Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню

Вивчено закономірності структуроутворення надтонких плівок срібла на відколах KCl, а також на відколах KCl, покритих шаром полімеру PC403 або ma-N405. Виявлено ефект, еквівалентний зниженню порогу перколяції. Він є наслідком використання методики осадження, при якій на поверхню підложжя безпосереднь...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2016
Автори:	Космінська, Ю.О., Перекрестов, В.І., Загайко, І.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2016
Назва видання:	Металлофизика и новейшие технологии
Теми:	Металлические поверхности и плёнки
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112603
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню / Ю. О. Космінська, В. І. Перекрестов, І. В. Загайко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 8. — С. 1103-1116. — Бібліогр.: 30 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-112603
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1126032017-01-24T03:02:30Z Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню Космінська, Ю.О. Перекрестов, В.І. Загайко, І.В. Металлические поверхности и плёнки Вивчено закономірності структуроутворення надтонких плівок срібла на відколах KCl, а також на відколах KCl, покритих шаром полімеру PC403 або ma-N405. Виявлено ефект, еквівалентний зниженню порогу перколяції. Він є наслідком використання методики осадження, при якій на поверхню підложжя безпосередньо діє низькотемпературна плазма та пари конденсуються за умов, близьких до термодинамічної рівноваги. На основі досліджень за допомогою просвітлювальної електронної мікроскопії й електронної дифракції встановлено, що зародження плівки срібла відбувається у вигляді формування надтонкого аморфного шару, а при подальшому нарощуванні плівки стається поступовий перехід у полікристалічний стан або зародження та ріст незв’язаних один з одним об’ємних кристалів. Изучены закономерности структурообразования сверхтонких плёнок серебра на сколах KCl, а также сколах KCl, покрытых полимером PC403 или ma-N405. Обнаружен эффект, эквивалентный снижению порога перколяции. Он является следствием использования методики осаждения, при которой на поверхность подложки непосредственно воздействует низкотемпературная плазма и пары конденсируются в условиях, близких к термодинамическому равновесию. На основании изучения конденсатов в ПЭМ и при помощи дифракции электронов установлено, что зарождение плёнки происходит в виде сверхтонкого сплошного аморфного слоя, а по мере дальнейшего наращивания конденсата наблюдается постепенный переход в кристаллическое состояние или зарождение и рост несвязанных друг с другом объёмных кристаллов. Regularities of structure formation of ultrathin silver films are studied for several types of substrates such as KCl cleaved facets and KCl cleaved facets covered with polymer layer of PC403 or ma-N405. An effect equivalent to percolation threshold decrease is observed. It is a consequence of using the deposition technique, at which low-temperature plasma acts directly onto growth surface and vapours are condensed under conditions close to thermodynamical equilibrium. Based on transmission electron microscopy and electron diffraction studies, it is found that origination of film occurs through formation of ultrathin amorphous layer followed by gradual transition of it to polycrystalline state or to initiation and growth unconnected bulk crystals during subsequent deposition. 2016 Article Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню / Ю. О. Космінська, В. І. Перекрестов, І. В. Загайко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 8. — С. 1103-1116. — Бібліогр.: 30 назв. — укр. 1024-1809 DOI: 10.15407/mfint.38.08.1103 PACS: 61.72.Ff, 64.60.ah, 68.37.Lp, 68.43.Mn, 68.47.De, 68.55.A-, 68.55.J-, 81.15.Cd http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112603 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Ukrainian
topic	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки
spellingShingle	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки Космінська, Ю.О. Перекрестов, В.І. Загайко, І.В. Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню Металлофизика и новейшие технологии
description	Вивчено закономірності структуроутворення надтонких плівок срібла на відколах KCl, а також на відколах KCl, покритих шаром полімеру PC403 або ma-N405. Виявлено ефект, еквівалентний зниженню порогу перколяції. Він є наслідком використання методики осадження, при якій на поверхню підложжя безпосередньо діє низькотемпературна плазма та пари конденсуються за умов, близьких до термодинамічної рівноваги. На основі досліджень за допомогою просвітлювальної електронної мікроскопії й електронної дифракції встановлено, що зародження плівки срібла відбувається у вигляді формування надтонкого аморфного шару, а при подальшому нарощуванні плівки стається поступовий перехід у полікристалічний стан або зародження та ріст незв’язаних один з одним об’ємних кристалів.
