Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния - Коломиец, В.Н.; Кононенко, И.Н.; Кравченко, С.Н.; Захарец, М.И.; Сторижко, В.Е.; Возный, В.И.; Бугай, А.Н.; Девизенко, А.Ю. (Металлофизика и новейшие технологии, 2016)
Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия.