Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺

Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺

Представлено результати систематичних досліджень впливу структурних змін на механічні характеристики поверхні гетероепітаксійної структури кадмій—ртуть—телур (КРТ), одержаної методою йонної імплантації Ag⁺. Методою Рентґенової дифрактометрії вивчаються характеристики порушеного шару гетероструктур A...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2015
1. Verfasser: Удовицька, Р.С.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Schriftenreihe:Металлофизика и новейшие технологии
Schlagworte:
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112268
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺ / Р. С. Удовицька // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 7. — С. 887-897. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-112268
record_format dspace
spelling irk-123456789-1122682017-01-19T03:03:29Z Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺ Удовицька, Р.С. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Представлено результати систематичних досліджень впливу структурних змін на механічні характеристики поверхні гетероепітаксійної структури кадмій—ртуть—телур (КРТ), одержаної методою йонної імплантації Ag⁺. Методою Рентґенової дифрактометрії вивчаються характеристики порушеного шару гетероструктур Ag₂O/CdHgTe/CdZnTe. Визначено, що домішка (срібло) розташовується переважно в приповерхневій області епітаксійного шару завтовшки у ≅ 0,1 мкм, причому максимального значення у ≅ 10²⁴ м⁻³ концентрація йонів досягає на глибині у ≅ 0,05 мкм. Обговорюється природа і роль механічної напруги леґованого шару і вплив деформацій на перерозподіл введеної домішки і дефектів. Розглядається ґенерація механічних напружень у твердому розчині CdHgTe, що виникають при імплантаційному введенні домішкових йонів срібла, як джерело трансформації дефектно-домішкової структури та зміни мікроструктури поверхні гетероепітаксійної плівки вузькозонного напівпровідника. Встановлено, що ефект деформаційного втягування домішки за рахунок дилятаційного ефекту може відігравати помітну роль при формуванні профілю розподілу домішки. Із застосуванням програмного пакета TRIM_2008 були розраховані значення концентрації імплантату С(z), які використовувалися для подальшого розрахунку максимальних за величиною механічних напружень. Також визначено зміни відносної мікротвердости η досліджуваних зразків. Аналіз структурних змін приповерхневого шару імплантованих сріблом зразків КРТ виконувався XRD-методикою у ковзній конфіґурації (GI XRD) при куті ковзання у 1°. Для даного матеріялу в дифракційну картину (GI XRD) дають внесок приповерхневі області на глибині до 400 нм. Для визначення розмірів дефектів було побудовано та проаналізовано розподіл інтенсивности дифузного розсіяння в напрямку qх. Для зразка після імплантації сріблом відбувається звуження области Хуанєвого розсіяння порівняно з вихідним зразком. Представлены результаты систематических исследований структурных и механических характеристик поверхности гетероэпитаксиальной структуры кадмий—ртуть—теллур (КРТ), полученной методом ионной имплантации Ag⁺. Методом рентгеновской дифрактометрии изучались характеристики нарушенного слоя гетероструктур Ag₂O/CdHgTe/CdZnTe. Было определено, что примесь (серебро) располагается преимущественно в приповерхностной области эпитаксиального слоя толщиной ≅ 0,1 мкм, причём максимального значения ≅ 10²⁴ м⁻³ концентрация ионов достигает на глубине ≅ 0,05 мкм. Обсуждается природа и роль механического напряжения легируемого слоя и влияние деформаций на перераспределение введённой примеси и дефектов. Рассматривается генерация механических напряжений в твёрдом растворе CdHgTe, возникающих при имплантационном введении примесных ионов серебра, как источник трансформации дефектно-примесной структуры и изменения микроструктуры поверхности гетероэпитаксиальной плёнки узкозонного полупроводника. Установлено, что эффект деформационного втягивания примеси за счёт дилатационного эффекта может играть заметную роль при формировании профиля распределения примеси. С применением программного пакета TRIM_2008 были рассчитаны значения концентрации имплантата C(z), которые использовались для дальнейшего расчёта максимальных по величине механических напряжений. Также определены изменения относительной микротвёрдости η исследуемых образцов. Анализ структурных изменений приповерхностного слоя имплантированных серебром образцов КРТ выполнялся по XRD-методике в скользящей конфигурации (GI XRD) при угле скольжения 1°. Для данного материала в дифракционную картину (GI XRD) дают вклад приповерхностные области на глубине до 400 нм. Для определения размеров дефектов было построено и проанализировано распределение интенсивности диффузного рассеяния в направлении qx. Для образца после имплантации серебром происходит сужение области хуаневского рассеяния по сравнению с исходным образцом. Structural and mechanical characteristics of the damaged layer of heteroepitaxial Ag₂O/CdHgTe/CdZnTe structures after implantation of silver ions are presented within the scope of systematic X-ray diffraction investigations. Nature and role of mechanical stress of doping layer and the impact of strain on the redistribution of introduced impurities and defects are discussed. The generation of mechanical stresses in the CdHgTe (MCT) solid solution arising from the implantation introduction of impurity silver ions is considered as a source of transformation of defect—impurity structures and changes in the microstructure of the heteroepitaxial narrow-gap semiconductor film surface. As revealed, the effect of deformation retraction of impurities caused by dilatational effect may play a prominent role in formation of the impurity distribution profile. With application of the TRIM_2008 software package, the concentration values of implanted ions, C(z), are calculated and used for further calculation of the maximal mechanical stresses. As determined, the silver admixture is mainly located in the surface region of epitaxial layer with the thickness of ≅ 0.1 μm, and the maximum of ion concentration (≅ 10²⁴ м⁻³) is achieved at the depth of ≅ 0.05 μm. Changes in relative microhardness of samples, η, are investigated as well. Analysis of structural changes in the surface layer of silver-implanted MCT-samples is performed by the XRD method in sliding configuration (GI XRD) at the grazing angle of 1°. For this material, near-surface region up to 400 nm contributes in the diffraction pattern. To determine the size of defects, intensity distribution of diffuse scattering in the qx direction is reconstructed and analysed. With the increase of the defects’ size, the narrowing of Huang-scattering domain is observed for the sample after silver implantation in comparison with the initial sample. 2015 Article Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺ / Р. С. Удовицька // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 7. — С. 887-897. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 61.05.cf, 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.U-, 61.80.Jh, 62.20.Qp, 81.40.Wx http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112268 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
topic Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
spellingShingle Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Удовицька, Р.С.
Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺
Металлофизика и новейшие технологии
description Представлено результати систематичних досліджень впливу структурних змін на механічні характеристики поверхні гетероепітаксійної структури кадмій—ртуть—телур (КРТ), одержаної методою йонної імплантації Ag⁺. Методою Рентґенової дифрактометрії вивчаються характеристики порушеного шару гетероструктур Ag₂O/CdHgTe/CdZnTe. Визначено, що домішка (срібло) розташовується переважно в приповерхневій області епітаксійного шару завтовшки у ≅ 0,1 мкм, причому максимального значення у ≅ 10²⁴ м⁻³ концентрація йонів досягає на глибині у ≅ 0,05 мкм. Обговорюється природа і роль механічної напруги леґованого шару і вплив деформацій на перерозподіл введеної домішки і дефектів. Розглядається ґенерація механічних напружень у твердому розчині CdHgTe, що виникають при імплантаційному введенні домішкових йонів срібла, як джерело трансформації дефектно-домішкової структури та зміни мікроструктури поверхні гетероепітаксійної плівки вузькозонного напівпровідника. Встановлено, що ефект деформаційного втягування домішки за рахунок дилятаційного ефекту може відігравати помітну роль при формуванні профілю розподілу домішки. Із застосуванням програмного пакета TRIM_2008 були розраховані значення концентрації імплантату С(z), які використовувалися для подальшого розрахунку максимальних за величиною механічних напружень. Також визначено зміни відносної мікротвердости η досліджуваних зразків. Аналіз структурних змін приповерхневого шару імплантованих сріблом зразків КРТ виконувався XRD-методикою у ковзній конфіґурації (GI XRD) при куті ковзання у 1°. Для даного матеріялу в дифракційну картину (GI XRD) дають внесок приповерхневі області на глибині до 400 нм. Для визначення розмірів дефектів було побудовано та проаналізовано розподіл інтенсивности дифузного розсіяння в напрямку qх. Для зразка після імплантації сріблом відбувається звуження области Хуанєвого розсіяння порівняно з вихідним зразком.
format Article
author Удовицька, Р.С.
author_facet Удовицька, Р.С.
author_sort Удовицька, Р.С.
title Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺
title_short Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺
title_full Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺
title_fullStr Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺
title_full_unstemmed Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺
title_sort наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки cdhgte методом йонної імплантації ag⁺
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2015
topic_facet Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112268
citation_txt Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺ / Р. С. Удовицька // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 7. — С. 887-897. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.
series Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv AT udovicʹkars nanostrukturuvannâpoverhnígeteroepítaksíalʹnoíplívkicdhgtemetodomjonnoíímplantacííag
first_indexed 2025-07-08T03:40:55Z
last_indexed 2025-07-08T03:40:55Z
_version_ 1837048589503692800
fulltext 887 СТРОЕНИЕ И СВОЙСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ И МЕЗОСКОПИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ PACS numbers:61.05.cf, 61.05.cp,61.72.Dd,61.72.U-,61.80.Jh,62.20.Qp, 81.40.Wx Наноструктурування поверхні гетероепітаксійної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag  Р. С. Удовицька Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України, просп. Науки, 41, 03028 Київ, Україна Представлено результати систематичних досліджень впливу структурних змін на механічні характеристики поверхні гетероепітаксійної структури кадмій—ртуть—телур (КРТ), одержаної методою йонної імплантації Ag  . Методою Рентґенової дифрактометрії вивчаються характеристики пору- шеного шару гетероструктур Ag2O/CdHgTe/CdZnTe. Визначено, що до- мішка (срібло) розташовується переважно в приповерхневій області епі- таксійного шару завтовшки у  0,1 мкм, причому максимального значен- ня у  1024 м 3 концентрація йонів досягає на глибині у  0,05 мкм. Обго- ворюється природа і роль механічної напруги леґованого шару і вплив деформацій на перерозподіл введеної домішки і дефектів. Розглядається ґенерація механічних напружень у твердому розчині CdHgTe, що вини- кають при імплантаційному введенні домішкових йонів срібла, як дже- рело трансформації дефектно-домішкової структури та зміни мікрострук- тури поверхні гетероепітаксійної плівки вузькозонного напівпровідника. Встановлено, що ефект деформаційного втягування домішки за рахунок дилятаційного ефекту може відігравати помітну роль при формуванні профілю розподілу домішки. Із застосуванням програмного пакета TRIM_2008 були розраховані значення концентрації імплантату С(z), які використовувалися для подальшого розрахунку максимальних за вели- чиною механічних напружень. Також визначено зміни відносної мікрот- вердости  досліджуваних зразків. Аналіз структурних змін приповерх- невого шару імплантованих сріблом зразків КРТ виконувався XRD- методикою у ковзній конфіґурації (GI XRD) при куті ковзання у 1. Для даного матеріялу в дифракційну картину (GI XRD) дають внесок припо- верхневі області на глибині до 400 нм. Для визначення розмірів дефектів було побудовано та проаналізовано розподіл інтенсивности дифузного ро- зсіяння в напрямку qх. Для зразка після імплантації сріблом відбувається звуження области Хуанєвого розсіяння порівняно з вихідним зразком. Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2015, т. 37, № 7, сс. 887—897 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2015 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 888 Р. С. УДОВИЦЬКА Structural and mechanical characteristics of the damaged layer of heteroepi- taxial Ag2O/CdHgTe/CdZnTe structures after implantation of silver ions are presented within the scope of systematic X-ray diffraction investigations. Nature and role of mechanical stress of doping layer and the impact of strain on the redistribution of introduced impurities and defects are discussed. The generation of mechanical stresses in the CdHgTe (MCT) solid solution arising from the implantation introduction of impurity silver ions is considered as a source of transformation of defect—impurity structures and changes in the microstructure of the heteroepitaxial narrow-gap semiconductor film sur- face. As revealed, the effect of deformation retraction of impurities caused by dilatational effect may play a prominent role in formation of the impurity distribution profile. With application of the TRIM_2008 software package, the concentration values of implanted ions, C(z), are calculated and used for further calculation of the maximal mechanical stresses. As determined, the silver admixture is mainly located in the surface region of epitaxial layer with the thickness of  0.1 m, and the maximum of ion concentration ( 10 24 m 3) is achieved at the depth of  0.05 m. Changes in relative microhardness of samples, , are investigated as well. Analysis of structural changes in the surface layer of silver-implanted MCT-samples is performed by the XRD method in sliding configuration (GI XRD) at the grazing angle of 1. For this material, near-surface region up to 400 nm contributes in the diffraction pat- tern. To determine the size of defects, intensity distribution of diffuse scat- tering in the qx direction is reconstructed and analysed. With the increase of the defects’ size, the narrowing of Huang-scattering domain is observed for the sample after silver implantation in comparison with the initial sample. Представлены результаты систематических исследований структурных и механических характеристик поверхности гетероэпитаксиальной струк- туры кадмий—ртуть—теллур (КРТ), полученной методом ионной имплан- тации Ag  . Методом рентгеновской дифрактометрии изучались характе- ристики нарушенного слоя гетероструктур Ag2O/CdHgTe/CdZnTe. Было определено, что примесь (серебро) располагается преимущественно в при- поверхностной области эпитаксиального слоя толщиной  0,1 мкм, при- чём максимального значения  1024 м 3 концентрация ионов достигает на глубине  0,05 мкм. Обсуждается природа и роль механического напря- жения легируемого слоя и влияние деформаций на перераспределение введённой примеси и дефектов. Рассматривается генерация механиче- ских напряжений в твёрдом растворе CdHgTe, возникающих при имплан- тационном введении примесных ионов серебра, как источник трансфор- мации дефектно-примесной структуры и изменения микроструктуры по- верхности гетероэпитаксиальной плёнки узкозонного полупроводника. Установлено, что эффект деформационного втягивания примеси за счёт дилатационного эффекта может играть заметную роль при формировании профиля распределения примеси. С применением программного пакета TRIM_2008 были рассчитаны значения концентрации имплантата C(z), которые использовались для дальнейшего расчёта максимальных по ве- личине механических напряжений. Также определены изменения отно- сительной микротвёрдости  исследуемых образцов. Анализ структурных изменений приповерхностного слоя имплантированных серебром образ- НАНОСТРУКТУРУВАННЯ ПОВЕРХНІ ГЕТЕРОЕПІТАКСІЙНОЇ ПЛІВКИ CdHgTe 889 цов КРТ выполнялся по XRD-методике в скользящей конфигурации (GI XRD) при угле скольжения 1. Для данного материала в дифракционную картину (GI XRD) дают вклад приповерхностные области на глубине до 400 нм. Для определения размеров дефектов было построено и проанали- зировано распределение интенсивности диффузного рассеяния в направ- лении qx. Для образца после имплантации серебром происходит сужение области хуаневского рассеяния по сравнению с исходным образцом. Ключові слова: деформаційні поля, дифузійна рухливість, імплантація, наноматеріяли, напівпровідники. (Отримано 15 травня 2015 р.) 1. ВСТУП Ростові деформаційні поля є фізичним чинником, що впливає як на структурні, так і на механічні властивості напівпровідникових ге- тероепітаксійних структур. Причина виникнення просторових на- пружень зумовлена відмінністю постійних кристалічної ґратниці та температурних коефіцієнтів лінійного розширення епітаксійно- го шару та матеріялу підложжя. Прикладом ефективного застосу- вання ростових деформацій в сучасній мікроелектроніці є компле- ментарна структура метал—оксид—напівпровідник (англ. – com- plementary metal—oxide—semiconductor–CMOS) транзисторів, в яких шляхом комбінації напружених шарів Si та SiGe досягають значних деформацій в області 2D-структур, внаслідок чого відбува- ється значне підвищення рухливости носіїв заряду [1, 2]. Одержання сучасних наноматеріялів з унікальними властивос- тями, як правило, засноване на формуванні ієрархічних структур. Прикладом є мультисенсорні металооксидні системи (ZnO, SnO2, In2O3, NbO2 тощо) в перспективній для функціональних наномате- ріялів