziese, H. C. Semmelhack, K. H. Han, S. P. Sena, and H. J. Blythe, J. Appl. Phys., 91, No. 12: 9930 (2002). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <FEFF004200720075006b00200064006900730073006500200069006e006e007300740069006c006c0069006e00670065006e0065002000740069006c002000e50020006f0070007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065007200200073006f006d00200065007200200062006500730074002000650067006e0065007400200066006f00720020006600f80072007400720079006b006b0073007500740073006b00720069006600740020006100760020006800f800790020006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e00650020006b0061006e002000e50070006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c00650072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006500720065002e> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice