Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів

Проаналізовано результати дослідження електронних явищ перенесення заряду в ультратонких плівках міді, золота, нікелю та паладію, нанесених методом замороженої конденсації на поверхні скла та сурфактантних підшарів ґерманію субатомної товщини. Підтверджено можливість керування лінійними розмірами кр...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	Бігун, Р.І., Бучковська, М.Д., Гаврилюх, В.М., Кравченко, О.Є., Стасюк, З.В., Леонов, Д.С.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainian
Veröffentlicht:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Schriftenreihe:	Металлофизика и новейшие технологии
Schlagworte:	Металлические поверхности и плёнки
Online Zugang:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106936
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів / Р.І. Бігун, М.Д. Бучковська, В.М. Гаврилюх, О.Є. Кравченко, З.В. Стасюк, Д.С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 4. — С. 531-546. — Бібліогр.: 52 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-106936
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1069362016-10-10T03:02:14Z Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів Бігун, Р.І. Бучковська, М.Д. Гаврилюх, В.М. Кравченко, О.Є. Стасюк, З.В. Леонов, Д.С. Металлические поверхности и плёнки Проаналізовано результати дослідження електронних явищ перенесення заряду в ультратонких плівках міді, золота, нікелю та паладію, нанесених методом замороженої конденсації на поверхні скла та сурфактантних підшарів ґерманію субатомної товщини. Підтверджено можливість керування лінійними розмірами кристалітів у площині, паралельній підложжю, за допомогою зміни масової товщини сурфактантних підшарів. Показано, що в електрично суцільних плівках міді та золота з товщиною, більшою за 5—6 нм, і в електрично суцільних плівках нікелю та паладію з товщинами від 4—5 нм зберігається електронна структура, аналогічна електронній структурі масивних металів. Проанализированы результаты исследования электронных явлений переноса заряда в ультратонких плёнках меди, золота, никеля и палладия, нанесённых методом замороженной конденсации на поверхности стекла и сурфактантных подслоёв германия субатомной толщины. Подтверждена возможность управления линейными размерами кристаллитов в плоскости, параллельной подложке, за счёт изменения массовой толщины сурфактантных подслоёв. Показано, что в электрически сплошных плёнках меди и золота толщиной больше 5—6 нм и в электрически сплошных плёнках никеля и палладия с толщинами больше 4—5 нм сохраняется электронная структура, аналогичная электронной структуре массивных металлов. The results of investigation of the electronic-transport phenomena in ultrathin copper, gold, nickel, and palladium films of subatomic thickness, which are deposited by frozen condensation on the surface of both glass and germanium surfactant sublayers, are analysed. The possibility of control of the crystallites’ linear sizes in the plane, which is parallel to the substrate, by changing of the thickness of surfactant sublayers is confirmed. The electronic structure of electrically continuous copper and gold films with the thickness of at least 5—6 nm and electrically continuous nickel and palladium films with the thickness of 4—5 nm or larger remain similar to the electronic structure of bulk metals. 2014 Article Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів / Р.І. Бігун, М.Д. Бучковська, В.М. Гаврилюх, О.Є. Кравченко, З.В. Стасюк, Д.С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 4. — С. 531-546. — Бібліогр.: 52 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 61.72.Hh, 72.10.Fk, 73.25.+i, 73.50.Bk, 73.50.Lw, 73.61.At, 81.15.Ef DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.04.0531 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106936 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Ukrainian
topic	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки
spellingShingle	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки Бігун, Р.І. Бучковська, М.Д. Гаврилюх, В.М. Кравченко, О.Є. Стасюк, З.В. Леонов, Д.С. Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів Металлофизика и новейшие технологии
description	Проаналізовано результати дослідження електронних явищ перенесення заряду в ультратонких плівках міді, золота, нікелю та паладію, нанесених методом замороженої конденсації на поверхні скла та сурфактантних підшарів ґерманію субатомної товщини. Підтверджено можливість керування лінійними розмірами кристалітів у площині, паралельній підложжю, за допомогою зміни масової товщини сурфактантних підшарів. Показано, що в електрично суцільних плівках міді та золота з товщиною, більшою за 5—6 нм, і в електрично суцільних плівках нікелю та паладію з товщинами від 4—5 нм зберігається електронна структура, аналогічна електронній структурі масивних металів.
format	Article
author	Бігун, Р.І. Бучковська, М.Д. Гаврилюх, В.М. Кравченко, О.Є. Стасюк, З.В. Леонов, Д.С.
author_facet	Бігун, Р.І. Бучковська, М.Д. Гаврилюх, В.М. Кравченко, О.Є. Стасюк, З.В. Леонов, Д.С.
author_sort	Бігун, Р.І.
title	Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів
title_short	Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів
title_full	Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів
title_fullStr	Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів
title_full_unstemmed	Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів
title_sort	формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2014
topic_facet	Металлические поверхности и плёнки
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106936
citation_txt	Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів / Р.І. Бігун, М.Д. Бучковська, В.М. Гаврилюх, О.Є. Кравченко, З.В. Стасюк, Д.С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 4. — С. 531-546. — Бібліогр.: 52 назв. — укр.
series	Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv	AT bígunrí formuvannâmetalevoíelektroprovídnostíuplívkahvakuumnihkondensatívmetalív AT bučkovsʹkamd formuvannâmetalevoíelektroprovídnostíuplívkahvakuumnihkondensatívmetalív AT gavrilûhvm formuvannâmetalevoíelektroprovídnostíuplívkahvakuumnihkondensatívmetalív AT kravčenkooê formuvannâmetalevoíelektroprovídnostíuplívkahvakuumnihkondensatívmetalív AT stasûkzv formuvannâmetalevoíelektroprovídnostíuplívkahvakuumnihkondensatívmetalív AT leonovds formuvannâmetalevoíelektroprovídnostíuplívkahvakuumnihkondensatívmetalív
first_indexed	2025-07-07T19:13:19Z
last_indexed	2025-07-07T19:13:19Z
_version_	1837016651829084160
fulltext	531 PACS numbers:61.72.Hh, 72.10.Fk,73.25.+i,73.50.Bk,73.50.Lw,73.61.At, 81.15.Ef Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів Р. І. Бігун, М. Д. Бучковська, В. М. Гаврилюх, О. Є. Кравченко, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов * Львівський національний університет ім. Івана Франка, вул. Драгоманова, 50, 79005 Львів, Україна *Технічний центр НАН України, вул. Покровська, 13, 04070 Київ, Україна Проаналізовано результати дослідження електронних явищ перенесення заряду в ультратонких плівках міді, золота, нікелю та паладію, нанесе- них методом замороженої конденсації на поверхні скла та сурфактантних підшарів ґерманію субатомної товщини. Підтверджено можливість керу- вання лінійними розмірами кристалітів у площині, паралельній підлож- жю, за допомогою зміни масової товщини сурфактантних підшарів. По- казано, що в електрично суцільних плівках міді та золота з товщиною, більшою за 5—6 нм, і в електрично суцільних плівках нікелю та паладію з товщинами від 4—5 нм зберігається електронна структура, аналогічна електронній структурі масивних металів. Проанализированы результаты исследования электронных явлений пе- реноса заряда в ультратонких плёнках меди, золота, никеля и палладия, нанесённых методом замороженной конденсации на поверхности стекла и сурфактантных подслоёв германия субатомной толщины. Подтверждена возможность управления линейными размерами кристаллитов в плоско- сти, параллельной подложке, за счёт изменения массовой толщины сур- фактантных подслоёв. Показано, что в электрически сплошных плёнках меди и золота толщиной больше 5—6 нм и в электрически сплошных плёнках никеля и палладия с толщинами больше 4—5 нм сохраняется электронная структура, аналогичная электронной структуре массивных металлов. The results of investigation of the electronic-transport phenomena in ultra- thin copper, gold, nickel, and palladium films of subatomic thickness, which are deposited by frozen condensation on the surface of both glass and germa- nium surfactant sublayers, are analysed. The possibility of control of the Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2014, т. 36, № 4, сс. 531—546 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2014 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 532 Р. І. БІГУН, М. Д. БУЧКОВСЬКА, В. М. ГАВРИЛЮХ та ін. crystallites’ linear sizes in the plane, which is parallel to the substrate, by changing of the thickness of surfactant sublayers is confirmed. The electron- ic structure of electrically continuous copper and gold films with the thick- ness of at least 5—6 nm and electrically continuous nickel and palladium films with the thickness of 4—5 nm or larger remain similar to the electronic struc- ture of bulk metals. Ключові слова: поверхневе та зерномежове розсіяння, тонкі металеві плі- вки, напівпровідникові підшари субатомної товщини. (Отримано 1 лютого 2014 р.) 1. ВСТУП Прогрес у сучасній мікро- та наноелектроніці вимагає створення електропровідних шарів нанометрової товщини. Відмінність елек- тричних параметрів ультратонких плівок металів від аналогічних характеристик масивного металу зумовлена як особливостями структури тонких шарів, так і існуванням у плівці додаткових ме- ханізмів релаксації носіїв струму, внесок яких у масивному металі нехтовно малий. Ріст плівки металу на діелектричній підкладці ро- зпочинається з формування електрично роз’єднаних між собою ос- трівців. При цьому електропровідність плівки реалізується за ра- хунок активаційних механізмів перенесення заряду. Відповідно до збільшення кількості острівців на поверхні підкладки, вони почи- нають контактувати між собою, і при певній концентрації острівців (масова товщина плівки dc) виникає перший канал провідності ме- талевого характеру (поріг протікання). При подальшому збільшен- ні товщини плівки її електропровідність поступово стає типово ме- талевою, і величина струму в плівці підкоряється закону Ома. З ві- домих літературних експериментальних досліджень електропрові- дності ультратонких плівок металів випливає, що металевий хара- ктер електропровідності плівок металів звичайно має місце при то- вщинах плівок d(1,5—2,0)dc. Величина dc для металевої плівки за- лежить від її структури, зумовленої особливостями властивостей матеріалу та технології приготування шару. Зниження величини dc можна досягти шляхом зменшення лінійних розмірів кристалітів. Одночасно велике значення має дотримання умов вакуумної чисто- ти з метою уникнення формування домішкових фаз за рахунок хі- мічно активних домішок з недостатньо знегаженої підкладки чи з газового середовища при відносно високих тисках залишкових га- зів у пристрої при приготуванні металевої плівки. Зменшення лі- нійних розмірів кристалітів також небажане при формуванні шарів матеріалів, в яких існують поліморфні модифікації, оскільки при цьому можлива поява нерівноважних фаз (фазовий розмірний ефект), які руйнуються в шарах відносно великих товщин. ФОРМУВАННЯ МЕТАЛЕВОЇ ЕЛЕКТРОПРОВІДНОСТІ У ПЛІВКАХ МЕТАЛІВ 533 Одним з можливих методів створення ультратонких електрично суцільних металевих плівок на діелектричних підкладках є вико- ристання підшарів поверхнево активних матеріалів субатомної то- вщини, попередньо нанесених на підкладку, які протидіють коале- сценції зародків металевої фази і тим самим дозволяють зменшити лінійні розміри кристалітів. За рахунок цього виникає можливість зниження величини dc. У роботах попередніх років (див. напри- клад, [1—3]) показано, що використання таких методів в умовах надвисокого вакууму дозволяє формувати плівки з металевим ха- рактером провідності товщиною в декілька атомних шарів з напе- ред заданими структурою та електронними властивостями. Пояснення розмірних залежностей кінетичних коефіцієнтів мо- жливе на основі наявних теорій розмірних ефектів, що базуються на квазикласичному та квантовому підходах. У випадку задовіль- ного узгодження теоретичних розмірних залежностей з експериме- нтальними виникає перспектива формування плівкових зразків з наперед заданими величинами кінетичних коефіцієнтів. Це мож- ливо лише при достатньому узгодженні особливостей модельної плівки, покладеної в основу теорії, з реальними характеристиками приготованих плівок. Наявні квазикласичні та квантові теорії явищ перенесення в плі- вках металів базуються на підході, в якому плівку вважають плас- копаралельним однорідним ізотропним шаром, на поверхнях якого існують неоднорідності атомного чи макроскопічного масштабу, однак лінійні розміри цих неоднорідностей завжди суттєво менші за товщину плівки d. Крім того, вважається, що електронна енерге- тична структура шару ідентична електронній будові масивного ме- талу. Тому при використанні виразів, одержаних згаданими теорі- ями, для кількісного пояснення експериментальних даних важли- вим є питання про відповідність реальної будови плівки теоретич- ним модельним уявленням. У даній роботі проаналізовано результати дослідження структу- ри, електропровідності та термо-е.р.с. дрібнокристалічних плівок золота, міді, нікелю та паладію – металів з кубічною гранецентро- ваною кристалічною ґратницею, у яких відсутні поліморфні моди- фікації. Це дозволяє виключити з розгляду можливе виникнення нерівноважних структурних фаз та анізотропії в площинах парале- льних підкладці. 2. МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ, ОБ’ЄКТИ ДОСЛІДЖЕННЯ Основні деталі методики експериментальних досліджень описані в наших попередніх роботах [2, 3]. Зауважимо лише, що дослідження властивостей плівок виконано у відпаяних скляних експеримента- льних приладах при сумарному тиску залишкових газів не вищому 534 Р. І. БІГУН, М. Д. БУЧКОВСЬКА, В. М. ГАВРИЛЮХ та ін. за 10 7 Па, тиск активних складових залишкових газів не переви- щував 10 9 Па. Плівки металів наносили конденсацією пари термі- чно випаруваного металу на поліровані оплавлені скляні підкладки та на такі ж підкладки, попередньо покриті аморфним підшаром ґерманію масовою товщиною не вищою за 5 нм. Реалізовували мето- дику «загартованої конденсації» (quench condensed) з швидкістю на- несення металу не вищою за 0,01 нм/с на підкладки, температуру яких підтримували на рівні 78 К або 300 К. Масову товщину конден- сованих плівок оцінювали за зсувом резонансної частоти п’єзоквар- цового вібратора, розміщеного в потоці пари металу. Дослідження структури плівок, термостабілізованих прогрівом при 300 К (плів- ки міді і золота) або 370 К (плівки нікелю і паладію), показало, що плівки згаданих металів однорідні, ізотропні в площині, паралель- ній підкладці, з середніми лінійними розмірами кристалітів у цій площині, незалежними від товщини плівки. Товщину плівки, при якій вона стає електрично неперервною, для кожного матеріалу ви- значали за допомогою електронно-мікроскопічного чи СТМ дослі- дження або з результатів дослідження залежності опору плівок від їхньої товщини. На поверхні плівок наявні макроскопічні неодно- рідності, амплітуда яких залежала від температури підкладки при конденсації пари конкретного металу, а також від товщини підша- ру ґерманію на підкладці. Наявність підшару ґерманію на поверхні скла дозволяла зменшити амплітуду цих неоднорідностей. Для прикладу на рис. 1 показано 3D СТМ-зображення поверхні плівок нікелю товщиною 25 нм, нанесених, відповідно, на чисту поверхню скла (рис. 1, а) та поверхню скла, попередньо покриту підшаром ґе- рманію масовою товщиною 1 нм (рис. 1, б). Параметри СТМ профі- лів плівок добре узгоджуються з параметрами поверхневих неодно- рідностей, розрахованими на основі виразів квазикласичних теорій Намба та Вісмана [4, 5] з експериментальних розмірних залежнос- тей питомого опору плівок. Надійну інформацію про електричну неперервність плівок дає аналіз результатів дослідження залежностей опору R плівок від то- вщини з використанням перколяційної моделі. Згідно з перколя- ційною моделлю [6], в околі переходу від острівцевої плівки до еле- ктрично суцільної плівки опір R плівки металу можна представити деякою універсальною функцією товщини d: R(d)(ddc) γ . (1) Вираз (1) одержано на основі припущення, що (ddc)(ххc), де х – параметр, який характеризує ступінь заповнення підкладки ме- талом, хc – параметр перколяції, рівний ступеню заповнення пове- рхні підкладки, при якому острівці (кристаліти) сформують пер- ший провідний канал. Очевидно, що хc залежить від форми та роз- ФОРМУВАННЯ МЕТАЛЕВОЇ ЕЛЕКТРОПРОВІДНОСТІ У ПЛІВКАХ МЕТАЛІВ 535 мірів кристалітів. Показник степеня у виразі (1) залежить від ме- ханізму росту плівки. Згідно з [7], при двовимірному рості плівки (2D-перколяція) величина показника степеня  лежить у межах від 1 до 1,3, а у випадку 3D-перколяції величина  звичайно перевищує 1,5. Відповідно ступінь заповнення поверхні кристалітами хc0,3 при 2D-перколяції, а для 3D-режиму росту хc0,5. Для прикладу на рис. 2, а наведено залежності опору R від тов- щини d плівок нікелю, свіжонанесених при температурі підкладки Т300 К на чисту поверхню скла та поверхню скла, попередньо по- криту підшаром ґерманію масовою товщиною 1 нм. На рисунку 2, б наведено результати перерахунку даних рис. 2, а з використанням перколяційної моделі. Як видно з рисунків, перколяційна товщина dc1 нм у плівках, нанесених на підшар ґерманію, менша за тов- щину dc2 нм, одержану для плівок, нанесених на чисту поверхню скла. Подібний результат було одержано і для плівок паладію, сві- жонанесених при Т300 К на чисту поверхню скла та на поверхню підшару ґерманію масовою товщиною 1 нм. У останньому випадку для dc одержано величини 1,5 нм (підкладка—підшар ґерманію) і 2,5 нм (підкладка—чиста поверхня скла). Таким чином підтвердже- но, що використання підшару ґерманію як підкладки для форму- вання плівок металів при температурі конденсації 300 К також до- зволяє зменшити величину dc в порівнянні з dc плівок, нанесених на а б Рис. 1. 3D-СТМ-зображення поверхні плівки нікелю (товщиною d25 нм), осадженої на чисте скло (а) та осадженої на підшар ґерманію (б) товщиною 1 нм. 536 Р. І. БІГУН, М. Д. БУЧКОВСЬКА, В. М. ГАВРИЛЮХ та ін. чисту поверхню скла. В електрично суцільних плівках, сформованих з використанням описаних вище методик, середні лінійні розміри кристалітів у площині, паралельній підкладці, не залежать від товщини плівки. Про це, крім результатів структурних досліджень, свідчать і ре- зультати дослідження розмірних залежностей питомого опору  та температурного коефіцієнта опору  плівок. Для прикладу на рис. 3 наведено розмірні залежності питомого опору  плівок нікелю, сві- жонанесених при Т300 К на чисту поверхню скла та на поверхню підшару ґерманію масовою товщиною 1 нм, побудовані у масштабі (d)df(d). Згідно з теорією класичного розмірного ефекту, згадані розмірні залежності лінійні для плівок із незалежною від товщини структурою при товщині d, більшій за середню довжину вільного пробігу носіїв струму  в плівці при d. Відхилення від лінійнос- ті у ділянці малих товщин можливе за рахунок існування поверх- невих макроскопічних неоднорідностей, середня амплітуда яких h. У цьому випадку розмірна залежність  описується за допомогою виразу теорії Намба [4]: 2 1/2 2 1 ( ) [1 ( / ) ] {1 3 [1 ( / ) ] /8 }.d h d h d d         (2) У виразі (2) враховано, що в дрібнокристалічній плівці поверхневе розсіювання носіїв струму дифузне, тобто коефіцієнт дзеркальності поверхневого відбивання носіїв струму р0. а б Рис. 2. Залежність R від d для плівок нікелю при Т300 К (а) та залеж- ність R від (ddc) у логарифмічному масштабі для плівок нікелю при Т300 К (б). Крива 2 – для плівки, осадженої на чисту поверхню скла, крива 1 – для плівки, осадженої на поверхню скла, покриту підшаром ґерманію товщиною 1 нм. ФОРМУВАННЯ МЕТАЛЕВОЇ ЕЛЕКТРОПРОВІДНОСТІ У ПЛІВКАХ МЕТАЛІВ 537 Як видно з рис. 3, лінійність розмірних залежностей (d)df(d) зберігається до достатньо малих товщин, а величина амплітуди по- верхневих неоднорідностей h, розрахована за виразом (2), дорівнює 4 нм для плівок, нанесених на чисту поверхню скла, та h2 нм для плівок, нанесених на поверхню підшару ґерманію масовою товщи- ною 1 нм. Одержаний результат добре узгоджується з характерис- тиками поверхневих неоднорідностей, знайденими при СТМ- дослідженнях. Оскільки у [8—12] досліджено електропровідність та термо-е.р.с. плівок золота, міді, нікелю та паладію, нанесених на чисту поверхню скла та на поверхню скла, попередньо покриту пі- дшаром ґерманію масовою товщиною 0,5 нм, у таблиці наведено ве- личини, що характеризують dc плівок у цих умовах. На основі виконаного вище аналізу можна зробити висновок, що конкретне використання виразів квазикласичних теорій розмірних Рис. 3. Залежності (d)df(d) свіжонанесених плівок нікелю при Т300 К на чисту поверхню скла (крива 2) та поверхню підшару ґерманію (крива 1). ТАБЛИЦЯ. Величина параметра dс (нм) плівок металів, нанесених при Т78 К на поверхню скла та на поверхню підшару ґерманію масовою то- вщиною 0,5 нм. Метал плівки Скляна підкладка Підкладка з підшаром Ge Свіжонанесені Термостабілізовані Свіжонанесені Термостабілізовані Cu 6 10 3 8 Au 7 9 3 7 Ni 2 5 1 2 Pd 2 3 2 3 538 Р. І. БІГУН, М. Д. БУЧКОВСЬКА, В. М. ГАВРИЛЮХ та ін. ефектів для кількісного опису електричних властивостей плівок, нанесених на підшар ґерманію, можливе до товщин на 2—3 нм мен- ших, ніж для плівок, нанесених на чисту поверхню скла в ідентич- них умовах препарування. 3. АНАЛІЗ РЕЗУЛЬТАТІВ ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНИХ ДОСЛІДЖЕНЬ ВПЛИВУ СУРФАКТАНТНИХ ПІДШАРІВ ҐЕРМАНІЮ НА ЕЛЕКТРОПРОВІДНІСТЬ ТА ТЕРМО-ЕРС ПЛІВОК МЕТАЛІВ З описаних у [8—12] результатів дослідження питомого опору та тер- мо-е.р.с. плівок міді, золота, нікелю та паладію випливає, що для електрично суцільних плівок згаданих металів модельні уявлення теорій квазикласичного розмірного ефекту придатні для надійного кількісного опису розмірних залежностей кінетичних коефіцієнтів для плівок Ni і Pd з товщинами, що перевищують 4—5 нм, та для плі- вок Cu і Au з товщинами, що перевищують 5—6 нм. Одержаний ре- зультат дозволяє стверджувати, що принаймні для згаданих товщин електронна структура плівок залишається ідентичною електронній будові масивного металу. Проблема відповідності електронної струк- тури плівки електронній будові масивного металу є фундаменталь- ною, оскільки всі відомі нам теоретичні моделі квантових і класич- них розмірних ефектів у металах побудовані саме на постулюванні такої відповідності. В усіх теоріях вважається, що обмеження тов- щини шару не впливає на його електронну будову. Вплив зовнішніх поверхонь на електронну структуру в теоріях квантового розмірного ефекту враховується як збурення, яке викликає появу додаткових дискретних станів електронів. З точки зору теоретичних моделей та- кий підхід достатньо добре обґрунтований теоретичними розрахун- ками електронної будови монокристалічних пласкопаралельних шарів, виконаних різними методами у відносно великій кількості робіт. Проаналізуємо деякі з них. Електронну структуру та електропровідність плівок міді і золота