АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»

У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2015
Автори:	Коман, Б.П., Ровецький, І.М., Юзевич, В.М.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Назва видання:	Металлофизика и новейшие технологии
Теми:	Металлические поверхности и плёнки
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112435
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-112435
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1124352017-01-22T03:02:38Z АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М. Металлические поверхности и плёнки У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів з використанням алґоритму Хошена—Копельмана, визначено характерні геометричні параметри кластерних наноутворень. Для досліджуваних металів з використанням макроскопічного підходу, що базується на співвідношеннях нерівноважної термодинаміки та фізики поверхні, оцінено енергетичні параметри міжфазової взаємодії у системі «металічний конденсат—кремній»: енергію міжфазової взаємодії, міжфазовий натяг, енергію адгезійних зв’язків та роботу адгезії. Обґрунтовуються відмінності морфології металічних конденсатів на кремнії. В работе по результатам атомно-силовой микроскопии исследована топология поверхности и структура конденсатов меди, алюминия и хрома на подложках монокристаллического кремния плоскости (111) для характерных толщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Выполнен кластерный статистический анализ поверхности полученных конденсатов с использованием алгоритма Хошена—Копельмана, определены характерные геометрические параметры кластерных нанообразований. Для исследованных металлов с использованием макроскопического подхода, базирующегося на соотношениях неравновесной термодинамики и физики поверхности, оценены энергетические параметры межфазного взаимодействия в системе «металлический конденсат—кремний»: энергия межфазного взаимодействия, межфазное натяжение, энергия адгезионных связей и работа адгезии. Обосновываются отличия морфологии металлических конденсатов на кремнии. In this paper, the results of atomic force microscopy are used to investigate the surface topology and structure of condensates of copper, aluminium, and chromium on the (111) plane of monocrystalline silicon substrates with the characteristic thicknesses d: 2.5, 10, 50, and 100 nm. A cluster statistical analysis of obtained condensates’ surface is performed by means of the Hoshen—Kopelman algorithm; the character geometric parameters of cluster nanoformations are determined. For studied metals, the energy parameters of interphase interactions in the ‘metallic condensate—silicon’ system, such as energy of interface interaction, interfacial tension, adhesive bond energy and the work of adhesion, are estimated using macroscopic approach based on the relations of the surface non-equilibrium thermodynamics and physics. Differences in the morphology of metallic condensates on silicon are substantiated. 2015 Article АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 68.35.Ct, 68.35.Gy, 68.35.Md, 68.35.Np, 68.37.Ps, 68.55.J-, 81.15.Gh http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112435 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Ukrainian
topic	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки
spellingShingle	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М. АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» Металлофизика и новейшие технологии
description	У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів з використанням алґоритму Хошена—Копельмана, визначено характерні геометричні параметри кластерних наноутворень. Для досліджуваних металів з використанням макроскопічного підходу, що базується на співвідношеннях нерівноважної термодинаміки та фізики поверхні, оцінено енергетичні параметри міжфазової взаємодії у системі «металічний конденсат—кремній»: енергію міжфазової взаємодії, міжфазовий натяг, енергію адгезійних зв’язків та роботу адгезії. Обґрунтовуються відмінності морфології металічних конденсатів на кремнії.
format	Article
author	Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М.
author_facet	Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М.
author_sort	Коман, Б.П.
title	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
title_short	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
title_full	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
title_fullStr	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
title_full_unstemmed	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
title_sort	асм-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2015
topic_facet	Металлические поверхности и плёнки
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112435
citation_txt	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр.
series	Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv	AT komanbp asmdoslídžennâpoverhnímetalíčnihkondensatívnamonokristalíčnomukremníítaenergetičníparametrimížfazovoívzaêmodíívsistemímetalíčnijkondensatnapívprovídnik AT rovecʹkijím asmdoslídžennâpoverhnímetalíčnihkondensatívnamonokristalíčnomukremníítaenergetičníparametrimížfazovoívzaêmodíívsistemímetalíčnijkondensatnapívprovídnik AT ûzevičvm asmdoslídžennâpoverhnímetalíčnihkondensatívnamonokristalíčnomukremníítaenergetičníparametrimížfazovoívzaêmodíívsistemímetalíčnijkondensatnapívprovídnik
first_indexed	2025-07-08T03:56:33Z
last_indexed	2025-07-08T03:56:33Z
_version_	1837049572171448320
fulltext	1443 МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ И ПЛЁНКИ PACS numbers:68.35.Ct, 68.35.Gy,68.35.Md,68.35.Np,68.37.Ps,68.55.J-, 81.15.Gh АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич Львівський національний університет імені Івана Франка, факультет електроніки, вул. Драгоманова, 50, 79005 Львів, Україна Фізико-механічний інститут ім. Г. В. Карпенка НАН України, вул. Наукова,5, 79601 Львів, Україна У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні оде- ржаних конденсатів з використанням алґоритму Хошена—Копельмана, визначено характерні геометричні параметри кластерних наноутворень. Для досліджуваних металів з використанням макроскопічного підходу, що базується на співвідношеннях нерівноважної термодинаміки та фізики по- верхні, оцінено енергетичні параметри міжфазової взаємодії у системі «ме- талічний конденсат—кремній»: енергію міжфазової взаємодії, міжфазовий натяг, енергію адгезійних зв’язків та роботу адгезії. Обґрунтовуються від- мінності морфології металічних конденсатів на кремнії. Ключові слова: конденсати, плівки, підложжя, морфологія, міжфазова взаємодія, енергетичні параметри. Corresponding author: Bogdan Petrovich Koman E-mail: bogdan_28@mail.ru Ivan Franko Lviv National University, 50 Drahomanov Str., 79005 Lviv, Ukraine *G. Karpenko Physicomechanical Institute, N.A.S. of Ukraine, 5 Naukova Str., 79601 Lviv, Ukraine B. P. Koman, I. M. Rovetskiy, and V. M. Yuzevych, AFM Study of Surface of the Metallic Condensates on the Monocrystalline Silicon and Energy Parameters of Interface Interactions in the ‘Metallic Condensate—Semiconductor’ System, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 37, No. 11: 1443—1460 (2015) (in Ukrainian). Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2015, т. 37, № 11, сс. 1443—1460 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2015 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 1444 Б. П. КОМАН, І. М. РОВЕЦЬКИЙ, В. М. ЮЗЕВИЧ В работе по результатам атомно-силовой микроскопии исследована тополо- гия поверхности и структура конденсатов меди, алюминия и хрома на под- ложках монокристаллического кремния плоскости (111) для характерных толщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Выполнен кластерный статистический ана- лиз поверхности полученных конденсатов с использованием алгоритма Хошена—Копельмана, определены характерные геометрические парамет- ры кластерных нанообразований. Для исследованных металлов с использо- ванием макроскопического подхода, базирующегося на соотношениях неравновесной термодинамики и физики поверхности, оценены энергети- ческие параметры межфазного взаимодействия в системе «металлический конденсат—кремний»: энергия межфазного взаимодействия, межфазное натяжение, энергия адгезионных связей и работа адгезии. Обосновываются отличия морфологии металлических конденсатов на кремнии. Ключевые слова: конденсаты, плёнки, подложка, морфология, межфазо- вое взаимодействие, энергетические параметры. In this paper, the results of atomic force microscopy are used to investigate the surface topology and structure of condensates of copper, aluminium, and chromium on the (111) plane of monocrystalline silicon substrates with the characteristic thicknesses d: 2.5, 10, 50, and 100 nm. A cluster statistical analysis of obtained condensates’ surface is performed by means of the Ho- shen—Kopelman algorithm; the character geometric parameters of cluster nanoformations are determined. For studied metals, the energy parameters of interphase interactions in the ‘metallic condensate—silicon’ system, such as energy of interface interaction, interfacial tension, adhesive bond energy and the work of adhesion, are estimated using macroscopic approach based on the relations of the surface non-equilibrium thermodynamics and physics. Differences in the morphology of metallic condensates on silicon are substan- tiated. Key words: condensates, films, substrate, morphology, interphase interac- tions, energy parameters. (Отримано 15 липня 2015 р.) 1. ВСТУП Сучасний стан розвитку нанотехнологій значною мірою визнача- ється матеріялами, сформованими вакуумною конденсацією. Відо- мі сьогодні способи одержання таких плівкових матеріялів ґрун- туються на механізмі інтенсивної дисипації енергії високоенерге- тичного потоку конденсованих атомів. Тому сильна нерівноваж- ність процесу визначатиме нанорозмірний структурний стан у та- ких конденсатах, формування внутрішніх напружень, їх рівень та подальші релаксаційні процеси. Особливістю таких структур є ево- люція фазових утворень у ході напорошення, що, загалом, супрово- джується зміною як поверхневої енергії системи «підкладка— конденсат», так і енергії в об’ємі самого конденсату, та, як наслі- АСМ-ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХНІ МЕТАЛІЧНИХ КОНДЕНСАТІВ НА КРЕМНІЇ 1445 док, зміною їх основних структурно-чутливих параметрів. Відмінність в енергетичних параметрах міжфазової взаємодії конденсованих металів повинна супроводжуватися різними умова- ми розтікання металічної рідкої фази на поверхні твердотільної пі- дкладки та кількісно відмінними адгезійними властивостями, і, як наслідок, призводити до різної структури та морфології поверхні осаджуваних плівок. Тому метою роботи було дослідження особливостей структури та морфології металічних конденсатів на однотипній підкладці моно- кристалічного кремнію кристалографічної площини (111) та кіль- кісна оцінка енергетичних параметрів міжфазової взаємодії в сис- темах «рідка фаза (метал)—підкладка кремнію» та «тверда фаза (метал)—підкладка кремнію». 2. МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ Металічні плівки осаджували на непідігрівні поверхні (111) монок- ристалічного кремнію методом термічного осадження з викорис- танням резистивних нагрівників на установці ВУП-5А при вакуумі не гірше 10 5 Па. Плівки на підкладках монокристалічного кремнію досліджували методами атомно-силової мікроскопії (АСМ) на обладнанні Solver P47PRO (NT-MDT, Russia) у контактному та напівконтактному ре- жимах. Використовували серійні кремнійові зонди NSG-11 з номі- нальним радіюсом заокруглення вістря 10 нм. Роздільна здатність за висотою становила 1 Å. Для аналізу структурних особливостей використовували результати досліджень морфології поверхні, про- філь, геометричні розміри нанокристалів та інші параметри, розра- хунки яких передбачено стандартними програмами NT-MDT. 2. РЕЗУЛЬТАТИ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ Для встановлення структурних особливостей одержані за описаних умов металічні плівки Cu, Cr, Al на підкладках монокристалічного кремнію досліджували методами АСМ. На рисунках 1 і 2 наведено 3D- і 2D-АСМ-зображення поверхні конденсатів Cu, Cr на підкладках монокристалічного кремнію для характерних товщин d  2,5, 10, 50, 100 нм, осаджених за швидкос- ти у 0,8 нм/с. З’ясовано, що на перших етапах осадження конденсатів Cu про- тікають процеси, які включають нуклеацію (зародження) нової фа- зи у вигляді стовпчастих пірамідальних наноутворень діяметром 20—40 нм та 10—15 нм висотою (рис. 1). Профілі висот усіх плівок де- монструють значну стохастичну нерівномірність з відсутністю пев- 1446 Б. П. КОМАН, І. М. РОВЕЦЬКИЙ, В. М. ЮЗЕВИЧ ної закономірности зі зростанням товщини. Встановлено, що сфор- мовані плівки Al не відрізняються суттєво за морфологією від описа- них, а лише за геометричними розмірами стовпчастих утворень. Суттєво відмінна морфологія притаманна плівкам хрому (рис. 2). За мінімальної товщини спостерігаються хаотично розміщені нано- об’єкти з геометрією, близькою до пірамідальної, на відстані один від іншого в середньому 2—3 нм та близько 4 нм в основі. Однак найекзотичнішим явищем є наявність нанопористої структури для товщини d2  50 нм (рис. 2, б) з притаманною глибиною нанопор від 1 до 4 мкм, чітко виділяються й більші пори з майже циліндричною формою (рис. 2, г). Останні в глибині сягають майже підкладки і мають діяметер у своїй основі близько 4 нм та розміщені одна від іншої на відстані приблизно 2 нм. Зі зростанням товщини плівки (d3) така особливість зникає, натомість формується серія стовпчас- тих пірамідальних наноутворень з характерними розмірами, як на рис. 2, в. Подальше зростання товщини плівки до величини d4 су- проводжується зменшенням ґранулярности та зростанням стохас- Рис. 1. АСМ 2D- і 3D-зображення плівок міді на кремнії з товщинами: d1  25 нм (а), d2  50 нм (б), d3  100 нм (в), d4  200 нм (г) (  0,8 нм/c). Fig. 1. AFM 2D- and 3D-images of copper films on silicon with thicknesses: d1  25 nm (а), d2  50 nm (б), d3  100 nm (в), d4  200 nm (г) (  0.8 nm/s). АСМ-ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХНІ МЕТАЛІЧНИХ КОНДЕНСАТІВ НА КРЕМНІЇ 1447 тичности рельєфу плівки. Отже, рельєф поверхні всіх плівок відзначається стохастичною топографією та ієрархією ґранулярности і свідчить про те, що для всіх аналізованих металів найімовірнішим механізмом формуван- ня конденсатів є механізм Фольмера—Вебера. З метою одержання більш повної інформації про особливості Рис. 2. АСМ 2D- і 3D-зображення плівок хрому на кремнії з товщинами: d1  25 нм (а), d2  50 нм (б, г), d3  100 нм (в), d4  200 нм (д) (  0,8 нм/c). Fig. 2. AFM 2D- and 3D-images of chromium films on silicon with thicknesses: d1  25 nm (а), d2  50 nm (б, г), d3  100 nm (в), d4  200 nm (д) ( 0.8 nm/s). 1448 Б. П. КОМАН, І. М. РОВЕЦЬКИЙ, В. М. ЮЗЕВИЧ конденсації осаджуваних металів на монокристалічній підкладці кремнію виконано статистичне оброблення кластерних зображень. Останні одержували методом умовного горизонтального зрізу плів- ки на певній висоті (рис. 3, 4). Опрацювання цифрових мікроскопі- чних зображень виконано за допомогою прикладної програми, на- писаної мовою Matlab, яка використовує алґоритм вододілу для се- ґментації цифрових зображень. Числове оброблення даних по кластерах виконано з використан- ням алґоритму Хошена—Копельмана [1]. Внаслідок його виконання одержано матрицю такого ж розміру, як і вихідне зображення: в ній елементи, які не відповідають кластерам, є нульовими. Кожно- му окремому кластеру відповідає область, в якій всі елементи мат- риці однакові та рівні порядкового номера кластера. Відстань до найближчого сусіда (ВНС) вимірювали як найменшу Рис. 3. Загальний вигляд наноутворень на поверхнях плівки міді з товщи- нами: 1 – 25 нм, 2 – 50 нм, 3 – 100 нм, 4 – 200 нм (а); б – гістограми статистичного розподілу наноструктур за радіюсами (r), висотами (h) та відстані між ними (d). Fig. 3. General view of nanoformations on the surfaces of copper film with thicknesses: 1–25 nm, 2–50 nm, 3–100 nm, 4–200 nm (a); the histograms with statistical distributions of nanostructures on radius (r), height (h), and distance between them (d) (б). АСМ-ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХНІ МЕТАЛІЧНИХ КОНДЕНСАТІВ НА КРЕМНІЇ 1449 відстань від центра поточного кластера до центра іншого кластера, а координати центра кластера розраховували за формулами: 1 1 , N c i i x x N    1 1 , N c i i y y N    де підсумовування здійснено за всіма пікселями, які складають кластер, N – кількість пікселів у кластері, xi, yi – координати пік- селя в кластері. Результати такого оброблення для всіх досліджуваних плівок на- ведено у вигляді гістограм (див. рис. 3, 4) та в зведеній таблиці ста- тистичного оброблення параметрів наноутворень (табл. 1). Кількісне порівняння статистичного оброблення різних металіч- них плівок дає підставу зробити певні висновки. Виконаємо, зок- Рис. 4. Загальний вигляд наноутворень на поверхнях плівок хрому з тов- щинами: 1 – 25 нм, 2 – 50 нм, 3 – 100 нм (а); б – гістограми статистично- го розподілу наноструктур за радіюсами (r), висотами (h) та відстані між ними (d). Fig. 4. General view of nanoformations on the chromium films surfaces with thicknesses: 1–25 nm, 2–50 nm, 3–100 nm (а); the histograms with statisti- cal distributions of nanostructures on radius (r), height (h) and distance be- tween them (d) (б). 1450 Б. П. КОМАН, І. М. РОВЕЦЬКИЙ, В. М. ЮЗЕВИЧ рема, таке порівняння за першим параметром – радіюсом класте- рів. Як випливає з гістограм (рис. 3), радіюс наноутворень у плівках міді знаходиться в діяпазоні 5—25 нм, причому змінюється непере- рвно зі зміною товщини плівки. Розподіл кількости (N) кластерів за їхнім радіюсом зазнає деяких змін лише для плівок з товщинами d3 і d4 в діяпазоні радіюсів 15—25 нм. Середній радіюс кластерів змі- нюється залежно від товщини плівки не сильно і набуває най- меншого значення за максимальної товщини плівки (зразок 4). Ма- ксимального значення (4 нм) середній радіюс досягає в зразку 1 за мінімальної товщини плівки (d1). Конденсати Al за малих товщин (d2) мають також розкид за радіюсом кластерів до 25 нм, однак при значно більших величинах самого радіюса. Зі збільшенням товщи- ни плівки радіюс кластерів спочатку зростає до 60 нм (d3), а потім дещо зменшується (d4). Суттєвою також є відмінність у кількості (N) виявлених наноутворень. Середній радіюс кластера в плівках досліджуваних товщин змінюється в межах 12—30 нм, що значно відрізняє їх за цим параметром від плівок Cu. Максимальна висота кластерів залежно від товщини лежить у широкому інтервалі 2,4— 15 нм і досягає найбільшого значення для великих товщин. Знач- ною відмінністю за радіюсом кластерів вирізняються гістограми для плівок Cr. Насамперед діяпазон їхніх радіюсів є значно біль- шим, ніж у плівках Cu та Al та досягає для d1 – 0—350 нм, d2 – 58— 130 нм, d3 – 0—200 нм. У кількісному співвідношенні радіюсів пе- реважної величини є також істотні відмінності. Наприклад, для r  120 нм зразок 1 має відтворюваність N  38, зразок 2 – N  1, зразок 3 – N  5. Середній радіюс кластерів набуває найбільшого значення (135 нм) в плівках мінімальної товщини. Максимальна висота такого наноутворення сягає 25 нм і формується, на відміну від плівок міді, в товстіших структурах (d3). Ці дані засвідчують значну мікроморфологічну відмінність плівок Cr у порівнянні з Cu та Al, що підтверджується 3D-діяграмами та відповідними профі- лограмами цих зразків. З гістограм розподілів за висотою бачимо, що плівки міді за міні- мальної товщини мають значний діяпазон розкиду наноутворень щодо цього параметра 0—4 нм, однак з наростанням товщини плів- ки цей розкид зменшується 1,5—2 нм. При цьому число окремих «викидів» може бути достатньо великим (N  50). У плівках Al ви- сота нанокластерів змінюється в інших межах 0—2,5 нм, однак у зразках з більшою товщиною висота кластерів може досягати 15 нм. Частота появи певної висоти кластера суттєво залежить від то- вщини плівки. Плівки Cr і за цим параметром є суттєво відмінними від описаних аналогічних об’єктів Cu та Al, хоча за статистичним розподілом h вони значною мірою подібні до плівок Al. Аномальною властивістю є наявність «від’ємних нанокластерів», відображених на зразку 2, причому глибина таких нанопор лежить в інтервалі АСМ-ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХНІ МЕТАЛІЧНИХ КОНДЕНСАТІВ НА КРЕМНІЇ 1451 7,8—10,5 нм. Зі збільшенням товщини (d3) «від’ємні нанокластери» зникають і виникають звичайні нанооб’єкти з радіюсом 1—25 нм. Статистичні дослідження середньої відстані між досліджувани- ми кластерами засвідчують, що у плівках Cu ця відстань з найбіль- шою імовірністю може сягати величини 40—60 нм, проте найбільше диференційована в плівках мінімальної товщини (d1). Найбільший розкид цього параметра спостерігаємо за товщини плівки d2, він лежить у межах 20—90 нм. Загалом зі зміною товщини в цих межах середнє значення цього параметра змінюється незначним чином – 51—56 нм. У плівках Al цей параметер має ще більший статистич- ний розкид і може набувати більшого значення, ніж у плівках Cu (до 170 нм, зразок 3), проте його середнє значення співмірне з попе- реднім значенням і лежить у межах 52—90 нм. Плівки Cr демон- струють значний розкид значень середньої відстані між наноклас- терами та відрізняються від попередніх (Cu, Al) тим, що цей пара- метр може сягати значно більшого значення – до 1300 нм (зразок 1). Середнє значення відстані між найближчими кластерами в ме- жах досліджуваних товщин суттєво зростає – 496—747 нм. Детальніші статистичні дані щодо досліджуваних плівок наведено ТАБЛИЦЯ 1. Числові параметри наноструктур у металічних плівках на кремнії за результатами статистичного оброблення: n – кількість класте- рів, rmax – максимальний радіюс кластера, rc – середній радіюс кластера, hmax – максимальна висота кластера, hc – середня висота кластера, СВНС – середня відстань до найближчого сусіда та шерсткість. TABLE 1. Numerical parameters for nanostructures in metal films on silicon, which are based on the results of statistical processing: n–the number of clusters, rmax–the maximum radius of the cluster, rc–average radius of the cluster, hmax–maximum height of the cluster, hc–the average height of the cluster, ADNN–average distance to the nearest neighbour, and roughness. Статистичні параметри Тип плівки, номер зразка n rmax, нм rc, нм hmax, нм hc, нм СВНС, нм Шерсткість Мідь, 1 Мідь, 2 Мідь, 3 Мідь, 4 231 183 206 204 25 25 29 26 14 14 15 12 4,0 1,4 1,4 2,0 1,5 0,5 0,5 0,7 51 56 54 52 1,0 0,3 0,3 0,4 Алюміній, 2 Алюміній, 3 Алюміній, 4 1,91010 0,71010 1,11010 24 62 54 12 30 20 2,4 15,0 15,0 1,0 3,0 4,4 52 90 73 0,5 2,2 3,1 Хром, 1 Хром, 2 Хром, 3 1,0108 1,5108 3,7108 338 129 196 135 87 90 4,5 11,0 25,0 2,5 9,0 13,5 747 496 409 1,0 2,0 5,5 1452 Б. П. КОМАН, І. М. РОВЕЦЬКИЙ, В. М. ЮЗЕВИЧ в табл. 1. Аномально висока шерсткість спостерігається в плівках Cr – 5,5 нм, в плівках Cu ця величина становить всього 0,3—0,4 мкм. Отже, загалом морфологія досліджуваних плівок на підкладці кремнію визначатиметься особливостями міжфазової взаємодії в сис- темі «конденсат—підкладка» та кінетикою процесів термалізації плі- вкотвірних частинок, зокрема відмінностями кінетики дисипації енергії молекулярного пучка конкретного металу за його переходу з різко нерівноважного стану на підкладці в певний метастабільний плівковий. Процеси міжфазової взаємодії кількісно характеризують- ся енергетичними та адгезійними параметрами: міжфазовою енергі- єю m,, міжфазовим натягом m, роботою адгезії Аad. та енергією адге- зійних зв’язків ad. у системі «метал—кремній». Тому досліджувані системи доцільно проаналізувати саме з цієї позиції. 3. МЕТОДИКА РОЗРАХУНКІВ ЕНЕРГЕТИЧНИХ ПАРАМЕТРІВ МІЖФАЗОВОЇ ВЗАЄМОДІЇ З цією метою використаємо макроскопічний підхід, в основі якого лежать співвідношення нерівноважної термодинаміки та фізики поверхні твердого тіла. Розглянемо систему рівнянь та крайових умов для опису змін енергетичних параметрів (h, ), які характери- зують термодинамічний стан системи контактних тіл [2, 3]. Співвідношення для термодинамічної моделі поверхневого шару в області металу (x  0) (квазістатична ситуація) можуть бути пред- ставлені в Декартових координатах x, y, z (вісь x перпендикулярна до поверхні поділу) у вигляді [2, 3]:    ˆDiv E 0 , 0 /C     , (1) 2 0 0 , const, 2 x x                при x  0, (2)   2 /3 ( ) 2ij t c ij ijK G e K T K c Ge            , (3) ( ) V t c C T Ke c             , (4) 0 / , , c c t c c d c d T Ke T T T             (5) 0 , , , h h y y z e d dx           (6) 0 ( ) 0, /e d k C k k             , (7) y  p  0 (для x  h) (p  100 кПа – атмосферний тиск). (8) АСМ-ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХНІ МЕТАЛІЧНИХ КОНДЕНСАТІВ НА КРЕМНІЇ 1453 Тут , h – відповідно поверхнева енергія (ПЕ) і поверхневий натяг у випадку контактування металу з інертним газовим середовищем (повітрям), тиск в якому p  100 кПа, 0 h e e w dx   – електрична складова поверхневої енергії , 0 h d d w dx   – механічна складова ПЕ, 2 0 2 e w x       і 2 ( 4 ) (1 ) 2 x x y y d w E E          – густини елект- ричної та механічної складових ПЕ, h – ефективна товщина повер- хневого шару, ij eij – компоненти тензорів механічних напружень ̂ і деформацій ê (i, j  1, 2, 3) відповідно, 11  xx  x, 22  yy  y, c, c – хемічний потенціял і концентрація домішки, ij – Кронеке- рові символи, e – перший інваріянт тензора деформацій,  – пи- тома густина матеріялу, v,  – об’ємна і масова густини електри- чного заряду відповідно,     0 – відхил модифікованого хемі- чного потенціялу  електричних зарядів від його рівноважного значення 0 в об’ємі тіла на відстані x  30 нм від поверхні (  Me/ze, Me – хемічний потенціял електрона провідности мета- лу, ze – електричний заряд одиниці маси електронів провідности ([Me]  Дж/кг, [ze]  Кл/кг, []  В)),  – скалярний потенціял на- пружености електричного поля ([]  В),     0 – відхил потен- ціялу  від його рівноважного значення 0, grad   E – на- пруженість електричного поля, T  T  T0 – зміна температури, K, G – модулі об’ємного стиску та зсуву, E і  – модуль Юнґа і Пуас- сонів коефіцієнт, C – питома електромісткість, k – величина, обернена до відстані, на якій об’ємний заряд у поверхневому шарі змінюється в е разів,  – електрострикційний коефіцієнт об’ємного розширення,  – коефіцієнт (безрозмірний), який характеризує зміну поверхневої енергії  при зміні її механічної складової d, як- що одночасно електрична складова e залишається незмінною const (( / ) ) e d       , t, с, t, с, dс, dt – фізичні характеристики ма- теріялу (металу), які входять у рівняння стану (4), (5) і в (6) [3]. Для більш адекватної відповідности моделю (1)—(8) сучасним фі- зичним уявленням, врахуємо зміщення Zb подвійного електричного шару щодо межі твердого тіла, використовуючи відоме рівняння [4]:           F F F F 5 3 53 1 arcsin ; 4 2 3 3 5 3 v F v b v E E E Z k E E E E (9) EF – енергія Фермі, Ev – робота виходу електрона провідности з 1454 Б. П. КОМАН, І. М. РОВЕЦЬКИЙ, В. М. ЮЗЕВИЧ металу, kF – хвильовий вектор Фермі. Якщо в рівняннях (6)—(8) (при врахуванні (1)—(5), (9)) задати  і h (ПЕ і натяг), то одержуємо систему 4-х рівнянь імітаційного моде- лювання для визначення фізичних , k,  і геометричної h характе- ристик поверхневого шару для металу, який знаходиться в інерт- ному газовому середовищі (повітрі) при тиску p  100 кПа. Викори- стовуючи одержані значення k, знаходимо C і 0 за допомогою співвідношень (7), (9) [4]:   2 0 0 0 2 0 , 2 exp( ) , 2 e b k q W C kZ k          (10) де We – об’ємна густина електронів провідности металу далеко від поверхні (на відстані більше 30 нм) ([We]  1/м3). Значення поверхневого натягу h визначають експериментально, і для більшости металів їх наведено в роботі [5]. Значення поверх- невої енергії  металів визначають експериментально та теоретич- но. Серед теоретичних робіт слід відмітити часткові результати, одержані для низки металів з використанням методу функціоналу густини [6—8]. Добру узгодженість з експериментом дає емпірична формула для  в [9]: 2 / R v C a E R a   , (11) де R – атомний радіюс, aR, aС – емпіричні константи (aR  7128, aС  110 Дж/м2). Зокрема, для металів aR  0,2755, aС  14,11 Дж/м2 та напівпровідників aR  0,01334, aС  2,1778 Дж/м2. Поверхневий натяг h і поверхнева енергія  зв’язані Херрінґо- вим співвідношенням [10]: ( ( / ) ) h R T K       . (12) Тут введено KR – множник для узгодження розмірности ( [ ] R K  2 /( )Nm mJ ), оскільки 2 [ ] / , [ ] / h N m J m    ,  – площа поверхні тіла, ( / ) T   – характеризує зміну поверхневої енергії в ході де- формації поверхневого шару при постійній температурі T. Виходячи з моделю, в якому міжфазовий шар складається з двох частин, міжфазову енергію m і міжфазовий натяг m на межі поділу підкладка—метал визначимо за допомогою співвідношень [2]: , , H m y y z H dx        (13) , , . H H m e m d e e d d H H w dx w dx              (14) АСМ-ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХНІ МЕТАЛІЧНИХ КОНДЕНСАТІВ НА КРЕМНІЇ 1455 Тут m – фізична характеристика міжфазового шару (безрозмірна) const (( / ) ), e m d m      2H – його ефективна товщина, e, d – елек- трична і механічна складові міжфазової енергії m аналогічно (6). Умову рівноваги міжфазового шару запишемо, за аналогією до умови рівноваги поверхневого шару [6, 7], у вигляді [2]: ( ) 0m e m d k k           . (15) Крайові співвідношення. Сформулюємо крайові умови для межі поділу середовищ «метал—напівпровідник» (при x  0), що відпові- дають подвійному електричному шару, сформованому з боку мета- лу вільними електронами провідности та з боку напівпровідника – зв’язаними електричними зарядами відповідно [2, 11]: 0 , , , , , e x xe y y x x z Z j j                   , , , , x x E E D D                u u (16) де , x y z       – нормальні та латеральні механічні напруження на поверхні поділу середовищ відповідно, u – переміщення, E  – дотична складова напружености електричного поля, , x x D P  – складові векторів індукції електричного поля та поляризації, які направлені за нормаллю (за віссю x) до межі поділу середовищ (x  0),  – густина поверхневих (надлишкових, нескомпенсова- них) зарядів, створених вільними електронами. Якщо поверхня ме- талу не заряджена зовні, то   0. Роботу адгезії Aad. та енергію адгезійних зв’язків ad. визначимо на основі відомих співвідношень [2]: Aad.  h  ph  m, ad.    p  m, (17) де ph, p – поверхневі натяги й енергія напівпровідника (кремнію, германію), що контактує з інертним газовим середовищем (повіт- рям). 4. РЕЗУЛЬТАТИ РОЗРАХУНКІВ Для чисельних розрахунків енергетичних параметрів міжфазового шару контактних систем використовували значення фізичних кон- стант елементів (модуля Юнґа E, Пуассонова коефіцієнта , повер- хневих натягів h та енергії , концентрації вільних електронів у металі або частинок зв’язаних зарядів q) наведені в [12—16]: E  154 ГПа,   0,34, q  8,381028 1/м 3, h  2,16 Н/м,   1,85 Дж/м2 (Cu); 1456 Б. П. КОМАН, І. М. РОВЕЦЬКИЙ, В. М. ЮЗЕВИЧ E  83 ГПа,   0,41, q  5,8371028 1/м 3, h  1,86 Н/м,   1,43 Дж/м2 (Au); E  70 ГПа,   0,34, q  5,7971028 1/м 3, h  1,39 Н/м,   1,276 Дж/м2 (Al); E  279 ГПа,   0,21, q  8,3271028 1/м 3, h  2,787 Н/м,   2,47 Дж/м2 (Cr); E  138 ГПа,   0,27, q  5,01028 1/м 3, h  1,829 Н/м,   1,623 Дж/м2 (Si). Вважаємо контакт у структурі «метал—напівпровідник» ідеаль- ним. Результати розрахунків для досліджуваних систем представ- лено в табл. 2. Одержані результати містять кількісну інформацію щодо особ- ливостей міжфазових та адгезійних взаємодій в системі «напівпро- відник—метал (Cr, Cu, Au, Al)». Характерним параметром для наве- дених систем на основі кремнію є значення ріжниці електронеґати- вностей взаємодійних матеріялів, що не перевищує 0,4. Останнє, згідно з Полінґовим критерієм [17], забезпечує формування в сис- темі «метал—напівпровідник» хемічного зв’язку з домінуванням ковалентної складової близько 90%. Відмінність у значеннях енер- гетичних параметрів міжфазової взаємодії осаджуваних металів свідчить про різні адгезійні здатності таких систем. Тому саме цей фактор в основному визначатиме відмінності в морфології осаджу- ТАБЛИЦЯ 2. Термодинамічні параметри взаємодії в системі «металічний конденсат—монокристалічна напівпровідникова підкладка (Si, Ge)» (Х – різниця електронеґативностей, m – міжфазова енергія, m – міжфазовий натяг, Aad. – робота адгезії, ad. – енергія адгезійних зв’язків, Qm – міжфа- зовий заряд). TABLE 2. The thermodynamical parameters of interaction in the ‘metallic condensate–monocrystalline semiconductor substrate (Si, Ge)’ system (Х– difference of electronegativities, m–interfacial energy, m–interfacial ten- sion, Aad–work of adhesion, ad–energy of adhesive bonds, Qm–interfacial charge). Система Х m, Дж/м2 m, Н/м Aad., Н/м ad., Дж/м2 . . . ad ad ad A Z   Qm, Кл/м2 Si—Cr (тв.) 0,34 0,31 0,75 3,09 2,72 1,13 0,126 Si—Cr (р.) 0,34 0,20 0,52 2,10 1,92 1,09 — Si—Cu (тв.) 0,14 0,27 0,61 2,88 2,90 0,99 0,123 Si—Cu (р.) 0,14 0,18 0,41 1,88 1,90 0,99 — Si—Au (тв.) 0,38 0,12 0,37 2,84 2,24 1,27 0,093 Si—Au (р.) 0,38 0,76 0,25 1,92 1,82 1,05 — Si—Al (тв.) 0,33 0,08 0,10 2,24 2,15 1,08 0,099 Si—Al (р.) 0,33 0,05 0,07 1,62 1,70 0,95 — АСМ-ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХНІ МЕТАЛІЧНИХ КОНДЕНСАТІВ НА КРЕМНІЇ 1457 ваних металічних конденсатів на фоні самоорганізовної дії підкла- дки Si, що й спостерігається за результатами АСМ-мікроскопії (рис. 1—2). Визначальним фактором, як свідчать дані табл. 2, є стрибок параметрів міжфазової взаємодії m,, m, Aad. i ad. для фазового пере- ходу першого роду, зокрема, в нашому випадку: розтоп Cu— підкладка (Si)  тв. ф. (Cu)—підкладка (Si). Такий стрибок наявний для всіх конденсованих металів і свідчить про зміну альтернатив- ного механізму міжфазової взаємодії в динамічному переході сис- теми «конденсат—підкладка» при переході нанодисперсної рідин- нофазової системи до острівцевої. Для порівняння розглянемо енергетичні та адгезійні параметри систем на основі Ge, близького за фізичними властивостями до Si, який має більшу електронеґативність (ХGe  2,01). Останній