Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии

Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии

Методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии исследовались плёнки Au и por-Au, полученные методом импульсного лазерного осаждения. Определены их основные структурные параметры: плотность (пористость), толщина, шероховатость. Показано, что дополнительные измерения параметра решётки плёнок з...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2015
Автори: Гудыменко, А.И., Кривой, С.Б., Станчу, Г.В., Кладько, В.П., Сафрюк, Н.В., Слободян, Н.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Назва видання:Металлофизика и новейшие технологии
Теми:
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112418
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии / А. И. Гудыменко, С. Б. Кривой, Г. В. Станчу, В. П. Кладько, Н. В. Сафрюк, Н. В. Слободян // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 9. — С. 1215-1223. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-112418
record_format dspace
spelling irk-123456789-1124182017-01-22T03:02:23Z Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии Гудыменко, А.И. Кривой, С.Б. Станчу, Г.В. Кладько, В.П. Сафрюк, Н.В. Слободян, Н.В. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии исследовались плёнки Au и por-Au, полученные методом импульсного лазерного осаждения. Определены их основные структурные параметры: плотность (пористость), толщина, шероховатость. Показано, что дополнительные измерения параметра решётки плёнок золота позволяют более корректно определить величину их пористости Методами Рентґенової рефлектометрії та дифрактометрії досліджувалися плівки Au і por-Au, одержані методою імпульсного лазерного осадження. Визначено їхні основні структурні параметри: густину (пористість), товщину, шерсткість. Показано, що додаткові міряння параметра ґратниці плівок золота уможливлюють коректніше визначити величину їхньої пористости. The Au and por-Au films obtained by pulsed-laser deposition are characterized by X-ray reflectometry and diffractometry. The main structural parameters (density (porosity), thickness, surface roughness) are obtained. As shown, the additional measurements of the lattice parameter allow more correctly determine the porosity value of the Au films. 2015 Article Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии / А. И. Гудыменко, С. Б. Кривой, Г. В. Станчу, В. П. Кладько, Н. В. Сафрюк, Н. В. Слободян // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 9. — С. 1215-1223. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 61.05.cm, 61.05.cp, 61.43.Gt, 73.20.Mf, 78.67.Rb, 81.15.Fg, 81.16.Mk http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112418 ru Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
spellingShingle Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Гудыменко, А.И.
Кривой, С.Б.
Станчу, Г.В.
Кладько, В.П.
Сафрюк, Н.В.
Слободян, Н.В.
Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии
Металлофизика и новейшие технологии
description Методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии исследовались плёнки Au и por-Au, полученные методом импульсного лазерного осаждения. Определены их основные структурные параметры: плотность (пористость), толщина, шероховатость. Показано, что дополнительные измерения параметра решётки плёнок золота позволяют более корректно определить величину их пористости
format Article
author Гудыменко, А.И.
Кривой, С.Б.
Станчу, Г.В.
Кладько, В.П.
Сафрюк, Н.В.
Слободян, Н.В.
author_facet Гудыменко, А.И.
Кривой, С.Б.
Станчу, Г.В.
Кладько, В.П.
Сафрюк, Н.В.
Слободян, Н.В.
author_sort Гудыменко, А.И.
title Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии
title_short Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии
title_full Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии
title_fullStr Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии
title_full_unstemmed Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии
title_sort исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2015
topic_facet Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112418
citation_txt Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии / А. И. Гудыменко, С. Б. Кривой, Г. В. Станчу, В. П. Кладько, Н. В. Сафрюк, Н. В. Слободян // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 9. — С. 1215-1223. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.
series Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv AT gudymenkoai issledovanieplazmonnyhplënočnyhnanostrukturzolotametodamirentgenovskojreflektometriiidifraktometrii
AT krivojsb issledovanieplazmonnyhplënočnyhnanostrukturzolotametodamirentgenovskojreflektometriiidifraktometrii
AT stančugv issledovanieplazmonnyhplënočnyhnanostrukturzolotametodamirentgenovskojreflektometriiidifraktometrii
AT kladʹkovp issledovanieplazmonnyhplënočnyhnanostrukturzolotametodamirentgenovskojreflektometriiidifraktometrii
AT safrûknv issledovanieplazmonnyhplënočnyhnanostrukturzolotametodamirentgenovskojreflektometriiidifraktometrii
AT slobodânnv issledovanieplazmonnyhplënočnyhnanostrukturzolotametodamirentgenovskojreflektometriiidifraktometrii
first_indexed 2025-07-08T03:54:39Z
last_indexed 2025-07-08T03:54:39Z
_version_ 1837049468916072448
fulltext 1215 PACS numbers:61.05.cm, 61.05.cp,61.43.Gt,73.20.Mf,78.67.Rb,81.15.Fg, 81.16.Mk Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии А. И. Гудыменко, С. Б. Кривой, Г. В. Станчу, В. П. Кладько, Н. В. Сафрюк, Н. В. Слободян Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарёва НАН Украины, просп. Науки, 41, 03028 Киев, Украина Методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии исследова- лись плёнки Au и por-Au, полученные методом импульсного лазерного осаждения. Определены их основные структурные параметры: плотность (пористость), толщина, шероховатость. Показано, что дополнительные измерения параметра решётки плёнок золота позволяют более корректно определить величину их пористости. Методами Рентґенової рефлектометрії та дифрактометрії досліджувалися плівки Au і por-Au, одержані методою імпульсного лазерного осадження. Визначено їхні основні структурні параметри: густину (пористість), тов- щину, шерсткість. Показано, що додаткові міряння параметра ґратниці плівок золота уможливлюють коректніше визначити величину їхньої по- ристости. The Au and por-Au films obtained by pulsed-laser deposition are character- ized by X-ray reflectometry and diffractometry. The main structural param- eters (density (porosity), thickness, surface roughness) are obtained. As shown, the additional measurements of the lattice parameter allow more cor- rectly determine the porosity value of the Au films. Ключевые слова: рентгеновская рефлектометрия и дифрактометрия, толщина нанокомпозитных плёнок, пористость, наночастицы золота. (Получено 7мая 2015 г.) 1. ВСТУПЛЕНИЕ Нанокомпозитные плёнки с Au и наночастицами (НЧ) Au востребо- ваны в связи с развитием наноплазмоники, фотоники, сенсорики Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2015, т. 37, № 9, сс. 1215—1223 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2015 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 1216 А. И. ГУДЫМЕНКО, С. Б. КРИВОЙ, Г. В. СТАНЧУ и др. для усиления фотолюминесценции квантовых точек, создания под- ложек для поверхностно-усиленного комбинационного рассеяния света (КРС) (SERS-подложки), для повышения чувствительности детектирования аналитов в биологии, медицине и др. [1]. Среди композитных плазмонных наноструктур особое место занимают плёнки пористого золота (por-Au) с массивом НЧ Au. Контроль по- ристости или пространственной плотности этих структур является одной из важных задач в технологии создания плазмонных матери- алов. Пористость изучается методами электронной микроскопии, изотермического поглощения газа, комбинационного рассеяния света, термопорометрии, эллипсометрии [2—4], гравиметрическим методом и т.д. Эти методы отличаются степенью информативности, границами применимости, чувствительностью. В методе рентгенов- ской порометрии [5] значение плотности плёнки определяется по поглощению рентгеновского излучения при прохождении через слой вещества. Для применения этого метода необходимы сведения о толщине слоя, что требует привлечения дополнительных экспе- риментальных данных. Для определения параметра пористости тонких плёнок активно используется метод рентгеновской рефлектометрии [6—9]. Метод предъявляет определённые требования к образцам, что вносит не- которые ограничения на область его применения. А именно, образ- цы должны быть плоскими, и их шероховатость не должна превы- шать некоторой критической величины. Это необходимо для надёжной фиксации резких скачков интенсивности в области кри- тического угла, что невозможно для изогнутых образцов, а также для образцов с большой шероховатостью. Использование дополнительно дифрактометрических измерений не является принципиально новым, но в данной работе этот метод использовался для уточнения параметра плотности плёнок путём измерения постоянной решётки, что дало возможность уточнить методику определения пористости. 2. ОБРАЗЦЫ И МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ Плазмонные наноструктуры золота получали методом импульсного лазерного осаждения в вакуумной камере в атмосфере аргона. Луч лазера ИАГ:Nd3 (длина волны излучения – 1,06 мкм, энергия в импульсе – 0,2 Дж, длительность импульса – 10 нс, частота по- вторения импульсов – 25 Гц) сканировал мишень из золота. В за- висимости от давления аргона в камере были получены как сплош- ные плёнки Au, так и нанокомпозитные плёнки por-Au с разной ве- личиной пористости. При этом фиксировали значения других тех- нологических параметров (число импульсов, плотность энергии в импульсе). Более подробно с технологией получения плёнок можно ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛАЗМОННЫХ ПЛЁНОЧНЫХ НАНОСТРУКТУР ЗОЛОТА 1217 ознакомиться в работах [6, 10]. Метод XRR (X-ray reflectometry) базируется на эффекте полного внешнего отражения рентгеновских лучей на границе раздела двух сред. При угле падения лучей на границу раздела меньше критиче- ского – угла полного внешнего отражения, рентгеновские лучи зеркально отражаются, проникая при этом на 1—2 нм вглубь веще- ства. Для углов больших критического основной вклад в рефлекто- метрическую кривую даёт рассеяние на электронной плотности. Значение критического угла определяет величину электронной плотности конкретного образца. Зная химический состав, легко пе- рейти от электронной плотности к атомной или «физической» плотности. Пористость же может быть определена как: (1  exp/m)100%, где exp – плотность, определённая по положению критического уг- ла на интегральной кривой, m – плотность массивного материала. Для расчёта пористости авторами было принято табличное значе- ние m  19,3 г/см 3 для золота. Рефлектометрические исследования выполнялись на высокораз- решающем рентгеновском дифрактометре PANalitical Х-Pert PRO MRD с использованием CuK1-характеристического излучения. Монохроматизация рентгеновских лучей осуществлялась с помо- щью четырёхкратного Ge(220) монохроматора. Падающий рентге- новский пучок коллимировался 0,2 мм щелью. Кривые прописыва- лись, так называемым, (—2)-сканированием, когда детектор про- ходит удвоенный угловой путь по сравнению с образцом. Такую кривую принято называть интегральной или зеркальной. Анализ измеренных кривых выполнялся в программе PANalitical Reflec- tivity, которая базируется на уравнениях Паррата [11, 12]. С помо- щью процедуры фитирования была получена информация о плот- ности и шероховатости плёнок. При наличии осцилляций получали дополнительную информацию о толщине плёнки. Для небольших углов падения толщина может быть определена с использованием модифицированного закона Брэгга: ,)(sin2 2/12  dn где n – порядок дифракции,  – длина волны падающего излуче- ния, d – период повторов толщины,  – угол Брэгга и  – диспер- сионная поправка к показателю преломления для рентгеновских лучей. Отсутствие толщинных осцилляций может свидетельство- вать либо о большой толщине плёнок, превышающей предел раз- решающей способности прибора (случай толстых плёнок), либо о больших неоднородностях (нечёткости интерфейсов в случае тон- 1218 А. И. ГУДЫМЕНКО, С. Б. КРИВОЙ, Г. В. СТАНЧУ и др. ких плёнок). Рентгенодифрактометрические измерения были выполнены на установке ARL X’TRA (Thermo Scientific). Использовалось CuK- излучение, напряжение на трубке составляло 45 кВ, ток – 30 мА. Из-за малой толщины плёнки наиболее чётко проявлялся только рефлекс (111), который прописывался (—)-сканированием в по- шаговом режиме. Шаг сканирования составлял 0,01, набор им- пульсов в точке – 2. Полученная дифракционная кривая фитиро- валась с помощью функции псевдо-Войта, и по положению центра определялся параметр решётки. 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ Экспериментальные интегральные кривые рентгеновской рефлек- тометрии для ряда образцов приведены на рис. 1. Положение кри- тических углов на рисунке обозначено вертикальными линиями. Спектры образцов содержат периодические осцилляции интенсив- ности, по которым удалось определить толщины плёнок (см. табл.). Наиболее пористым является образец D782 (43%) поскольку вели- чина его критического угла наименьшая. Скорость спада инте- гральных кривых несёт информацию о величине шероховатости Рис. 1. Интегральные рефлектометрические кривые для образцов D779, D733, D782, D792, D780, полученных при различных технологических параметрах. Fig. 1. X-ray specular reflection curves of the D779, D733, D782, D792 and D780 samples obtained at different technological parameters. ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛАЗМОННЫХ ПЛЁНОЧНЫХ НАНОСТРУКТУР ЗОЛОТА 1219 плёнок. Быстрое затухание осцилляций и сильное падение интен- сивности свидетельствует о большой величине шероховатости и, наоборот, более плавное затухание интенсивности говорит о малой шероховатости. Анализ результатов таблицы показывает для образца D733 (сплошная кривая на рис. 1) отрицательное значение пористости 0,1%. Данный результат является нелогичным и может указывать на ошибочную юстировку образца. Повторные измерения показали, что ошибки допущено не было. Второй причиной отрицательного значения пористости может быть заниженная величина m. Однако возникает вопрос: какую именно величину m нужно принимать в расчётах? Отметим, что в базе данных ICDD, PDF-2 Release 2012 существует 10 карт для золота с отличной друг от друга плотно- стью. Определение параметра решётки наночастиц с помощью рентге- новской дифрактометрии помогает выйти из данного затрудни- тельного положения. Зная параметр решётки можно определить плотность материала, составляющего наночастицы [13]. Для слу- чая кубической сингонии: 3 Au a4 / ( ),M a N  где 4 – количество атомов в ячейке, MAu – молярная масса золота, Na – постоянная Авогадро, а – экспериментально определённый параметр решётки. Смещение пиков рефлекса (111) на дифрактограммах (рис. 2) указывает на изменение параметра решётки материала исследуе- ТАБЛИЦА. Основные структурные параметры полученных образцов. TABLE. The main structural parameters of obtained samples. № Параметр решётки а, Å Плотность, г/см3 Толщина, нм Шерохо- ватость, нм Пористость, % Пористость с учётом данных XRD, % D733 4,0753 19,32 45,8 0,7 0,1 0,05 D780 4,0843 18,18 19,675 0,8 5,8 5,32 D792 4,0822 18,07 10,27 1,02 6,4 6,04 D793 4,0722 15,3 28,7 1,13 20,7 20,03 D794 4,0689 12,2 19 1,36 36,8 37,18 D796 4,0688 10,7 11 1,54 44,6 44,91 D779 4,0675 13,3 21,8 2,3 31,1 31,59 D782 4,074 11 — 2,9 43,0 43,15 1220 А. И. ГУДЫМЕНКО, С. Б. КРИВОЙ, Г. В. СТАНЧУ и др. мых плёнок. Для всех плёнок, которые имеют значительную пори- стость, параметр решётки меньше в сравнении с золотом в объём- ном состоянии (см. табл.). Эффект уменьшения параметра решётки объясняют наличием сил поверхностного сжатия в наночастицах с малыми размерами [14]. Параметр решётки в разных областях самой наночастицы, а также для разных частиц массива, согласно [15], может также ва- рьироваться. Однако рентгенодифрактометрические измерения дают усреднённый параметр a всего массива наночастиц. Поправка в значении пористости при учёте параметра решётки незначительна, но она играет важную роль при определении пори- стости плёнок, значение которых близко к 1—2%. Это особенно важно для оптических сенсоров, работающих на основе возбужде- ния поверхностных плазмон-поляритонных волн, где поправка к плотности вещества даёт относительно большой вклад в измеряе- мую величину. Также эта корректировка снимает вопросы методо- логического характера. На рисунке 3 приведено распределение интенсивности на карте обратного пространства (КОП). В вышеприведённых кривых зер- кального отражения сканирование проходит через центр КОП (Qx  0). Диффузное рассеяние наблюдается в области справа и слева от этой линии в «незеркальной» области. Значения шероховатости Рис. 2. Участки дифрактограмм образцов D780, D793, D782 в области ре- флекса (111). Fig. 2. The regions of the diffraction patterns of the D780, D793 and D782 samples near the 111 reflection. ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛАЗМОННЫХ ПЛЁНОЧНЫХ НАНОСТРУКТУР ЗОЛОТА 1221 образцов, определённые по диффузному рассеянию на КОП, совпа- дают с данными, полученными из анализа зеркальных кривых. На КОП не наблюдается резонансное диффузное рассеяние (так назы- ваемые диффузные «бананы»), что свидетельствует об отсутствии вертикальной корреляции профилей шероховатости [16]. Открытым остаётся вопрос о размере наночастиц. В большинстве работ этот параметр оценивается с помощью формулы Шеррера. Однако присутствие деформационных полей в самих наночастицах приводит к уширению пиков дифрактограммы, приводя к неточно- сти в определении размера наночастиц этим методом [15]. Разде- лить размерный и деформационный вклады можно как методом Вильямсона—Холла, так и более современными методами анализа дифракционного профиля [17, 18]. Но из-за небольшой толщины исследованных плёнок дифракционный профиль содержит только слабо выраженный рефлекс (111), что делает этот анализ практиче- ски невозможным. 4. ВЫВОДЫ Методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии ис- следованы структурные характеристики плёнок Au и por-Au. Опре- делены основные структурные параметры: плотность (пористость), толщина, шероховатость. Показано отсутствие вертикальной кор- Рис. 3. Карта обратного пространства для образца D779. Fig. 3. Reciprocal space map of the D779 sample. 1222 А. И. ГУДЫМЕНКО, С. Б. КРИВОЙ, Г. В. СТАНЧУ и др. реляции шероховатости, что и ожидалось для структур, получен- ных импульсным лазерным осаждениям. Методом рентгеновской дифрактометрии установлено наличие напряжений сжатия в нано- частицах золота, приводящее к изменению усреднённого параметра плотности вещества. Учёт этого обстоятельства даёт возможность корректировать параметр пористости, определённый методом рент- геновской рефлектометрии, заменой m на плотность, определён- ную с помощью дифрактометрии. Это позволяет более корректно определить параметр пористости исследуемых плёнок. Авторы выражают глубокую признательность проф. Э. Б. Кага- нович за помощь и активное обсуждение, а также И. М. Крищенко и Э. Г. Манойлову за предоставленные образцы. Эти исследования были поддержаны НАН Украины в рамках Государственной целевой научно-технической программы «Разра- ботка и создание сенсорных наукоёмких продуктов» на 2008—2017 годы (проект № 2.2.4/19). ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА–REFERENCES 1. E. Le Ru and P. Etchegoin, Principles of Surface Enhanced Raman Spectroscopy and Related Plasmonic Effects (Amsterdam: Elsevier: 2009). 2. K. P. Mogilnikov and I. O. Semenova, J. Struct. Chem., 52, No. 5: 926 (2011) (in Russian). 3. C. Wongmanerod, S. Zangooie, and H. Arwin, Appl. Surf. Sci., 172: 117 (2001). 4. F. N. Dultsev and M. R. Baklanov, Electrochem. Solid-State Lett., 2, Iss. 4: 192 (1999). 5. V. V. Ratnikov, Fizika Tverdogo Tela, 39, No. 5: 956 (1997) (in Russian). 6. V. P. Kladko, O. Y. Gudymenko, S. B. Kriviy, P. M. Litvin, E. B. Kaganovich, I. M. Krishchenko, and E. G. Manoilov, Ukrayins’kyy Fizychnyy Zhurnal, 59, No. 9: 917 (2014) (in Ukrainian). 7. L. A. Balagurov, V. F. Pavlov, E. A. Petrova, and G. P. Boronina, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 31, No. 8: 957 (1997) (in Russian). 8. H.-J. Lee, E. K. Lin, H. Wang, W.-L. Wu, W. Chen, and E. S. Moyer, Chem. Matter., 14: 1845 (2002). 9. E. K. Lin, H.-J. Lee, G. W. Lynn, W.-L. Wu, and M. L. O’Neill, Appl. Phys. Lett., 81: 607 (2002). 10. E. B. Kaganovich, S. O. Kravchenko, I. M. Krishchenko, E. G. Manoilov, V. V. Strelchuk, Yu. M. Nasyeka, M. I. Boyko, and O. F. Kolomys, Sposib Oderzhannya Plivky z Au Nanochastynkamy dlya Poverkhnevoho Pidsylennya Kombinatsiynogo Rozsiyannya Svitla [The Method for Producing a Film of Au Nanoparticles for Surface Enhancement of Raman Scattering], Patent of Ukraine No. 90717, MPK8 G01J 3/44 (2014) (in Ukrainian). 11. L. G. Parratt, Phys. Rev., 95, No. 2: 359 (1954). 12. O. M. Yefanov and V. P. Klad’ko, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 28, No. 2: 227 (2006) (in Russian). 13. Ya. A. Ugay, M. K. Sharov, and O. B. Yatsenko, Vestnik Voronezh SU. Ser.: ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛАЗМОННЫХ ПЛЁНОЧНЫХ НАНОСТРУКТУР ЗОЛОТА 1223 Khimiya. Biologiya. Farmatsiya, No. 2: 53 (2004) (in Russian). 14. С. Solliard and M. Flueli, Surf. Sci., 156: 487 (1985). 15. E. B. Dolgusheva and V. Yu. Trubitsyin, Fizika Tverdogo Tela, 52: 6 (2010) (in Russian). 16. X-Ray and Neutron Reflectivity: Principles and Applications (Eds. J. Daillant and A. Gibaud) (Berlin: Springer: 2009). 17. V. P. Kladko, А. V. Kuchuk, H. V. Stanchu, N. V. Safriuk, A. E. Belyaev, A. Wierzbicka, M. Sobanska, K. Klosek, and Z. R. Zytkiewicz, J. Cryst. Growth, 401: 347 (2014). 18. H. V. Stanchu, V. P. Kladko, A. V. Kuchuk, N. V. Safriuk, A. E. Belyaev, A. Wierzbicka, M. Sobanska, K. Klosek, and Z. R. Zytkiewicz, Nanoscale Res. Lett., 10: 51 (2015). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Схожі ресурси