Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера

Разработана высоковакуумная установка для исследования откачных характеристик (скорость откачки, температура и время активации, предельное давление и т.п.) разрабатываемых в ННЦ ХФТИ нераспыляемых геттеров на основе Ti, Zr, V, Fe и стандартных насосов различного типа, в частности, диодных и триодных...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2003
Hauptverfasser:	Гревцев, В.Г., Зелинский, А.Ю., Карнаухов, И.И., Карнаухов, И.М., Козин, В.П., Марков, В.В., Мартыненко, В.А., Мочешников, Н.И.
Format:	Artikel
Sprache:	Russian
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
Schriftenreihe:	Вопросы атомной науки и техники
Schlagworte:	Чистые материалы и вакуумные технологии
Online Zugang:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111251
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера / В.Г. Гревцев, А.Ю. Зелинский, И.И. Карнаухов, И.М. Карнаухов, В.П. Козин, В.В. Марков, В.А. Мартыненко, Н.И. Мочешников // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 5. — С. 51-54. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-111251
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1112512017-01-10T03:02:30Z Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера Гревцев, В.Г. Зелинский, А.Ю. Карнаухов, И.И. Карнаухов, И.М. Козин, В.П. Марков, В.В. Мартыненко, В.А. Мочешников, Н.И. Чистые материалы и вакуумные технологии Разработана высоковакуумная установка для исследования откачных характеристик (скорость откачки, температура и время активации, предельное давление и т.п.) разрабатываемых в ННЦ ХФТИ нераспыляемых геттеров на основе Ti, Zr, V, Fe и стандартных насосов различного типа, в частности, диодных и триодных магниторазрядных, которые будут использоваться для получения динамического давления ~5·10⁻⁹ Торр в вакуумной камере накопителя Н-100М ННЦ ХФТИ. Будут также исследованы различные физико-химические способы получения чистых вакуумных поверхностей с удельным газовыделением менее 10⁻¹¹ Торр·л/(см²·с). Все разъемные соединения и уплотнения клапанов – металлические. Предусмотрены: напуск пробных газов, анализ спектрального состава остаточного газа, прогрев основных узлов. Розроблена високовакуумна установка для дослідження відкачних характеристик (швидкість відкачки, температура і час активації, граничний тиск і т.п.) розроблювальних у ННЦ ХФТІ гетерів що не розпорошуються на основі Ti, Zr, V, Fe і стандартних насосів різного типу, зокрема, діодних і тріодних магніторозрядних, що будуть використовуватися для одержання динамічного тиску ~5·10⁻⁹ Торр у вакуумній камері нагромаджувача Н-100М ННЦ ХФТІ. Будуть також досліджені різні фізико-хімічні способи одержання чистих вакуумних поверхонь з питомим газовиділенням менше 10⁻¹¹ Торр·л/(см²··с). Усі рознімні з'єднання й ущільнення клапанів – металеві. Передбачені: напуск спробних газів, аналіз спектрального складу залишкового газу, прогрівши основних вузлів. The installation for research exhausting of the characteristics (speed of spilling, temperature and time of activation, limiting pressure etc.) developed in NNC KIPT not sprayed getters on a basis Ti, Zr, V, Fe and standard pumps of a various type, in particular, diod and triode ion pump, which will be used for reception of dynamic pressure ~5·10⁻⁹ torr in the vacuum chamber of the store Н-100М NNC KIPT. Various physical-chemical ways of obtaining of pure vacuum surfaces with specific gaseous removal less than 10⁻¹¹ torr·l/cm²·s also will be investigated. All demountable connections and condensation of valves - metal. Are stipulated: lap joint of trial gases, analysis of spectral structure of residual gas, having warmed up the basic units. 2003 Article Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера / В.Г. Гревцев, А.Ю. Зелинский, И.И. Карнаухов, И.М. Карнаухов, В.П. Козин, В.В. Марков, В.А. Мартыненко, Н.И. Мочешников // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 5. — С. 51-54. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 1562-6016 PACS:29.20Dh, 29.27Bd http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111251 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Чистые материалы и вакуумные технологии Чистые материалы и вакуумные технологии
spellingShingle	Чистые материалы и вакуумные технологии Чистые материалы и вакуумные технологии Гревцев, В.Г. Зелинский, А.Ю. Карнаухов, И.И. Карнаухов, И.М. Козин, В.П. Марков, В.В. Мартыненко, В.А. Мочешников, Н.И. Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера Вопросы атомной науки и техники
description	Разработана высоковакуумная установка для исследования откачных характеристик (скорость откачки, температура и время активации, предельное давление и т.п.) разрабатываемых в ННЦ ХФТИ нераспыляемых геттеров на основе Ti, Zr, V, Fe и стандартных насосов различного типа, в частности, диодных и триодных магниторазрядных, которые будут использоваться для получения динамического давления ~5·10⁻⁹ Торр в вакуумной камере накопителя Н-100М ННЦ ХФТИ. Будут также исследованы различные физико-химические способы получения чистых вакуумных поверхностей с удельным газовыделением менее 10⁻¹¹ Торр·л/(см²·с). Все разъемные соединения и уплотнения клапанов – металлические. Предусмотрены: напуск пробных газов, анализ спектрального состава остаточного газа, прогрев основных узлов.
format	Article
author	Гревцев, В.Г. Зелинский, А.Ю. Карнаухов, И.И. Карнаухов, И.М. Козин, В.П. Марков, В.В. Мартыненко, В.А. Мочешников, Н.И.
author_facet	Гревцев, В.Г. Зелинский, А.Ю. Карнаухов, И.И. Карнаухов, И.М. Козин, В.П. Марков, В.В. Мартыненко, В.А. Мочешников, Н.И.
author_sort	Гревцев, В.Г.
title	Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера
title_short	Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера
title_full	Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера
title_fullStr	Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера
title_full_unstemmed	Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера
title_sort	установка для исследования свойств нераспыляемого геттера
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2003
topic_facet	Чистые материалы и вакуумные технологии
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111251
citation_txt	Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера / В.Г. Гревцев, А.Ю. Зелинский, И.И. Карнаухов, И.М. Карнаухов, В.П. Козин, В.В. Марков, В.А. Мартыненко, Н.И. Мочешников // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 5. — С. 51-54. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT grevcevvg ustanovkadlâissledovaniâsvojstvneraspylâemogogettera AT zelinskijaû ustanovkadlâissledovaniâsvojstvneraspylâemogogettera AT karnauhovii ustanovkadlâissledovaniâsvojstvneraspylâemogogettera AT karnauhovim ustanovkadlâissledovaniâsvojstvneraspylâemogogettera AT kozinvp ustanovkadlâissledovaniâsvojstvneraspylâemogogettera AT markovvv ustanovkadlâissledovaniâsvojstvneraspylâemogogettera AT martynenkova ustanovkadlâissledovaniâsvojstvneraspylâemogogettera AT močešnikovni ustanovkadlâissledovaniâsvojstvneraspylâemogogettera
first_indexed	2025-07-08T01:51:20Z
last_indexed	2025-07-08T01:51:20Z
_version_	1837041693900144640
fulltext	УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ НЕРАСПЫЛЯЕМОГО ГЕТТЕРА В.Г. Гревцев, А.Ю. Зелинский, И.И. Карнаухов, И.М. Карнаухов, В.П. Козин, В.В. Мар- ков, В.А. Мартыненко, Н.И. Мочешников Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”, Украина, e-mail: karnaukhov@kipt.kharkov.ua Разработана высоковакуумная установка для исследования откачных характеристик (скорость откачки, температура и время активации, предельное давление и т.п.) разрабатываемых в ННЦ ХФТИ нераспыляе- мых геттеров на основе Ti, Zr, V, Fe и стандартных насосов различного типа, в частности, диодных и триод- ных магниторазрядных, которые будут использоваться для получения динамического давления ∼5⋅10-9 Торр в вакуумной камере накопителя Н-100М ННЦ ХФТИ. Будут также исследованы различные физико-химиче- ские способы получения чистых вакуумных поверхностей с удельным газовыделением менее 10-11 Торр⋅л⁄ (см2⋅с). Все разъемные соединения и уплотнения клапанов – металлические. Предусмотрены: напуск проб- ных газов, анализ спектрального состава остаточного газа, прогрев основных узлов. PACS:29.20Dh, 29.27Bd ВВЕДЕНИЕ В накопителе электронов Н-100М, который со- здаётся на базе имеющегося в ННЦ ХФТИ накопи- теля Н-100 для генерации интенсивного пучка гам- ма-квантов за счёт обратного комптоновского рассе- яния, время жизни циркулирующего пучка электро- нов при энергии инжекции ∼60МэВ должно быть не менее 0,5 ч, а при более высокой энергии (250… 300МэВ) – не менее двух часов [1]. Для этого сред- нее динамическое давление (при наличии циркули- рующего пучка) в вакуумной камере должно быть не хуже 5⋅10-9 Торр по всей длине орбиты L0≅15м. Нами рассмотрена [2] возможность достижения та- кого давления и показано, что для получения такого давления при распределенной откачке по всей длине орбиты суммарная скорость откачки должна быть равной 280л⁄с при условии, что удельное газовыде- ление не будет превышать q0≅10-11 Торр⋅л⁄см2⋅с. При сосредоточенной откачке такое давление обеспечи- вается 8 насосами с производительностью 150л⁄с каждого, расположенными на расстоянии L0⁄8 друг от друга на камере эллиптического сечения с по- луосями 50×15мм. Общий газовый поток при этом равен Q0≅1,4⋅ 10-6Торр⋅л⁄с. В дипольных магнитах (четырех) кроме термоде- сорбции, существенным будет вклад радиационно стимулированной десорбции из-за действия синхро- тронного излучения (СИ), которая зависит от энер- гии циркулирующего пучка и его интенсивности. При токе 1 А и энергии пучка 300 МэВ газовыделе- ние вследствие СИ на этих участках будет равно [2]: ,8,6 с лТоррQси ⋅= χ η (1) где η – коэффициент десорбции (молекул⁄фотон); χ – коэффициент, учитывающий зависимость числа фотонов СИ от энергии отсечки ε0, начиная с кото- рой наиболее вероятен процесс выбивания молекул газа. Значение коэффициента χ для различных значе- ний энергии пучка и двух значений 1ε0=5эВ и 2ε0=10эВ приведено на рис1 χ 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 E, ГэВ Рис.1. Значение коэффициента χ для различных значе- ний энергии пучка и двух значений 1ε0=5эВ и 2ε0=10 эВ При Е=300 МэВ и 2ε0=10 эВ χ=0,489952 и ,2,3 с лТоррQси ⋅= η (2) или, учитывая площадь внутренней поверхности участков камеры в дипольных магнитах, удельное газовыделение под действием СИ .105 6η−⋅≅сиq (3) При qси=q0 η≅9⋅ 10-6 молекул/фотон. Так как. на- чальное значение η для нержавеющей стали обычно ∼10-3 молекул/фотон, то для уменьшения влияния СИ на поворотных участках необходимо предусмот- реть увеличение скорости откачки в результате рас- пределенных насосов на основе NEG (неиспаряемых геттеров). Расчеты показывают [4], что при исполь- зовании на каждом поворотном участке ленты NEG шириной 2 см и длиной ∼80 см при двухстороннем напылении геттера возможно дополнительно иметь скорость откачки ∼300 л/с. Это позволит в ∼20 раз ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2003. № Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (13), с.51-54. 51 уменьшить требования к удельному газовыделению в результате СИ и тем самым сократить время ˝чистки˝ камеры СИ и достижения вакуума ≤5⋅ 10- 9Торр. ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА Для комплексного исследования разработанных нами NEG [3] создана вакуумная установка, блок-схе- ма которой приведена на рис.2. Основными узлами установки являются две ваку- умные камеры А и Б, разделенные диафрагмой [4] с известной проводимостью U. При длине 0,4 см и диа- метре отверстия 0,3 см U=0,367 л/с для воздуха. Камера А имеет объём VA≅24,62 л, площадь АА≈10100 см2; камера Б: VБ≅0,45 л, АБ≈500 см2. Для откачки на установке имеются: форвакуум- ный масляный насос (с возможной последующей за- меной сорбционным безмасляным) с азотной ловуш- кой; турбомолекулярный насос с азотной ловушкой; диодный и триодный магниторазрядные насосы; три последовательно соединенных ленты NEG-1 шири- ной 2 см и общей длиной активной части ∼50 см. Для измерения давления используются термо- парные, ионизационные и магниторазрядные датчи- ки. Спектр остаточных газов измеряется масс-спек- трометром МХ-7304. Для активации NEG используется омический на- грев от источника тока до 50 А. Температура нагре- ва контролируется термопарами. Для достижения малого удельного газовыделе- ния (≤10-11 ссм лТорр ⋅ ⋅ 2 ) на установке использовались эле- менты и узлы, прошедшие электрополировку, хими- ческую очистку растворителями, мойку в дистилли- рованной воде с последующей сушкой и т.д. Все уплотнения медные, вакуумные затворы c металли- ческими уплотнениями. Кроме того, предусмотрена чистка вакуумной поверхности тлеющим разрядом в смеси гелия (90 %) и кислорода (10 %) (или аргона и кислорода). Для этого будут использоваться имею- щиеся на установке различные электрические вво- ды, в том числе и разрядных насосов, на которые бу- дет подаваться постоянное напряжение до +500 В. Оптимальный режим будет подбираться экспери- ментально [6]. Для откачки благородных газов и уг- леводородов будет использоваться триодный магни- торазрядный насос. Предусмотрена возможность прогрева основных узлов установки до 200///300°С. S Рис. 2. Блок-схема вакуумной установки: 1 - ручной клапан; 2 - неиспаряемый геттер (NEG); 3 – трион; 4 - калиброванная диафрагма; 5 - масс-спек- трометр; 6 - манометрические преобразователи; 7 - азотные ловушки; 8 -управляемый клапан; ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2003. № Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (13), с.51-54. 52 9 -турбомолекулярный насос; 10 - форвакуумный насос; 11 –натекатели; 12 - насос магниторазрядный диодный МЕТОДИКА ИЗМЕРНИЯ Поскольку в качестве сосредоточенных средств откачки на Н-100М будут использоваться диодные и триодные магниторазрядные, тубомолекулярные и сублимационные насосы, а на поворотных участках – NEG, то на установке будут проведены исследова- ния откачных свойств (скорости откачки, предель- ного давления и т.п.) как сосредоточенных насосов, так и, главное, свойств разрабатываемых в ННЦ ХФТИ NEG [3]. Основными составляющими сплава NEG являются: NEG-1 – Zr, V, Fe (образец этого NEG в настоящее время установлен в камере А стен- да) и NEG-2 – Ti Zr, V (образцы этого геттера будут исследованы после испытания NEG-1). Для измерения скорости откачки будут исполь- зоваться методы двух манометров и постоянного объёма. В первом случае газовый поток из камеры Б в ка- меру А через диафрагму с известной проводимо- стью U будет равен: Q=U⋅(PБ-PА), (4) где PБ – давление в камере Б; PА – давление в ка- мере А. Натекателем устанавливается такой поток Q, чтобы PБ>>PА. Тогда Б А Б А А P PU P PUQS ≈−== Α )1( P (при PБ>>PА). (5) Кроме того, зная Q и площадь внутренней по- верхности камеры АА, легко определить величину удельного газовыделения qА=Q/АА. (6) Во втором случае при неизменном объёме каме- ры А (VА) анализируется кривая уменьшения давле- ния Р=f(t). В этом случае: iA i Ai tgV dt dPVQ ϕ⋅=⋅= , (7) где tgϕi=∆Pi/∆t. Выбирая на зависимости Р=f(t) значение Рi, ин- тервалы ∆Pi и ∆ti и определяя из (7) Qi, найдём, что Si=Qi/Pi. (8) В обоих случаях можно будет определить ско- рость откачки как отдельных насосов так и их ком- бинаций в различных диапазонах давления Р=f(t). Для получения максимальной скорости откачки NEG-1 необходим прогрев при температуре 400°С в течении 1ч NEG-1 [5]. Для исследования зависимости скорости откачки от температуры ориентировочно необходимо большее время прогрева [5]. Так для прогрева при 350°С необходимо ∼900 мин, а при 300°С - ∼10000 мин. Одним из существенных недостатков применения NEG является уменьшение скорости откачки по мере поглощения определенного количества откачиваемых газов [4]. Чем лучше будет вакуум в откачиваемом объёме и соответственно меньше удельное и суммар- ное газовыделение, тем более продолжительное время NEG будет работать без дополнительной реактива- ции, которую периодически необходимо проводить, хотя и при более низкой температуре [4]. В таблице приведены данные для ˝времени жизни˝ τж NEG-1, если бы он был установлен в Н-100М, в зависимости от различных значений удельного газовыделения q. При значениях qуд ≤10-12 ссм лТорр ⋅ ⋅ 2 работает элек- трон-позитронный накопитель LEP[7]. Реактивация производится ∼1 раз в год (если не было напуска ат- мосферы). Из данных таблицы видно, что для исследования откачных свойств разработанного нами NEG удель- ное газавыделение в камере А, где он установлен, должно быть не хуже 10-11 ссм лТорр ⋅ ⋅ 2 . В настоящее время до процедур дополнительно- го обезгаживания (чистка тлеющим разрядом, про- грев) после неоднократной кратковременной откач- ки камеры А только турбомолекулярным насосом достигнуто удельное газовыделение q≈3⋅10-11 ссм лТорр ⋅ ⋅ 2 , а общее газовыделение QА≈3,03⋅10-7 с лТорр ⋅ . При длине NEG-1 ∼50 см (одностороннее напы- ление) и ожидаемой скорости откачки 200 л/с⋅м воз- можно получение давления в камере А только в ре- зультате NEG Р=3⋅10-9 Торр. Время уменьшения скорости откачки NEG-1 в три раза qуд ссм лТорр ⋅ ⋅ 2 10-10 10-11 10-12 10-13 τжизни NEG при спа- де скорости откач- ки в 3 раза сутки 5 50 500 5000 ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2003. № Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (13), с.51-54. 53 ЗАКЛЮЧЕНИЕ Создана высоковакуумная установка для иссле- дования основных вакуумных характеристик нерас- пыляемых геттеров, разрабатываемых в ННЦ ХФТИ: скорость откачки при различных давлениях (от 10-5 до 10-10 Торр), оптимальная температура ак- тивации, способность поглощения газов без суще- ственного снижения скорости откачки. Кроме того, на установке будут отрабатываться физико-химиче- ские методы обработки вакуумных поверхностей для уменьшения удельного газовыделения и выбор средств откачки с подходящими скоростями откачки в области давления 10-9…10-10 Торр для использова- ния их на накопителе Н-100М ННЦ ХФТИ. ЛИТЕРАТУРА 1. E. Bulyak, P. Gladkikh et.al. A compact X-ray source based on Compton scattering // Nucl.Instr.and Meth. In Phys. Rev A. 2001, № 467-468, p. 88-90. 