Эволюция морфологии поверхности покрытий (Ti-Hf-Si)N при термическом воздействии - Турбин, П.В. (Физическая инженерия поверхности, 2015)
Проанализированы результаты термического воздействия на образцы нанокомпозитного покрытия (Ti-Hf-Si)N. Выявлено снижение шероховатости покрытия в результате отжига и повышение твердости до значения 55,7 ГПа. Эволюция морфологии покрытий происходит в результате изменения структуры поверхностных слоев и процессов рекристаллизации. Изученные статистические характеристики рельефа поверхности покрытий согласуются с экспериментальными результатами.