товщиною від 1 до 32 атомних шарів вивчено в роботах [13, 14]. Для розрахунків використано лінеаризоване Больцманнове кінетичне рівняння в наближенні часу релаксації, яке розв’язане за допомогою теорії функціонала густини. Показано, що помітні зміни енергії Фе- рмі мають місце в модельних шарах, товщина яких не перевищує 5— 6 атомних шарів. У роботах [15, 16] методом функціонала густини розраховано енергію ультратонких плівок міді і золота. Показано, що в плівках цих металів енергія Фермі F електронів досягає вели- чин близьких до F масивного металу при товщинах 4—5 атомних ша- рів. Подібні висновки одержано і в інших теоретичних роботах, зок- рема, в роботах, в яких здійснено розрахунок поверхневої енергії та ФОРМУВАННЯ МЕТАЛЕВОЇ ЕЛЕКТРОПРОВІДНОСТІ У ПЛІВКАХ МЕТАЛІВ 539 роботи виходу плівок низки металів (Al, Rh, Au, Li та ін.) [17—21]. Таким чином з аналізу теоретичних робіт можна зробити висновок, що в суцільних плівках металів з кубічною кристалічною ґратни- цею товщиною більшою за 5 атомних шарів електронна будова іде- нтична електронній структурі масивних металів. Експериментальне підтвердження цього висновку можна одер- жати з дослідження кінетичних явищ у плівках та з результатів до- слідження зразків методом фотоелектронної спектроскопії. Заува- жимо, що інформація, яку одержують при дослідженні лише елек- тропровідності плівок, недостатньо повна. Більш інформативним є вивчення термо-е.р.с. та Голлового ефекту плівок. Кількість відомих з літератури експериментальних досліджень Голлового ефекту та термо-е.р.с. плівок металів набагато менша від кількості робіт відповідного плану, в яких досліджувались розмірні залежності питомого опору  та температурного коефіцієнта опору  плівок. Така диспропорція в першу чергу, очевидно, зумовлена тех- нологічними труднощами визначення сталої R чи диференціальної термо-е.р.с. S плівок без порушення вакууму в приладі. В останні роки Голлів ефект та термо-е.р.с. плівок практично не вивчались. Проблемою технологічного плану є одержання ультратонких елект- рично суцільних плівок, яку не було вирішено до кінця 90-х років минулого століття, коли вперше для цього були використані сурфак- тантні підшари. Вплив сурфактантних підшарів на електричні влас- тивості плівок металів вивчено лише в декількох відомих нам робо- тах. Зокрема, досліджено вплив сурфактантних підшарів на поріг протікання струму в плівках різних металів, електропровідність плівок металів на різних слабкопровідних підшарах, і лише в робо- тах [22—24] досліджено вплив підшарів ґерманію та кремнію на еле- ктропровідність, магнетоопір та термо-е.р.с. плівок хрому. Важливим арґументом для підтвердження достовірності одержа- них результатів є їх порівняння з висновками попередніх робіт, в яких експеримент виконано достатньо надійно в умовах надвисокого вакууму із додержанням чистоти сконденсованих плівок. З іншого боку, забезпечення чистоти досліджених у [8—12] плівок підтвер- джується результатами електронно-мікроскопічних і електроногра- фічних досліджень та мас-спектрометричним вивченням складу за- лишкових газів. Результати мас-спектрометричних досліджень по- казали відсутність у залишковій атмосфері експериментального приладу газів хімічно активних компонентів принаймні до рівня 10 9 Па. Цей висновок зроблено на основі спостереження зміни роботи виходу очищеної термічним прогрівом вольфрамової стрічки (вико- ристовувався метод контактної різниці потенціалів у Андерсоновому варіанті) з наступним прогрівом стрічки спалахом і реєстрацією ім- пульсу іонного струму при цьому. З іншого боку, використання ни- зькотемпературних відпалів плівок (при температурах 300 К для 540 Р. І. БІГУН, М. Д. БУЧКОВСЬКА, В. М. ГАВРИЛЮХ та ін. плівок міді і золота та 370 К для плівок нікелю чи паладію) виклю- чало взаємну дифузію атомів металів та підшару ґерманію (резуль- тат електронно-мікроскопічних та електронографічних досліджень). Метою виконаного в [9—12] дослідження електропровідності та термо-е.р.с. плівок металів, нанесених на чисту поверхню скла, бу- ло порівняння одержаних результатів з експериментальними да- ними, проаналізованими в роботах попередніх років. Узгодження даних, одержаних в цих роботах, з відомими літературними дани- ми може бути додатковим арґументом на користь ствердження дос- товірності результатів наших досліджень. Властивості плівок міді і золота ретельно вивчалися багатьма до- слідниками, починаючи з 60-х років минулого століття. Однак ре- зультати досліджень різних авторів суттєво відрізнялись між собою внаслідок існування проблем із забезпеченням вакуумних умов ви- конання експерименту та неналежного контролю структурних осо- бливостей досліджень плівкових зразків. Зокрема відомо, що на морфологію плівкових зразків досліджених нами металів (у першу чергу, плівок міді) суттєво впливають особливості приготування плівок (температура підкладки, швидкість конденсації пари мета- лу, температурний режим стабілізації плівок та ін.). Недодержання згаданих норм зумовлює значні відхилення в результатах дослі- дження та погану відтворюваність одержаних даних. Прикладом цього є дані про термоелектричні властивості плівок міді, одержа- них у роботах різних авторів, наведених у [25]. Зокрема, величина U, що характеризує енергетичну залежність вільного пробігу (в мо- делі вільних електронів U2), згідно з оцінками різних авторів, приймає значення від 18,7 до 2,3. Результати досліджень електро- провідності плівок міді, одержані в [26, 27], добре узгоджуються з даними робіт [28, 29—31]. Зокрема, це стосується оцінки величин, що характеризують параметри поверхневих макроскопічних неод- норідностей та ймовірності міжзеренного тунелювання носіїв стру- му t. Величини t, розраховані в [8, 12], також добре узгоджуються з даними роботи [32], в якій здійснено оцінку ймовірності розсіюван- ня носіїв струму в масивних полікристалічних зразках міді. Результати дослідження електропровідності і термо-е.р.с. плівок золота, нанесених на чисту поверхню скла, добре узгоджуються з даними роботи [33]. Таким чином, висновок про ідентичність елек- тронної будови електрично суцільних плівок міді і золота елект- ронній будові масивних металів, зроблений на основі дослідження електропровідності та термо-е.р.с. плівок, принаймні, до товщин 5— 6 нм, є достатньо обґрунтованим. Одержаний результат не супере- чить результатам досліджень [34—39], в яких вивчено електронну будову острівцевих плівок міді і золота методом фотоелектронної спектроскопії. У роботах [39, 40, 41] показано, що в плівках цих металів (зокрема, Ni та Pd) формування зонної структури, аналогі- ФОРМУВАННЯ МЕТАЛЕВОЇ ЕЛЕКТРОПРОВІДНОСТІ У ПЛІВКАХ МЕТАЛІВ 541 чної електронній структурі масивного металу, завершується при лінійних розмірах зерен біля 5 нм. На відміну від плівок міді і золота, в плівках нікелю і паладію пе- ренесення заряду здійснюється носіями струму двох груп з різними ефективними масами. Наслідком цього є достатньо великі розмірні зміни Голлової сталої R та абсолютної диференціальної термо-е.р.с. S плівок перехідних металів [4] на відміну від властивостей плівок простих і благородних металів. Сказане можна проілюструвати да- ними, показаними на рис. 4, на якому подано розмірні залежності термо-е.р.с. S плівок золота (рис. 4, а) та паладію (рис. 4, б), нанесе- них на чисту поверхню скла та поверхню скла, попередньо покриту підшаром ґерманію масовою товщиною 0,5 нм. Особливістю розмір- них залежностей S і R у плівках паладію є зміна знаку цих величин при товщинах біля 10 нм [42, 43]. У роботах [44, 45] при вивченні термо-е.р.с. плівок паладію було показано, що товщина плівки, при якій S0, залежить від температури відпалу плівки, тобто від сере- дніх лінійних розмірів кристалітів у плівці. Сказане підтверджуєть- ся даними, представленими на рис. 4, б. Кількісний опис розмірних залежностей питомого опору  та термо-е.р.с. S плівок паладію, нанесених на скло, з врахуванням поверхневого та зерномежового розсіяння, здійснено в [46]. Дані, одержані [11] для плівок паладію, нанесених на поверхню скла, до- бре узгоджуються з даними роботи [46]. Застосування підшару ґер- манію для зменшення лінійних розмірів кристалітів у плівках уможливило показати, що кількісне пояснення розмірних залеж- ностей  та S у межах моделі двох незалежних зон [42] можливе для а б Рис. 4. Розмірні залежності диференціальної термо-е.р.с. S плівок золота (а) та паладію (б) відносно платини, осаджених на оплавлене поліроване скло (1) та скло, покрите підшаром ґерманіюмасовою товщиною 0,5 нм (2). 542 Р. І. БІГУН, М. Д. БУЧКОВСЬКА, В. М. ГАВРИЛЮХ та ін. електрично суцільних плівок паладію товщиною 4—5 нм. Подібні висновки про мінімальну товщину плівки, при якій зон- на енергетична будова плівки ідентична електронній будові масив- ного металу, зроблено і для плівок нікелю. Зокрема, одержані нами результати дослідження  та S плівок нікелю [47], нанесених на по- верхню скла, добре узгоджуються з даними [49, 50]. Таким чином, результати дослідження провідності та термо-е.р.с. плівок нікелю і паладію, одержані в [10, 11], узгоджуються з резуль- татами дослідження фотоелектронної емісії дисперґованих плівок цих металів та теоретичних розрахунків електронного спектра мета- левих частинок, здійснених у роботах [39, 51, 52]. 4. ВИСНОВКИ 1. Використання методики замороженої конденсації пари металу для створення ультратонких електропровідних плівок дозволяє створювати однорідні ізотропні шари металів з наперед заданими структурою та електричними властивостями. 2. Формування плівок металів з використанням сурфактантних пі- дшарів ґерманію відповідної масової товщини забезпечує керуван- ня лінійними розмірами кристалітів у площині, паралельній підк- ладці, а тим самим створення провідних плівок з наперед заданими величинами кінетичних коефіцієнтів. 3. Використання сурфактантних підшарів при приготуванні мета- левих плівок дозволяє знизити масову товщину плівки, при якій реалізується металевий характер електроперенесення заряду. 4. У електрично суцільних плівках міді та золота електронна стру- ктура аналогічна електронній будові масивного металу, принаймні, за товщин понад 5—6 нм. 5. Електронна будова електрично суцільних плівок нікелю і пала- дію аналогічна електронній будові масивних металів до товщин, не менших за 5 нм. ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. T. Lewowski, Appl. Surf. Sci., 93, Iss. 1: 85 (1996). 2. А. П. Шпак, Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Ю. А. Куницький, Наносистеми, на- номатеріали, нанотехнології, 8, вип. 2: 339 (2010). 3. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 6, вип. 1: 17 (2008). 4. З. В. Стасюк, А. І. Лопатинський, Фізика і хімія твердого тіла, 2, № 4: 521 (2001). 5. М. Д. Бучковська, Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 11, вип. 3: 551 (2013). 6. M. Walther, D. Cooke, C. Sherstan, M. Hajar, M. Freeman, and F. Hegmann, ФОРМУВАННЯ МЕТАЛЕВОЇ ЕЛЕКТРОПРОВІДНОСТІ У ПЛІВКАХ МЕТАЛІВ 543 Phys. Rev. B, 76, No. 12: 125408 (2007). 7. K. H. Han, Z. S. Lim, and Sung-Ik Lee, Physica B, 167: 185 (1990). 8. З. В. Стасюк, Р. І. Бігун, Ю. А. Куницький, Н. С. Колтун, О. Є. Кравченко, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 9, вип. 3: 599 (2011). 9. Р. І. Бігун, Ю. А. Куницький, О. Є. Кравченко, Наносистеми, наноматері- али, нанотехнології, 9, вип. 2: 325 (2011). 10. Р. І. Бігун, О. Є. Кравченко, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Металлофиз. но- вейшие технол., 34, № 3: 301 (2012). 11. Р. І. Бігун, О. Є. Кравченко, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Металлофиз. но- вейшие технол., 34, № 4: 469 (2012). 12. Р. І. Бігун, О. Є. Кравченко, Д. С. Леонов, Я. А. Пастирський, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 5: 603 (2013). 