концепції «електронний ніс» [3]. Одним з поширених мето- дів модифікації структурних і морфологічних характеристик є йонна імплантація, що дозволяє шляхом вибору режимів опромі- нення і умов відпалу реґулювати властивості матеріялу. При бом- буванні напівпровідника йонами, кластерами атомів і молекул від- бувається зміна термодинамічних параметрів базових компонентів системи, що викликає збільшення стисливости, зниження енергії утворення дефектів, зміну параметрів ґратниці, підвищення кон- центрації і дифузійної рухливости дефектів та ін. У поєднанні з широким спектром топологічних особливостей поверхні імпланта- ція дозволяє одержувати мікроструктуровані матеріяли, що мають поліфункціональність фізичних властивостей. Приклади форму- вання нанокомпозитів і металооксидних наногетероструктур мето- дом йонної імплантації представлено в [4—6]. Метою даної роботи було вивчення структурних та механічних 890 Р. С. УДОВИЦЬКА властивостей наноструктурованої поверхні напівпровідникових ге- тероструктур p-Ag2O/CdхHg1хTe/CdZnTe (х  0,223). Для одержан- ня наноструктурованої поверхні використовували радіяльне йонне опромінення йонами срібла та посттермічне оброблення (348 К) зра- зків з підбором часу, дози та енергії опромінення для забезпечення оптимальних технологічних режимів. 2. МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ Зразки гетероструктур піддавалася радіяльному йонному опромі- ненню йонами Ag  з боку плівки кадмій—ртуть—телур (КРТ) на ім- планторі «Везувій». Енергія та доза імплантації складали E  100 кеВ і Q  310 13 см 2 відповідно. Епітаксійний шар КРТ завтовшки d  17 мкм нарощувався на напівізолювальний СdZnTe. Рентґеноструктурні дослідження зразків виконувалися з вико- ристанням дифрактометра ‘Panalytical Х-Pert PRO MRD’ (Almelo, The Netherlands) з характеристичним CuK1-випроміненням. Мо- нохроматизація Рентґенових променів здійснювалася в приладі за допомогою Ge(220)-монохроматора з чотирикратним відбиттям і Ge(220) аналізатора з двократним відбиттям, що істотно збільшує роздільчу здатність мірянь і уможливлює фіксувати відносну зміну параметра кристалічної ґратниці об’єкту з точністю до a/a  10 5 . Механічні властивості поверхні імплантованих зразків КРТ ви- значалися за допомогою твердоміра Shimadzu HMV-200 (див. рис. 1). Рис. 1. Визначення мікротвердости гетероепітаксійного шару після йонної імплантаціїAg  (Мікротвердомір Shimadzu HMV-2000). НАНОСТРУКТУРУВАННЯ ПОВЕРХНІ ГЕТЕРОЕПІТАКСІЙНОЇ ПЛІВКИ CdHgTe 891 3. РЕЗУЛЬТАТИ 3.1. Дослідження механічних властивостей Епюру розподілу механічних напружень, що створюються в плівці КРТ внаслідок введення імплантату, можна одержати із співвідно- шення [7]: ( ) ( ) /(1 ),z C z E     (1) де  – Пуассонів коефіцієнт, E – модуль Юнґа, z – координата,  – коефіцієнт стискання кристалічної ґратниці, С(z) профіль роз- поділу домішки, що вводиться до мішені. Контроль мікротвердости гетероепітаксійного шару КРТ до та після йонної імплантації Ag  оцінювався за зміною показника : 1 /( ),HV HV  (2) де HV1 – мікротвердість зразка після імплантації, а HV – до ім- плантації. 3.2. Дослідження структурних властивостей Присутність у приповерхневих тонких гетерошарах різного типу власних та індукованих введеною домішкою дефектів значно ускладнює задачу кількісної структурної діягностики досліджува- них у роботі об’єктів, оскільки одночасний вплив на параметри роз- сіяння Х-променів спотворень різної природи має найчастіше неа- дитивний характер. Однозначна інтерпретація Х-променевих диф- ракційних профілів такого роду об’єктів має суттєві обмеження. Використання кінематичного або динамічного наближення теорії розсіяння Х-променів без урахування ефектів дифузного розсіяння від наявних дефектів кристалічної структури не дозволяє повною мірою ідентифікувати структурні зміни на межах між імплантова- ним шаром і кристалічним підложжям [8]. Тому аналіз структурних змін приповерхневого шару імпланто- ваних сріблом зразків КРТ виконувався за методикою ковзної кон- фіґурації (GI XRD) при куті ковзання 1. 4. ОБГОВОРЕННЯ Відомо, що імплантація напівпровідникових гетеро- та гомоепітак- сійних систем йонами високої енергії супроводжується введенням великої кількости дефектів, які є визначальними у властивостях 892 Р. С. УДОВИЦЬКА одержаних структур [8]. Кінетика таких процесів обумовлена, в ос- новному, дифузійною рухливістю дефектів і має залежність як від наявности бар’єрів міґрації, так і від характеру взаємодії леґуваль- них елементів, домішок і власних точкових дефектів напівпровід- ника. З іншого боку, внутрішні механічні напруження в областях радіяційного розупорядкування порушують однорідність фізичних характеристик напівпровідникового матеріялу, що дозволяє сфор- мувати в мішені області з особливими властивостями. Розглянемо, що відбувається в гетероепітаксійному шарі твердого розчину CdHgTe при опроміненні йонами срібла з енергією 100 кеВ та пост- термічним обробленням (348 К) зразків з підбором часу, дози та енергії опромінення для забезпечення оптимальних технологічних режимів. 4.1. Механічні напруження Добре відомо, що система CdHgTe виявляє значну чутливість до те- хнологічних процесів. Ці особливості пов’язані з підґратницею Hg— Te, оскільки ентальпія утворення зв’язку Hg—Te (∆Hf  0,33 еВ) ни- зька, в порівнянні з Cd—Te (∆Hf  1,04 еВ) [7]. Область порушення кристалічної ґратниці КРТ окреслюється профілем розподілу ім- плантату С(z), який розрахований [7] для срібла та показаний на рис. 2. Домішка, що вводиться, розташовується переважно в приповер- хневій області епішару КРТ завтовшки  0,1 мкм, причому макси- мального значення  1024 м 3 концентрація срібла досягає на глиби- ні  0,05 мкм. Поява радіяційних дефектів спотворює кристалічну ґратницю та, як наслідок, деформує всю гетероструктуру. За результатами рентґеноструктурних досліджень авторами ро- боти [7] було визначено коефіцієнт стискання () кристалічної ґра- тниці зразків плівки CdHgTe від введення срібла. Отже величину механічних напружень, що створюються в плівці КРТ, можна ви- значити із співвідношення (1). За нашими оцінками максимальні за величиною механічні напруження max, що виникають у приповер- хневому шарі епітаксійної плівки КРТ, складають  1,1105 Па. Та- ким чином, внаслідок введення в кристалічну ґратницю йонів сріб- ла, приповерхневий гетероепітаксійний шар плівки напівпровід- ника зазнає значного деформування. На рисунку 2 (на вставці) побудовано епюри залишкових концен- траційних напружень від імплантації йонами срібла, для зручности в координатах /E. Введені механічні напруження в мішені спону- кають до збільшення опору деформації імплантованого шару КРТ [7]. Це пояснення виходить із співвідношення йонних радіюсів атомів матриці та імплантату, що вводиться до мішені. Так, у робо- ті [9] показано, що імплантація КРТ йонами малого радіюса (таки- НАНОСТРУКТУРУВАННЯ ПОВЕРХНІ ГЕТЕРОЕПІТАКСІЙНОЇ ПЛІВКИ CdHgTe 893 ми як B  з радіюсом 0,97 Å) ініціює стискання порушеного шару, тоді як імплантація цього матеріялу йонами Hg  з радіюсом 1,55 Å, або Cd  з радіюсом 1,56 Å (в нашому досліджені – це Ag  з радіюсом 1,44 Å) навпаки призводить до розтягування поверхневого шару напівпровідника. Таким чином, стискання/розтягування припове- рхневої области епітаксійної плівки КРТ і, відповідно, розтягуван- ня/стискання глибших шарів цього матеріялу (тобто поява ґрадієн- ту деформації) буде сприяти перерозподілу в системі точкових де- фектів при відпалі гетероструктури. З інших джерел [10] відомо, що факт наноструктурування поверхні викликає зміну мікротвер- дости матеріялу. Вивчення зміни відносної мікротвердости  зразків (рис. 1), ім- плантованих сріблом, показало, що після імплантації йонами сріб- ла величина  зменшилася до 0,96. Отже, мікротвердість зразків при імплантації йонами срібла збільшилася. Це можна пов’язати з тим, що введення атомів срібла до КРТ призводить до розтягування кристалічної матриці [7]. Для більш детального визначення структурних особливостей бу- ли використані рентґеноструктурні дослідження за допомогою яких можна визначити характер деформацій, що виникають в опроміненій гетероструктурі. 4.2. Рентґеноструктурні дослідження Аналіз структурних змін приповерхневого шару імплантованих Рис. 2. Профілі розподілу домішок Ag  в плівці CdхHg1хTe (х  0,223). На вставці: залежності залишкових концентраційних напружень у безрозмі- рних координатах /E домішокAg  в плівці CdхHg1хTe. 894 Р. С. УДОВИЦЬКА сріблом зразків КРТ виконувався за XRD методикою у ковзній конфіґурації (GI XRD) [8]. Кут падіння Рентґенового променя на поверхню зразка був підібраний таким чином, щоб одержати інфо- рмацію з глибини  100 нм. Глибина проникнення Рентґенового ви- промінювання оцінювалася з виразу 2inc/, для енергії Рентґеново- го пучка, що використовувалась,  – лінійний коефіцієнт послаб- лення Рентґенового випромінення для CdTe (а також і для CdZnTe) становить величину  1,5103 cм 1 [8]. Одержаний GI XRD-спектр (рис. 3) вказує на утворення в приповерхневій області базового на- півпровідникового матеріялу полікристалічної фази кубічної стру- ктури CdHgTe складом х  0,20 (ICDDPDF 00-051-1122) з парамет- ром ґратниці а  6,4654 Å. Також у спектрі присутній пік при куті 32,7, який можна зіставити з рефлексом (111) від Ag2O (ICDDPDF 00-041-1104) з параметром ґратниці а  4,7263 Å. Наявність висо- кого рівня фону розмитих малоінтенсивних смуг вказує на те, що область, яка досліджується, має розупорядковану структуру, котра знаходиться в стані фазового переходу [8]. Також у роботі оцінюва- вся розмір D зон когерентного розсіювання за Шерреровим співвід- ношенням [11]:   0 2 [rad] , cosD (3) де 2 – ширина дифракційного піка,  – довжина хвилі Рентґено- вого випромінення, 0 – кут нахилу променя. Для піка Ag2O(111) величина новоутворень на поверхні гетерошару склала 70 нм, а для піка КРТ (111) – 200 нм. Отже, виявлено факт виділення фази, яка Рис. 3. Дифрактограма XRD-аналізу при куті ковзання Рентґенового ви- промінення на зразок 1. НАНОСТРУКТУРУВАННЯ ПОВЕРХНІ ГЕТЕРОЕПІТАКСІЙНОЇ ПЛІВКИ CdHgTe 895 відрізняється від матриці КРТ тільки складом (х) та не відрізняєть- ся за структурою. Подібне явище виникає при когерентному ізомо- рфному розпаді твердих розчинів, причому наноструктурований в такий спосіб матеріял повинен мати пластинчасту форму з перева- жною орієнтацією перпендикулярно до кристалографічного екві- валентного напряму. Було побудовано та проаналізовано в подвійному логарифмічно- му масштабі розподіли диференціяльної інтенсивности I (рис. 4) дифузного Рентґенового розсіяння в напрямку вектора qх [12, 13]. Збільшенню довжини вектора q відповідають три області розсіяння з різними законами спадання в координатах lgI—lgq. Вплив дефек- тів проявляється в зсуві максимуму кривої відбиття, зміні інтеґра- льного коефіцієнта відбиття та появі дифузної компоненти. Для вихідного зразка характерним є закон спадання I  q 4. Це область асимптотичного розсіяння. Тобто розсіяння відбувається на достат- ньо сильних спотвореннях кристалічної ґратниці. При збільшенні розміру дефектів відбувається звуження области Хуанєвого розсі- яння (зменшення величини q0, що відповідає точці перегину на за- лежності lgI(lgq)). Для зразка після імплантації сріблом (рис. 4, крива 2) спостерігається зменшення q0 відносно значення для зраз- ка у вихідному стані (рис. 4, крива 1). Збільшення области асимп- тотичного дифузного розсіяння вказує на значний розкид парамет- рів мікродефектів. Здебільшого це стосується зразка після відпалу (рис 4, крива 3), для якого зберігається тенденція збільшення та ґе- нерації мікродефектів. Таким чином, у роботі було визначено ди- наміку змін параметрів структурних та механічних властивостей, Рис. 4. Розподіл інтенсивности дифузного розсіяння в напрямку qx для зразків CdхHg1хTe: 1 – вихідний, 2 – імплантований сріблом, 3 – після відпалу. 896 Р. С. УДОВИЦЬКА що відбуваються внаслідок йонного опромінення йонами срібла ге- тероепітаксійної системи CdHgTe. 5. ВИСНОВКИ 1. Відбувається наноструктурування поверхні гетероплівки КРТ, що піддавалася йонному опроміненню йонами срібла. Виявлено утворення в приповерхневій (100 нм) області базового матеріялу (СdHgTe) полікристалічної фази CdхHg1хTe кубічної структури зі складом х  0,20, а також фази метал—оксид (Ag2O). 2. Одержано епюри розподілу та визначено механічні напруження (z) та /E в розупорядкованому шарі КРТ. 3. Введені механічні напруження в мішені спонукають до збіль- шення опору деформації імплантованого шару КРТ. Це пояснюєть- ся співвідношенням йонних радіюсів уведеної домішки (Ag  ) та атомів матриці (Cd, Hg, Te). 4. Додатковим фактором, що відповідає за збільшення опору дефо- рмації імплантованого шару КРТ, є наноструктурування поверхні напівпровідникового матеріялу. Особиста подяка – кандидату фіз.-мат. наук О. Й. Гудименко за надані результати. ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. D. Paul, Semicond. Sci. Technol., 19: 75 (2004). 2. A. A. Orouji and M. J. Kumar, Superlattices Microstruct., 39: 395 (2006). 3. C. Hagleitner, A. Hierlemann, D. Lange et al., Nature, 414: 293 (2001). 4. A. Romanyuk and P. Oelhafen, Appl. Phys. Lett., 90: 013118 (2007). 5. U. B. Singh, D. C. Agarwal, S. A. Khan, S. Mohapatra, A. Tripathi, and D. K. Avasthi, J. Phys. D: Appl. Phys., 45: 445304 (2012). 6. A. Romanyuk and P. Oelhafen, Appl. Phys. Lett., 90: 013118 (2007). 7. A. B. Smirnov, O. S. Litvin, V. O. Morozhenko, R. K. Savkina, M. I. Smoliy, R. S. Udovytska, and F. F. Sizov, Ukr. J. Phys., 58, No. 9: 872 (2013). 8. Ф. Ф. Сизов, P. K. Савкина, А. Б. Смирнов, P. C. Удовицкая, В. П. Кладько, А. Й. Гудименко, H. B. Сафрюк, O. C. Литвин, Физика твёрдого тела, 56, № 11: 2091 (2014). 9. H. Ebe, M. Tanaka, and Y. Miyamoto, J. Electron. Mater., 28: 854 (1999). 10. Engineering Thin Films and Nanostructures with Ion Beams (Ed. É. Knystautas) (Boca Raton—London—New York—Singapore: Taylor & Francis Group, LLC: 2005). 11. Landolt-Börnstein, Numerical Data and Functional Relationships in Science and Technology (Berlin: Springer-Verlag: 1982), vol. 17, p. 227. 12. М. А. Кривоглаз, Диффузное рассеяние рентгеновских лучей и нейтронов на флуктуационных неоднородностях в неидеальных кристаллах (Киев: Наукова думка: 1984). 13. В. Т. Бублик, С. Ю. Мацнев, К. Д. Щербачёв, М. В. Меженный, НАНОСТРУКТУРУВАННЯ ПОВЕРХНІ ГЕТЕРОЕПІТАКСІЙНОЇ ПЛІВКИ CdHgTe 897 М. Г. Мальдивийский, В. Я. Резняк, Физика твёрдого тела, 45, № 10: 1832 (2003). REFERENCES 1. D. Paul, Semicond. Sci. Technol., 19: 75 (2004). 2. A. A. Orouji and M. J. Kumar, Superlattices Microstruct., 39: 395 (2006). 3. C. Hagleitner, A. Hierlemann, D. Lange et al., Nature, 414: 293 (2001). 4. A. Romanyuk and P. Oelhafen, Appl. Phys. Lett., 90: 013118 (2007). 5. U. B. Singh, D. C. Agarwal, S. A. Khan, S. Mohapatra, A. Tripathi, and D. K. Avasthi, J. Phys. D: Appl. Phys., 45: 445304 (2012). 6. A. Romanyuk and P. Oelhafen, Appl. Phys. Lett., 90: 013118 (2007). 7. A. B. Smirnov, O. S. Litvin, V. O. Morozhenko, R. K. Savkina, M. I. Smoliy, R. S. Udovytska, and F. F. Sizov, Ukr. J. Phys., 58, No. 9: 872 (2013). 8. F. F. Sizov, R. K. Savkina, A. B. Smirnov, R. S. Udovytska, V. P. Kladko, A. J. Gudymenko, N. V. Safryuk, and O. S. Litvin, Fizika Tverdogo Tela, 56, No. 11: 2091 (2014) (in Russian). 9. H. Ebe, M. Tanaka, and Y. Miyamoto, J. Electron. Mater., 28: 854 (1999). 10. Engineering Thin Films and Nanostructures with Ion Beams (Ed. É. Knystautas) (Boca Raton—London—New York—Singapore: Taylor & Francis Group, LLC: 2005). 11. Landolt-Börnstein, Numerical Data and Functional Relationships in Science and Technology (Berlin: Springer-Verlag: 1982), vol. 17, p. 227. 12. M. A. Krivoglaz, Diffuse Scattering of X-Rays and Neutrons by Fluctuation Inhomogeneities in Non-Ideal Crystals (Kiev: Naukova Dumka: 1984) (in Russian). 13. V. T. Bublik, S. Yu. Matsnev, K. D. Shcherbachev, M. V. Mezhennyi, M. G. Mil’vidskii, and V. Ya. Reznik, Fizika Tverdogo Tela, 45, No. 10: 1832 (2003) (in Russian). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Ähnliche Einträge