Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы - Аксёнов, Д.С.; Аксёнов, И.И.; Лучанинов, А.А.; Решетняк, Е.Н.; Стрельницкий, В.Е.; Толмачёва, Г.Н.; Юрков, С.А. (Вопросы атомной науки и техники, 2011)
Для получения Ti-Al-N-покрытий использовалась вакуумно-дуговая система с двухканальным T-образным магнитным фильтром. Покрытия осаждались путём смешивания потоков фильтрованной плазмы от двух источников с катодами из алюминия и титана в атмосфере азота. Методами рентгеноструктурного анализа и наноиндентирования исследовано влияние концентрации алюминия в покрытии и потенциала подложки на структуру, твёрдость и модуль упругости получаемых покрытий. Установлено, что в покрытиях с содержанием алюминия от 13 до 47 ат.% формируется кубический нитрид на базе TiN со структурой типа NaCl, увеличение концентрации Al до 71 ат.% приводит к формированию нитрида на базе гексагонального AlN со структурой типа вюрцит. Максимум твёрдости 35 ГПа наблюдается в покрытиях с содержанием алюминия 47 ат.%, полученных при потенциале подложки -100 В. Модуль упругости уменьшается по мере роста концентрации Al и отрицательного потенциала подложки.