Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
Для получения Ti-Al-N-покрытий использовалась вакуумно-дуговая система с двухканальным T-образным магнитным фильтром. Покрытия осаждались путём смешивания потоков фильтрованной плазмы от двух источников с катодами из алюминия и титана в атмосфере азота. Методами рентгеноструктурного анализа и наноин...
Gespeichert in:
Datum: | 2011 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111501 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачёва, С.А. Юрков // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 154-159. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |