Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления - Зыков, А.В.; Дудин, С.В.; Яковин, С.Д. (Физическая инженерия поверхности, 2015)
Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда.