Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N - Турбин, П.В. (Физическая инженерия поверхности, 2014)
Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерность распределения образующих элементов по глубине покрытия и присутствие примесей, обусловленных методом и средой формирования, а также структурой катода.