13. D. V. Fedorov, P. Zahn, and I. Mertig, Thin Solid Films, 473, Iss. 2: 346 (2005). 14. D. V. Fedorov, P. Zahn, and I. Mertig, Thin Solid Films, 515, Iss. 17: 6921 (2007). 15. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Фізика і хімія твердого тіла, 10, № 2: 295 (2009). 16. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Фізика і хімія твердого тіла, 10, № 3: 586 (2009). 17. J. C. Boettger and S. B. Trickey, Phys. Rev. B, 45: 1363 (1992). 18. J. C. Boettger, Phys. Rev. B, 53: 133 (1996). 19. V. P. Kurbatsky and V. V. Pogosov, Vacuum, 74: 185 (2004). 20. V. V. Pogosov, V. P. Kurbatsky, and E. V. Vasyutin, Phys. Rev. B, 71: 195410 (2005). 21. V. P. Kurbatsky and V. V. Pogosov, Fiz. Tverd. Tela, 46: 526 (2004). 22. K. Schroder and Le Zhang, physica status solidi (b), 183: k5 (1994). 23. K. Schroder and S. Nayak, physica status solidi (b), 172: 679 (1992). 24. K. Schroder, Le Zhang, and W. T. Ger, physica status solidi (b), 181: 421 (1994). 25. H. Sugawara, T. Nagano, K. Uozumi, and A. Kinbara, Thin Solid Films, 14, Iss. 2: 349 (1972). 26. Р. І. Бігун, О. Є. Кравченко, Д. С. Леонов, Я. А. Пастирський, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 5: 603 (2013). 27. З. В. Стасюк, Р. І. Бігун, Ю. А. Куницький, Н. С. Колтун, О. Є. Кравченко, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 9, вип. 3: 599 (2011). 28. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Фізика і хімія твердого тіла, 6, № 4: 594 (2005). 29. Р. І. Бігун, М. Д. Бучковська, Н. С. Колтун, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Ме- таллофиз. новейшие технол., 35, № 1: 85 (2013). 30. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 6, вип. 1: 17 (2008). 31. U. Jakob, J. Vancea, and H. Hoffmann, Phys. Rev. B, 41: 11852 (1990). 32. P. Kwapulinski, J. Rasek, and Z. Gierak, physica status solidi (a), 107: 299 (1988). 33. M. Hubin and J. Gouault, Thin Solid Films, 24, Iss. 2: 311 (1974). 34. P. G. Borziak and Yu. A. Kulyupin, Thin Solid Films, 44, Iss. 1: 1 (1977). 35. П. Г. Борзяк, Г. А. Катрич, Ю. А. Кулюпин, П. М. Томчук, Успехи физиче- ских наук, 122, вып. 3: 527 (1977). 36. P. G. Borziak, Yu. A. Kulyupin, L. A. Rudakovskaya, and R. D. Fedorovich, Thin Solid Films, 81, Iss. 2: 137 (1981). 37. P. G. Borziak, Yu. A. Kulyupin, S. A. Nepijko, and V. G. Shamony, Thin Solid Films, 76, Iss. 4: 359 (1981). 544 Р. І. БІГУН, М. Д. БУЧКОВСЬКА, В. М. ГАВРИЛЮХ та ін. 38. P. G. Borziak, S. A. Gorban, L. K. Grigorieva, E. L. Nagaev, S. A. Nepiiko, and S. P. Chizhik, Sov. Phys. JETP, 70, No. 2: 347 (1990). 39. G. A. Katrich and A. G. Naumovets, Physics of Solid Surfaces (Ed. J. Koukal) (Amsterdam: Elsevier: 1988), p. 123. 40. G. A. Katrich, V. V. Klimov, and L. S. Miroshnichenko, Izv. Akad. Nauk SSSR. Ser. Fiz., 50: 1626 (1986). 41. G. A. Katrich and L. S. Miroshnichenko, Thin Solid Films, 85, Iss. 1: 15 (1981). 42. З. В. Стасюк, М. М. Бигун, Б. Л. Мельничук, Р. С. Панчишин, Изв. АН СССР. Сер. физ., 38: 370 (1974). 43. О. А. Панченко, П. П. Луцишин, Ю. Г. Птушинський, ЖЭТФ, 56, № 1: 134 (1969). 44. G. Wedler and Chander Ramesh, Thin Solid Films, 65, Iss. 1: 53 (1980). 45. G. Wedler and G. Alshorachi, Thin Solid Films, 74, Iss. 1: 1 (1980). 46. M. A. Angadi, J. Mater. Sci., 20, No. 3: 761 (1985). 47. Р. І. Бігун, О. Є. Кравченко, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Металлофиз. но- вейшие технол., 34, № 3: 301 (2012). 48. А. І. Лопатинський, З. В. Стасюк, Вісник Львівського університету. Сер. фізична, вип. 30: 126 (1998). 49. Б. Л. Мельничук, А. І. Лопатинський, З. В. Стасюк, Фізичний збірник НТШ, 3: 124 (1998). 50. R. D. Fedorovich, A. G. Naumovets, and P. M. Tomchuk, Reviews and Short Notes to Nanomeeting ‘Physics, Chemistry and Application of Nanostructures’ (1999), p. 145. 51. R. D. Fedorovich, A. G. Naumovets, and P. M. Tomchuk, Physics Reports, 328: 73 (2000). 52. R. D. Fedorovich, O. E. Kiyaev, A. G. Naumovets, and P. M. Tomchuk, Reviews and Short Notes to Nanomeeting ‘Physics, Chemistry and Application of Nanostructures’ (2001), p. 273. REFERENCES 1. T. Lewowski, Appl. Surf. Sci., 93, Iss. 1: 85 (1996). 2. A. P. Shpak, R. I. Bigun, Z. V. Stasyuk, and Yu. A. Kunytskii, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 8, Iss. 2: 339 (2010) (in Ukrainian). 3. R. I. Bigun and Z. V. Stasyuk, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 6, Iss. 1: 17 (2008) (in Ukrainian). 4. Z. V. Stasyuk and A. I. Lopatynskii, Fizyka i Khimiya Tverdogo Tila, 2, No. 4: 521 (2001) (in Ukrainian). 5. M. D. Buchkovs’ka, R. I. Bigun, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 11, Iss. 3: 551 (2013) (in Ukrainian). 6. M. Walther, D. Cooke, C. Sherstan, M. Hajar, M. Freeman, and F. Hegmann, Phys. Rev. B, 76, No. 12: 125408 (2007). 7. K. H. Han, Z. S. Lim, and Sung-Ik Lee, Physica B, 167: 185 (1990). 8. Z. V. Stasyuk, R. I. Bigun, Yu. A. Kunytskii, N. S. Koltun, and O. E. Kravchenko, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 9, Iss. 3: 599 (2011) (in Ukrainian). 9. R. I. Bigun, Yu. A. Kunytskii, and O. E. Kravchenko, Nanosistemi, Nano- materiali, Nanotehnologii, 9, Iss. 2: 325 (2011) (in Ukrainian). ФОРМУВАННЯ МЕТАЛЕВОЇ ЕЛЕКТРОПРОВІДНОСТІ У ПЛІВКАХ МЕТАЛІВ 545 10. R. I. Bigun, O. E. Kravchenko, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 34, No. 3: 301 (2012) (in Ukrainian). 11. R. I. Bigun, O. E. Kravchenko, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 34, No. 4: 469 (2012) (in Ukrainian). 12. R. I. Bigun, O. E. Kravchenko, D. S. Leonov, and Ya. A. Pastyrs’kyy, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 35, No. 5: 603 (2013) (in Ukrainian). 13. D. V. Fedorov, P. Zahn, and I. Mertig, Thin Solid Films, 473, Iss. 2: 346 (2005). 14. D. V. Fedorov, P. Zahn, and I. Mertig, Thin Solid Films, 515, Iss. 17: 6921 (2007). 15. R. I. Bigun and Z. V. Stasyuk, Fizyka i Khimiya Tverdogo Tila, 10, No. 2: 295 (2009) (in Ukrainian). 16. R. I. Bigun and Z. V. Stasyuk, Fizyka i Khimiya Tverdogo Tila, 10, No. 3: 586 (2009) (in Ukrainian). 17. J. C. Boettger and S. B. Trickey, Phys. Rev. B, 45: 1363 (1992). 18. J. C. Boettger, Phys. Rev. B, 53: 133 (1996). 19. V. P. Kurbatsky and V. V. Pogosov, Vacuum, 74: 185 (2004). 20. V. V. Pogosov, V. P. Kurbatsky, and E. V. Vasyutin, Phys. Rev. B, 71: 195410 (2005). 21. V. P. Kurbatsky and V. V. Pogosov, Fiz. Tverd. Tela, 46: 526 (2004). 22. K. Schroder and Le Zhang, physica status solidi (b), 183: k5 (1994). 23. K. Schroder and S. Nayak, physica status solidi (b), 172: 679 (1992). 24. K. Schroder, Le Zhang, and W. T. Ger, physica status solidi (b), 181: 421 (1994). 25. H. Sugawara, T. Nagano, K. Uozumi, and A. Kinbara, Thin Solid Films, 14, Iss. 2: 349 (1972). 26. R. I. Bigun, O. E. Kravchenko, D. S. Leonov, and Ya. A. Pastyrs’kyy, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 35, No. 5: 603 (2013) (in Ukrainian). 27. Z. V. Stasyuk, R. I. Bigun, Yu. A. Kunytskii, N. S. Koltun, and O. E. Kravchenko, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 9, Iss. 3: 599 (2011) (in Ukrainian). 28. R. I. Bigun and Z. V. Stasyuk, Fizyka i Khimiya Tverdogo Tila, 6, No. 4: 594 (2005) (in Ukrainian). 29. R. I. Bigun, M. D. Buchkov’ska, N. S. Koltun, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 35, No. 1: 85 (2013) (in Ukrainian). 30. R. I. Bigun and Z. V. Stasyuk, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 6, Iss. 1: 17 (2008) (in Ukrainian). 31. U. Jakob, J. Vancea, and H. Hoffmann, Phys. Rev. B, 41: 11852 (1990). 32. P. Kwapulinski, J. Rasek, and Z. Gierak, physica status solidi (a), 107: 299 (1988). 33. M. Hubin and J. Gouault, Thin Solid Films, 24, Iss. 2: 311 (1974). 34. P. G. Borziak and Yu. A. Kulyupin, Thin Solid Films, 44, Iss. 1: 1 (1977). 35. P. G. Borziak, G. A. Katrich, Ya. A. Kulyupin, and P. M. Tomchuk, Uspekhi Fizicheskikh Nauk, 122, Iss. 3: 527 (1977) (in Russian). 36. P. G. Borziak, Yu. A. Kulyupin, L. A. Rudakovskaya, and R. D. Fedorovich, Thin Solid Films, 81, Iss. 2: 137 (1981). 37. P. G. Borziak, Yu. A. Kulyupin, S. A. Nepijko, and V. G. Shamony, Thin Solid Films, 76, Iss. 4: 359 (1981). 38. P. G. Borziak, S. A. Gorban, L. K. Grigorieva, E. L. Nagaev, S. A. Nepiiko, and S. P. Chizhik, Sov. Phys. JETP, 70, No. 2: 347 (1990). 546 Р. І. БІГУН, М. Д. БУЧКОВСЬКА, В. М. ГАВРИЛЮХ та ін. 39. G. A. Katrich and A. G. Naumovets, Physics of Solid Surfaces (Ed. J. Koukal) (Amsterdam: Elsevier: 1988), p. 123. 40. G. A. Katrich, V. V. Klimov, and L. S. Miroshnichenko, Izv. Akad. Nauk SSSR. Ser. Fiz., 50: 1626 (1986). 41. G. A. Katrich and L. S. Miroshnichenko, Thin Solid Films, 85, Iss. 1: 15 (1981). 42. Z. V. Stasyuk, M. M. Bigun, B. L. Mel’nichuk, and P. S. Panchishin, Izv. AN SSSR. Ser. Fiz., 38: 370 (1974) (in Russian). 43. O. A. Panchenko, P. P. Lutsishin, and Yu. G. Ptushinskii, Zh. Ehksp. Teor. Fiz., 56, No. 1: 134 (1969) (in Russian). 44. G. Wedler and Chander Ramesh, Thin Solid Films, 65, Iss. 1: 53 (1980). 45. G. Wedler and G. Alshorachi, Thin Solid Films, 74, Iss. 1: 1 (1980). 46. M. A. Angadi, J. Matter. Sci., 20, No. 3: 761 (1985). 47. R. I. Bigun, O. E. Kravchenko, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 34, No. 3: 301 (2012) (in Ukrainian). 48. A. I. Lopatyns’kyy and Z. V. Stasyuk, Visnyk Lvivs’kogo Universytetu. Ser. Fizychna, Iss. 30: 126 (1998) (in Ukrainian). 49. B. L. Mel’nychuk, A. I. Lopatyns’kyy, and Z. V. Stasyuk, Fizychnyj Zbirnyk NTSh, 3: 124 (1998). 50. R. D. Fedorovich, A. G. Naumovets, and P. M. Tomchuk, Reviews and Short Notes to Nanomeeting ‘Physics, Chemistry and Application of Nanostructures’, (1999), p. 145. 51. R. D. Fedorovich, A. G. Naumovets, and P. M. Tomchuk, Physics Reports, 328: 73 (2000). 52. R. D. Fedorovich, O. E. Kiyaev, A. G. Naumovets, and P. M. Tomchuk, Reviews and Short Notes to Nanomeeting ‘Physics, Chemistry and Application of Nanostructures’ (2001), p. 273. << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <FEFF004b00610073007500740061006700650020006e0065006900640020007300e4007400740065006900640020006b00760061006c006900740065006500740073006500200074007200fc006b006900650065006c007300650020007000720069006e00740069006d0069007300650020006a0061006f006b007300200073006f00620069006c0069006b0065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740069006400650020006c006f006f006d006900730065006b0073002e00200020004c006f006f0064007500640020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065002000730061006100740065002000610076006100640061002000700072006f006700720061006d006d006900640065006700610020004100630072006f0062006100740020006e0069006e0067002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020006a00610020007500750065006d006100740065002000760065007200730069006f006f006e00690064006500670061002e000d000a> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <FEFF005500740069006c0069007a006500200065007300730061007300200063006f006e00660069006700750072006100e700f50065007300200064006500200066006f0072006d00610020006100200063007200690061007200200064006f00630075006d0065006e0074006f0073002000410064006f0062006500200050004400460020006d00610069007300200061006400650071007500610064006f00730020007000610072006100200070007200e9002d0069006d0070007200650073007300f50065007300200064006500200061006c007400610020007100750061006c00690064006100640065002e0020004f007300200064006f00630075006d0065006e0074006f00730020005000440046002000630072006900610064006f007300200070006f00640065006d0020007300650072002000610062006500720074006f007300200063006f006d0020006f0020004100630072006f006200610074002000650020006f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000650020007600650072007300f50065007300200070006f00730074006500720069006f007200650073002e> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів

Institution

Ähnliche Einträge