чинник задає для обраних металів значення ріжниці електронеґативностей ХGeMe  0,4 (крім Cu), що забезпечує домінування в міжфазовому шарі контактних систем йонно-ковалентного типу зв’язку. В таб- лиці 2 наведено термодинамічні та адгезійні параметри досліджу- ваних систем на основі Ge. З цих результатів випливає, що такі сис- теми не мають суттєвих відмінностей в поведінці параметрів, в по- рівнянні з аналогічними параметрами для систем «Si—Мe», хоча має місце відмінність абсолютних величин. Ймовірною причиною такої ситуації є порівняно незначний внесок іонної складової в мі- жфазову взаємодію таких контактних систем. Однак міжфазова енергія для такої низки металів зменшується аналогічно як для си- стем на основі Si, проте вдвічі перевищує ці значення для Si—Cr, Si— Al. Подібну тенденцію виявляють міжфазовий натяг і робота адге- зії. Енергія адгезійних зв’язків ad. у системах на основі Si більша, ніж на основі Ge. Імовірно, що в контактних системах з домінуван- ням ковалентного зв’язку слід очікувати кращої адгезії. Міжфазо- вий заряд Qm (заряд обкладинки подвійного електричного шару) в системах «Ge—Мe» також не зазнає істотних змін. Отже, в системах «Si—Мe» при аналізі міжфазових взаємодій най- чутливішим параметром з обговорюваних вище є міжфазова енер- гія. Загальним є факт постійности в досліджуваних системах між- фазового заряду Qm, що цілком зрозуміло з погляду електронної структури ковалентного зв’язку, сформованого в міжфазовому ша- рі. З цієї позиції спостережувані самоорганізовні процеси для Ост- вальдового достигання конденсованої металічної плівки [2, 18] є такими, що відбуваються, очевидно, не в осаджуваній плівці, як це реалізується при молекулярно-променевій епітаксії типу «напівп- ровідник—напівпровідник» шляхом створення певних просторово- періодичних структур на поверхні підкладки, а реконструкцією по- верхні кремнію під впливом осаджуваного металу з Х  0,4. Спра- ведливість цього припущення підтверджується великою схильніс- 1458 Б. П. КОМАН, І. М. РОВЕЦЬКИЙ, В. М. ЮЗЕВИЧ тю вільних поверхонь кремнію (зокрема (111)) до таких процесів: на сьогодні виявлено близько 300 типів реконструйованих повер- хонь [19]. У подальшому в ході осадження саме така реконструйована по- верхня забезпечуватиме близькі реологічні властивості конденсо- ваних металічних крапель і відповідні умови термалізації молеку- лярного пучка осаджуваних металів (Cr, Cu, Au, Al) на поверхні кремнію. 5. ВИСНОВКИ 1. За даними АСМ-досліджень з’ясовано, що досліджуваним кон- денсатам (Cu, Al, Cr) на підкладках монокристалічного кремнію притаманні стохастична структура та ієрархія ґранулярности. Встановлено, що морфологія досліджуваних конденсатів (Cu, Al, Cr) характеризується нанопірамідальними стовпчастими наноутво- реннями діяметром 20—40 нм і 10—15 нм висотою та з ознаками фо- рмування плівок за механізмом Фольмера—Вебера. В плівках хрому (d  50 нм) наявні характерні циліндричні нанопори діяметром у своїй основі близько 4 нм, розташовані одна від одної на відстані приблизно 2 нм. 2. На основі кластерного статистичного аналізу поверхні конденса- тів (Cu, Al, Cr) з використанням алґоритму Хошена—Копельмана виконано кількісне порівняння характерних геометричних пара- метрів кластерних наноутворень за параметрами: кількість класте- рів, максимальний радіюс кластера, середній радіюс кластера, мак- симальна висота кластера, середня висота кластера, середня відс- тань до найближчого сусіда. В плівках Cr виявлено «від’ємні нано- кластери» глибиною 7,8—10,5 нм. Аномально висока шерсткість простежується в плівках Cr – 5,5 нм, в конденсатах Cu ця величи- на не перевищує 0,3—0,4 мкм. 3. Із застосуванням макроскопічного підходу, в основі якого лежать співвідношення нерівноважної термодинаміки та фізики поверхні твердого тіла, розраховано енергетичні параметри міжфазової вза- ємодії в системі «метал—напівпровідник». Для досліджених кон- денсатів виявлено стрибок параметрів: енергії міжфазової взаємо- дії, міжфазового натягу, енергії адгезійних зв’язків та роботи адге- зії на підкладці монокристалічного кремнію за фазового переходу першого роду, зокрема: розтоп (Cu)—підкладка (Si)  тв. ф. (Cu)— підкладка (Si). 4. Відмінність у значеннях енергетичних параметрів міжфазової взаємодії металічних конденсатів (Cu, Al, Cr) зумовлюватиме їхні різні адгезійні здатності на кремнії. Вважається, що саме цей фак- тор в основному і визначає особливості морфології осаджуваних ме- талічних конденсатів на фоні самоорганізовної дії підкладки Si. АСМ-ДОСЛІДЖЕННЯ ПОВЕРХНІ МЕТАЛІЧНИХ КОНДЕНСАТІВ НА КРЕМНІЇ 1459 ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. J. Hoshen and R. Kopelman, Phys. Rev. B, 14, No. 8: 3438 (1976). 2. В. М. Юзевич, Б. П. Коман, Металлофиз. новейшие технол., 25, № 6: 747 (2003). 3. В. Н. Юзевич, Поверхность. Физика, химия, механика, 9: 135 (1988). 4. Д. Хориути, Т. Тоя, Хемосорбция водорода (Поверхностные свойства твёр- дых тел) (Москва: Мир: 1972). 5. N. Eustathopoulus and J.-C. Joud, Curr. Top. Mater. Sci., 4: 281 (1980). 6. N. D. Lang and W. Kohn, Phys. Rev. B, 1: 4555 (1970). 7. М. Б. Партенский, Успехи физических наук, 128, № 1: 69 (1979). 8. К. А. Бынков, В. С. Ким, В. М. Кузнецов, Поверхностная энергия ГЦК- металлов (Томск: 1989) (Препр./СО АН СССР, Томск. науч. центр, № 48, 1989). 9. М. В. Мусохранов, Технологическое обеспечение качества поверхностного слоя направляющих элементов машиностроения (Автореф. дис. … канд. техн. наук) (Москва: Институт металлургии АН РФ: 2006). 10. C. Herring, Surface Tension as a Motivation for Sintering, in Physics of Powder Metallurgy (Еd. W. E. Kingston) (New York: McGraw-Hill: 1951). 11. В. Н. Юзевич, Термодинамика необратимых процессов (Москва: Наука: 1992), с. 163. 12. M. Alden, S. Mirbt, H. L. Skriver, N. M. Rosengaard, and B. Johansson, Phys. Rev. B, 46, No. 10: 6303 (1992). 13. R. J. Jaccodine, J. Electrochem. Soc., 110, No. 6: 524 (1963). 14. Таблицы физических величин: Справочник (Москва: Атомиздат: 1972). 15. Ч. Киттель, Введение в физику твердого тела (Москва: Наука: 1978). 16. W. B. Chung, K. Nogi, W. A. Miller, and A. McLean, Mater. Trans. JIM, 33: 753 (1992). 17. Л. Паулинг, Природа химической связи (Москва—Ленинград: Госхимиздат: 1947). 18. Б. П. Коман, В. Н. Юзевич, Физика твёрдого тела, 54, вып. 7: 1335 (2012). 19. А. А. Алексеев, Труды Института общей физики имени А. М. Прохорова, 66: 156 (2010). REFERENCES 1. J. Hoshen and R. Kopelman, Phys. Rev. B, 14, No. 8: 3438 (1976). 2. V. M. Yuzevych and B. P. Koman, Metallofiz. Noveishie Technol., 25, No. 6: 747 (2003) (in Ukrainian). 3. V. M. Yuzevich, Poverkhnost’. Fizika, Khimiya, Mekhanika [Surface. Physics, Chemistry, Mechanics], 9: 135 (1988) (in Russian). 4. J. Horiuti and T. Toya, Chemisorbed Hydrogen (Surface Properties of Solids) (Moscow: Mir: 1972) (Russian translation). 5. N. Eustathopoulus and J.-C. Joud, Curr. Top. Mater. Sci., 4: 281 (1980). 6. N. D. Lang and W. Kohn, Phys. Rev. B, 1: 4555 (1970). 7. M. B. Partenskii, Uspekhi Fizicheskikh Nauk, 128: 69 (1979) (in Russian). 8. K. A. Bynkov, V. S. Kim, and V. M. Kuznetsov, Poverkhnostnaya Energiya GTsK-Metallov (Tomsk: 1989) (Prepr./SO AN SSSR, Tomsk. Nauch. Tsentr, 1460 Б. П. КОМАН, І. М. РОВЕЦЬКИЙ, В. М. ЮЗЕВИЧ No. 48, 1989) (in Russian). 9. M. V. Musokhranov, Tekhnologicheskoe Obespechenie Kachestva Poverkhnostnogo Sloya Napravlyayushchikh Elementov Mashinostroeniya (Autoref. Dis. ... Cand. Techn. Sci.) (Moscow: Metallurgy Institute AN RF: 2006) (in Russian). 10. C. Herring, Surface Tension as a Motivation for Sintering, in Physics of Powder Metallurgy (Еd. W. E. Kingston) (New York: McGraw-Hill: 1951). 11. V. M. Yuzevich, Termodinamika Neobratimykh Protsessov (Moscow: Nauka: 1992), p. 163 (in Russian). 12. M. Alden, S. Mirbt, H. L. Skriver, N. M. Rosengaard, and B. Johansson, Phys. Rev. B, 46, No. 10: 6303 (1992). 13. R. J. Jaccodine, J. Electrochem. Soc., 110, No. 6: 524 (1963). 14. Tablitsy Fizicheskikh Velichin: Spravochnik (Moscow: Atomizdat: 1972) (in Russian). 15. Ch. Kittel, Vvedenie v Fiziku Tverdogo Tela [Introduction to Solid State Phys- ics] (Moscow: Nauka: 1978) (Russian translation). 16. W. B. Chung, K. Nogi, W. A. Miller, and A. McLean, Mater. Trans. JIM, 33: 753 (1992). 17. L. Pauling, Priroda Khimicheskoy Svyazi [The Nature of the Chemical Bond] (Moscow—Leningrad: Goskhimizdat: 1947) (Russian translation). 18. B. P. Koman and V. N. Yuzevich, Fizika Tverdogo Tela, 54, Iss. 7: 1335 (2012) (in Russian). 19. A. A. Alekseev, Trudy Instituta Obshchey Fiziki Imeni A. M. Prokhorova, 66: 156 (2010) (in Russian). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <FEFF004b0069007600e1006c00f30020006d0069006e0151007300e9006701710020006e0079006f006d00640061006900200065006c0151006b00e90073007a00ed007401510020006e0079006f006d00740061007400e100730068006f007a0020006c006500670069006e006b00e1006200620020006d0065006700660065006c0065006c0151002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b0061007400200065007a0065006b006b0065006c0020006100200062006500e1006c006c00ed007400e10073006f006b006b0061006c0020006b00e90073007a00ed0074006800650074002e0020002000410020006c00e90074007200650068006f007a006f00740074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b00200061007a0020004100630072006f006200610074002000e9007300200061007a002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020007600610067007900200061007a002000610074007400f3006c0020006b00e9007301510062006200690020007600650072007a006900f3006b006b0061006c0020006e00790069007400680061007400f3006b0020006d00650067002e> /ITA <FEFF005500740069006c0069007a007a006100720065002000710075006500730074006500200069006d0070006f007300740061007a0069006f006e00690020007000650072002000630072006500610072006500200064006f00630075006d0065006e00740069002000410064006f00620065002000500044004600200070006900f900200061006400610074007400690020006100200075006e00610020007000720065007300740061006d0070006100200064006900200061006c007400610020007100750061006c0069007400e0002e0020004900200064006f00630075006d0065006e007400690020005000440046002000630072006500610074006900200070006f00730073006f006e006f0020006500730073006500720065002000610070006500720074006900200063006f006e0020004100630072006f00620061007400200065002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065002000760065007200730069006f006e006900200073007500630063006500730073006900760065002e> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <FEFF0049007a006d0061006e0074006f006a00690065007400200161006f00730020006900650073007400610074012b006a0075006d00750073002c0020006c0061006900200076006500690064006f00740075002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b006100730020006900720020012b00700061016100690020007000690065006d01130072006f00740069002000610075006700730074006100730020006b00760061006c0069007401010074006500730020007000690072006d007300690065007300700069006501610061006e006100730020006400720075006b00610069002e00200049007a0076006500690064006f006a006900650074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b006f002000760061007200200061007400760113007200740020006100720020004100630072006f00620061007400200075006e002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020006b0101002000610072012b00200074006f0020006a00610075006e0101006b0101006d002000760065007200730069006a0101006d002e> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Репозитарії

Схожі ресурси