2. V.G. Grevtsev, A.Yu. Zelinsky, I.I. Karnaukhov N.I. Mocheshnikov The analysis and choice of the system for attaining vacuum in a 300MeV electron storage ring; Problems of atomic science and technology; Series ˝Nuclear Physics Investigations˝ (41), №2,2003, p 126 Some article // Phys. Rev. Lett. 1982, v. 145, p. 48-52-131. 3. В.М. Ажажа, В.В. Брык, А.В. Гончаров, В.Г. Гревцев, Т.Г. Емлянинова, И.И. Карнаухов, Н.И. Мочешников Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе спла- ва циркония, ванадия и железа; ВАНТ. Серия: «Физика рад. повр. и рад. мат.» (83). 2003, №3, с.113-116. 4. O. Gröbner. Vacuum System Design Options; CERN AT/92-34(VA). 5. С Benvenuti, P. Chigiato. Obtention of pressures the 10-14 TorrRange by means of a Zr-V-Fe non evaporable getter CERN, 1211 Geneva 23, Switzerland 6. H. Störi, An “in-situ” glow discharge cleaning method for the LEP vacuum system. VACUUM, 1983, v.33, №3, p. 171-178. 7. P. Strubin and O. Gröbner. LEP vacuum system start-up and operation experience. CERN/AT- VA/90-20. УСТАНОВКА ДЛЯ ДОСЛІДЖЕННЯ ВЛАСТИВОСТЕЙ ГЕТЕРА ЩО НЕ РОЗПОРОШУЄТЬСЯ В.Г. Гревцев, А.Ю. Зелінський, І.І. Карнаухов, І.М. Карнаухов, В.П. Козін, В.В. Марков, В.А. Мартиненко, Н.І. Мочешников Національний науковий центр “Харківський фізико-технічний інститут”, e-mail: karnaukhov@kipt.kharkov.ua Розроблена високовакуумна установка для дослідження відкачних характеристик (швидкість відкачки, температура і час активації, граничний тиск і т.п.) розроблювальних у ННЦ ХФТІ гетерів що не розпорошуються на основі Ti, Zr, V, Fe і стандартних насосів різного типу, зокрема, діодних і тріодних магніторозрядних, що будуть використовуватися для одержання динамічного тиску ∼5⋅10-9 Торр у вакуумній камері нагромаджувача Н-100М ННЦ ХФТІ. Будуть також досліджені різні фізико-хімічні способи одержання чистих вакуумних поверхонь з питомим газовиділенням менше 10-11 Торр⋅л⁄см2⋅с. Усі рознімні з'єднання й ущільнення клапанів – металеві. Передбачені: напуск спробних газів, аналіз спектрального складу залишкового газу, прогрівши основних вузлів. INSTALLATION FOR RESEARCH OF PROPERTIES NON-EVAPORATED GETTERS V.G. Grevzev, А.Yu. Zelinsky, I.I. Karnaukhov, I.M. Karnaukhov, V.P. Kozin, V.V. Markov, V.A. Martunenko, N.I. Mocheshnikov National science center "Kharkov Institute of Physics and Technology" , Ukraine, e-mail: karnaukhov@kipt.kharkov.ua The installation for research exhausting of the characteristics (speed of spilling, temperature and time of activation, limiting pressure etc.) developed in NNC KIPT not sprayed getters on a basis Ti, Zr, V, Fe and standard pumps of a various type, in particular, diod and triode ion pump, which will be used for reception of dynamic pressure ~5·10-9 torr in the vacuum chamber of the store Н-100М NNC KIPT. Various physical-chemical ways of obtaining of pure vacuum surfaces with specific gaseous removal less than 10-11 torr·l/cm2·s also will be investigated. All demountable connections and condensation of valves - metal. Are stipulated: lap joint of trial gases, analysis of spectral structure of residual gas, having warmed up the basic units. Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”, Украина, e-mail: karnaukhov@kipt.kharkov.ua PACS:29.20Dh, 29.27Bd методика Измерния заключение литература Національний науковий центр “Харківський фізико-технічний інститут”,

Установка для исследования свойств нераспыляемого геттера

Institution

Ähnliche Einträge