format	Article
author	Космінська, Ю.О. Перекрестов, В.І. Загайко, І.В.
author_facet	Космінська, Ю.О. Перекрестов, В.І. Загайко, І.В.
author_sort	Космінська, Ю.О.
title	Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню
title_short	Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню
title_full	Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню
title_fullStr	Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню
title_full_unstemmed	Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню
title_sort	ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2016
topic_facet	Металлические поверхности и плёнки
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112603
citation_txt	Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню / Ю. О. Космінська, В. І. Перекрестов, І. В. Загайко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 8. — С. 1103-1116. — Бібліогр.: 30 назв. — укр.
series	Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv	AT kosmínsʹkaûo efektznižennâporoguperkolâcííunadtonkihplívkahsríblaprikvazirívnovažníjkondensacíítadííplazminarostovupoverhnû AT perekrestovví efektznižennâporoguperkolâcííunadtonkihplívkahsríblaprikvazirívnovažníjkondensacíítadííplazminarostovupoverhnû AT zagajkoív efektznižennâporoguperkolâcííunadtonkihplívkahsríblaprikvazirívnovažníjkondensacíítadííplazminarostovupoverhnû
first_indexed	2025-07-08T04:16:32Z
last_indexed	2025-07-08T04:16:32Z
_version_	1837050830634614784
fulltext	1103 PACS numbers:61.72.Ff, 64.60.ah,68.37.Lp,68.43.Mn,68.47.De,68.55.A-,68.55.J-, 81.15.Cd Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню Ю. О. Космінська, В. І. Перекрестов, І. В. Загайко  Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна Вивчено закономірності структуроутворення надтонких плівок срібла на відколах KCl, а також на відколах KCl, покритих шаром полімеру PC403 або ma-N405. Виявлено ефект, еквівалентний зниженню порогу перколя- ції. Він є наслідком використання методики осадження, при якій на по- верхню підложжя безпосередньо діє низькотемпературна плазма та пари конденсуються за умов, близьких до термодинамічної рівноваги. На осно- ві досліджень за допомогою просвітлювальної електронної мікроскопії й електронної дифракції встановлено, що зародження плівки срібла відбу- вається у вигляді формування надтонкого аморфного шару, а при пода- льшому нарощуванні плівки стається поступовий перехід у полікристалі- чний стан або зародження та ріст незв’язаних один з одним об’ємних кри- сталів. Ключові слова: плівка срібла, перколяція, нуклеація, аморфна фаза, ма- гнетронне розпорошення, плазма. Изучены закономерности структурообразования сверхтонких плёнок се- ребра на сколах KCl, а также сколах KCl, покрытых полимером PC403 или ma-N405. Обнаружен эффект, эквивалентный снижению порога пер- коляции. Он является следствием использования методики осаждения, при которой на поверхность подложки непосредственно воздействует Corresponding author: Yuliya Oleksandrivna Kosminska E-mail: y.kosminska@phe.sumdu.edu.ua Sumy State University, 2 Rymsky-Korsakov Str., 40007 Sumy, Ukraine Yu. O. Kosminska, V. I. Perekrestov, and I. V. Zagaiko, Effect of Decrease in a Threshold of Percolation in Ultrathin Films of Silver at Quasi-Equilibrium Condensation and Action of Plasma on a Growth Surface, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 38, No. 8: 1103—1116 (2016) (in Ukrainian), DOI: 10.15407/mfint.38.08.1103. Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2016, т. 38, № 8, сс. 1103—1116 / DOI: 10.15407/mfint.38.08.1103 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2016 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 1104 Ю. О. КОСМІНСЬКА, В. І. ПЕРЕКРЕСТОВ, І. В. ЗАГАЙКО низкотемпературная плазма и пары конденсируются в условиях, близких к термодинамическому равновесию. На основании изучения конденсатов в ПЭМ и при помощи дифракции электронов установлено, что зарождение плёнки происходит в виде сверхтонкого сплошного аморфного слоя, а по мере дальнейшего наращивания конденсата наблюдается постепенный переход в кристаллическое состояние или зарождение и рост несвязанных друг с другом объёмных кристаллов. Ключевые слова: плёнки серебра, перколяция, нуклеация, аморфная фа- за, магнетронное распыление, плазма. Regularities of structure formation of ultrathin silver films are studied for several types of substrates such as KCl cleaved facets and KCl cleaved facets covered with polymer layer of PC403 or ma-N405. An effect equivalent to percolation threshold decrease is observed. It is a consequence of using the deposition technique, at which low-temperature plasma acts directly onto growth surface and vapours are condensed under conditions close to thermo- dynamical equilibrium. Based on transmission electron microscopy and elec- tron diffraction studies, it is found that origination of film occurs through formation of ultrathin amorphous layer followed by gradual transition of it to polycrystalline state or to initiation and growth unconnected bulk crystals during subsequent deposition. Key words: silver films, percolation, nucleation, amorphous phase, magne- tron sputtering, plasma. (Отримано 8 липня 2016 р.) 1. ВСТУП Розв’язання проблеми формування надтонких суцільних метале- вих плівок є важливою ланкою при створенні цілого ряду пристро- їв. Зокрема, такі плівки можуть бути використані в сонячних еле- ментах в якості прозорих провідних шарів як альтернатива ІТО і ТСО [1]. Крім цього надтонкі металеві шари застосовуються для по- силення поглинання сонячної енергії [2], а також для створення ме- таматеріялів, сенсорів та різноманітних функціональних елемен- тів, які працюють на основі плазмонного резонансу [3]. Для визна- чення властивостей надтонких суцільних металевих плівок, меха- нізмів та умов їх формування необхідне детальне вивчення почат- кового етапу росту плівок. Слід окремо відмітити, що це також ва- жливо для з’ясування механізмів, відповідальних за високу адге- зію плівок. Добре відомо, що початковий етап росту металевих плівок на діе- лектричних підложжях зазвичай відбувається у відповідності до умов Фольмера—Вебера [4, 5]. У випадку формування парових по- токів шляхом термічного випаровування металів у вакуумі енергія випаруваних атомів становить  0,1 еВ, що визначає такі основні ЕФЕКТ ЗНИЖЕННЯ ПОРОГУ ПЕРКОЛЯЦІЇ У НАДТОНКИХ ПЛІВКАХ Ag 1105 класичні етапи зародження і росту плівки: 1) утворення об’ємних надкритичних зародків-острівців; 2) коалесценція та зрощування острівців; 3) формування системи каналів у вигляді довгастих по- рожніх місць на підложжі; 4) вторинне зародкоутворення і зарос- тання каналів, які приводять до утворення суцільної неперервної плівки. В цьому випадку можна говорити про те, що товщина непе- рервної плівки сумірна висоті первинних надкритичних зародків. В якості критерію формування суцільної плівки може виступати по- ріг перколяції, або ефективна товщина плівки, при якій остання стає провідною. Наприклад, поріг перколяції для золота та срібла залежить від технологічних умов їх одержання, і мінімальне його значення складає 8—14 нм при осадженні термічно випаруваних атомів на скло за кімнатних температур [6], що не завжди є достат- ньо малим для розв’язання зазначених вище задач. Раніше ми відмічали [7, 8], що процес нуклеації плівки в умовах Фольмера—Вебера при конденсації слабко пересичених йонно- розпорошених парів Ti або Al відрізняється від такого процесу при термічному випаровуванні та може проходити у два етапи. На пер- шому етапі утворюється неперервна надтонка аморфна плівка, яка на подальшому етапі конденсації переходить у кристалічний стан із зародженням окремих об’ємних кристалів. Очевидно, за таких умов класичні етапи зародження плівок відсутні. В цьому випадку доцільно зробити висновок про те, що зазначена відмінність є нас- лідком підвищеної енергії йонно-розпорошених атомів. Так, відомо [9, 10], що розпорошені атоми мають розподіл по енергіям із мак- симумом в області декількох одиниць еВ та широким «хвостом» до декількох десятків еВ. Оскільки зародження плівки починається саме з формування надтонкого аморфного шару, то можна вважати, що в порівнянні з класичними етапами росту плівок тут має місце зниження порогу перколяції по аморфній фазі. На нашу думку, цей факт може мати важливе значення з наукової та прикладної точок зору. Також слід відмітити, що на даний час відсутні роботи, в яких зазначений ефект був досліджений для шляхетних металів. Виходячи з цього, основна мета роботи полягає у з’ясуванні ме- ханізму зародження плівок срібла за умов осадження йонно- розпорошених атомів у високочистому інертному середовищі, бли- зькости цього процесу до термодинамічної рівноваги та дії плазми на поверхню росту. 2. МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ Для осадження плівок срібла використовувався магнетронний роз- порошувач срібла із двома варіянтами розташування підкладинок. Схематичне зображення вісесиметричного перерізу розпорошувача наведено на рис. 1. В першому варіянті підложжя може бути роз- 1106 Ю. О. КОСМІНСЬКА, В. І. ПЕРЕКРЕСТОВ, І. В. ЗАГАЙКО ташована в положенні 2 на аноді 1, що обладнаний автономним на- грівачем. При цьому для більш інтенсивної дії плазми на підложжя 2 використовувався магнетронний розпорошувач із незбалансова- ним магнетним полем. У другому варіянті підложжя розташовуєть- ся в положенні 6 в порожнині розпорошувача. Як зазначено вище, розпорошені атоми мають широкий спектр енергій ( 1—30 еВ). При одержанні плівок тиск робочого газу арґо- ну складав величину  3 Па. Такому тиску відповідає довжина віль- ного пробігу розпорошених атомів з енергіями 2—20 еВ в межах 40— 55 мм [11]. Оскільки відстань між мішенню 5 та підложжям 2 скла- дає 90 мм, то очевидно, що деяка частина розпорошених атомів при зіткненні з частинками робочого газу буде змінювати напрямок ру- ху на протилежний та потрапляти на підложжя 6 (див. рис. 1). При цьому слід враховувати можливість йонізації атомів Ag, розсіяних на арґоні, та їх подальше прискорення в напрямку підложжя 6 під дією електричного поля магнетронного розпорошувача. В цьому випадку можна говорити про те, що окремі розпорошені атоми Ag, потрапляючи на підложжя 6, будуть мати енергію більше 100 еВ. Такі енергії не виключають імплантацію атомів Ag в приповерхне- вий шар підложжя. В подальшому парові потоки, які осаджуються на підложжя 2, скорочено будемо називати «прямими», а потоки, Рис. 1. Схематичне зображення магнетронного розпорошувача з двома ва- ріянтами розміщення підкладинок (1 – анод, 2 – підложжя, розташова- не на аноді, 3 – зона взаємодії розпорошених атомів з робочим газом, 4 – зона ерозії розпорошувальної мішені, 5 – розпорошувальна мішень з Ag, 6 – підложжя, розташоване в порожнині магнетронного розпорошувача, 7 – магнетна система магнетронного розпорошувача). Fig. 1. Schematic representation of the magnetron sputtering with two vari- ants of substrate location (1–anode, 2–substrate placed at the anode, 3– region of interaction of sputtered atoms with working gas, 4–zone of erosion of the sputtered target, 5–sputtered silver target, 6–substrate placed inside the sputtering hollow, 7–magnet system of the sputtering). ЕФЕКТ ЗНИЖЕННЯ ПОРОГУ ПЕРКОЛЯЦІЇ У НАДТОНКИХ ПЛІВКАХ Ag 1107 що осаджуються на підложжя 6 – «зворотніми». На рисунку 1 прямі та зворотні потоки позначено відповідно через Jd та Jb. Як відмічалося вище, основною метою роботи є з’ясування меха- нізму зародження плівок Ag в умовах, близьких до термодинаміч- ної рівноваги. Для температури ростової поверхні Тс такі умови ви- значаються незначним перевищенням тиску осаджуваних парів Рс над рівноважним тиском Рe. Іншими словами, зародження плівки в умовах наближення до термодинамічної рівноваги можна спостері- гати при малій зміні ріжниці хемічних потенціялів  на шляху переходу атомів з пароподібного у конденсований стан. В першому наближенні [12]: с e b b c e P P k T k T P      , (1) де   (Рс  Рe)/Рe – відносне пересичення. Зрозуміло, що при   0 настає термодинамічна рівновага, і конденсація не відбувається. Слід зазначити, що згідно [13, 14] рівноважний тиск exp d e b c E P k T        , (2) де Еd – енергія десорбції атомів. Таким чином, на основі (1) і (2) можна говорити про те, що близькі до термодинамічної рівноваги умови спостерігаються при малих значеннях Рс або при достатньо слабких потоках, осаджуваних на нагріті до високих температур Тс підложжя. Обчислення, а також експериментальні результати по- казують [15—18], що суттєвий вплив близькости до термодинаміч- ної рівноваги на процес структуроутворення конденсатів різних ме- талів проявляється у випадку, коли відносне пересичення менше 0,1. Важливу роль для зниження відносного пересичення відіграють дія плазми на поверхню росту та підвищена енергія осаджуваних атомів. В цьому випадку передача надлишкової енергії від частинок плазми до адатомів, додатковий розігрів ростової поверхні плаз- мою, а також надлишкова енергія осаджуваних атомів в значній мірі підвищують ймовірність повторного ревипаровування адато- мів. Раніше ми зазначали [15—29], що врахувати дію плазми на по- верхню росту можна шляхом зниження Еd до ефективного значен- ня. При цьому конденсація зворотних парових потоків має свої від- мітні особливості, які визначаються відсутністю автономного на- грівача підложжя 6 та дією на ростову поверхню більш енергетич- них йонів плазми. В цьому випадку специфіка масоперенесення ро- зпорошеної речовини та пов’язаний з нею розігрів ростової поверхні під дією плазми приводять до самоорганізації слабких стаціонар- них пересичень [16]. Факт конденсації зворотніх потоків поблизу 1108 Ю. О. КОСМІНСЬКА, В. І. ПЕРЕКРЕСТОВ, І. В. ЗАГАЙКО рівноваги також підтверджується цілим рядом експериментальних результатів [8, 15—17, 20—22, 26—29]. В нашому випадку близькість до рівноваги при конденсації пря- мих потоків, перш за все, визначалась малою потужністю магнет- ронного розпорошувача (Pw  5,1 Вт), що уможливлювало формува- ти достатньо слабкі парові потоки. Відносне пересичення також знижувалося за рахунок розсіяння парового потоку на арґоні, а та- кож завдяки підвищеним значенням температури підложжя. Так, для більшости експериментів Тс  360С. Внаслідок слабких осаджуваних потоків збільшується ймовір- ність захоплення залишкових хемічно активних газів конденсатом та утворення домішкових фаз. Тому використовувались непроточ- ний варіянт напуску арґону та його подальше очищення за допомо- гою додаткового розпорошення титану [30]. Слід також підкресли- ти, що очищення арґону в робочій камері не припинялося протягом всього експерименту, а парціяльний тиск залишкових хемічно ак- тивних газів складав величину  810 8—10 7 Па [30]. Процеси зародження плівок досліджувалися на свіжих відколах KCl. Для окремих експериментів відколи KCl одержувалися безпо- середньо у вакуумі перед нанесенням конденсатів. Процес одер- жання вакуумних відколів полягав у зламі видовжених добре за- кріплених кристалів в місцях попереднього насічення. Крім цього, для частини експериментів підложжя KCl перед нанесення срібла покривались полімером PC403 або ma-N405 методою центрифуґу- вання. Необхідність вивчення структуроутворення конденсатів на полімерах викликана тим, що на їх основі виготовляють таку мор- фологію поверхні, яку сумісно із тонким провідним шаром можна використовувати для створення функціональних елементів плаз- моніки. Для досліджень конденсатів срібла в ПЕМ та за допомогою дифракції електронів конденсати відокремлювалися від підложжя методою розчинення останньої у воді. За наявности шару полімеру він відокремлювався від підложжя разом з плівкою срібла. 3. РЕЗУЛЬТАТИ ЕКСПЕРИМЕНТІВ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ 3.1. Особливості нуклеації при осадженні прямих парових потоків Нами проведені дослідження механізмів зародження в залежності від чистоти поверхні підкладинок, температури підложжя та часу осадження. Як відмічалось вище, для цього в якості підкладинок використовувалися відколи KCl, одержані безпосередньо перед конденсацією у вакуумі та заздалегідь у повітрі. Порівняльний аналіз електронно-мікроскопічних досліджень конденсатів пока- зав, що умови проведення сколювання суттєво не впливають на процес зародження. Поряд із цим, температура підкладинок в зна- ЕФЕКТ ЗНИЖЕННЯ ПОРОГУ ПЕРКОЛЯЦІЇ У НАДТОНКИХ ПЛІВКАХ Ag 1109 чній мірі визначає початковий етап росту конденсатів. Про це свід- чать ПЕМ-зображення структур (рис. 2), що одержані при осаджен- ні слабких парових потоків (Pw  5,1 Вт) на підложжя, нагріті до ви- соких (Тс  360С) та низьких (Тс  35С) температур. Так, конден- сація Ag при Тс  360С визначається добре вираженими двома ета- пами (див. рис. 2, а, б). Як показують електронографічні дослідження, на першому етапі формується тонкий аморфний шар (див. рис. 2, а). Другий етап різ- ко контрастує з першим і характеризується тим, що на поверхні аморфної фази зароджуються і ростуть окремі відносно великі кри- стали, частина з яких має добре виражену кристалічну огранку. Рис. 2. ПЕМ-зображення та електронограми конденсатів Ag, одержаних за різних температур та протягом різного часу осадження (а – t  60 c, Тс   360С; б – t  120 c, Тс  360С; в – t  120 c, Тс  35С). Fig. 2. TEM-image and electron diffraction patterns of Ag condensates ob- tained at different temperatures and deposition times (а–t  60 s, Тс   360С; б–t  120 s, Тс  360С; в–t  120 s,Тс  35С). 1110 Ю. О. КОСМІНСЬКА, В. І. ПЕРЕКРЕСТОВ, І. В. ЗАГАЙКО Параметри кристалічної ґратниці цих кристалів, обчислені на ос- нові електронограм, добре узгоджуються з параметрами ГЦК- ґратниці Ag. Поряд з цим, при формуванні низькотемпературних конденсатів (Тс  35С) не спостерігалися ані два різко відмінні етапи, ані прису- тність аморфної фази з товщиною, що уможливила би відокремити її від підложжя без повного руйнування. Можна припустити, що в цьому випадку спочатку формується надтонка і структурно неупо- рядкована плівка, яка у міру нарощування конденсату поступово переходить у дрібнодисперсний полікристал (рис. 2, в). Про малі розміри кристалів свідчить значне розширення ліній на електроно- грамах (див. вставку на рис. 2, в). На основі вивчення торця згорну- тої плівки в ПЕМ (див. вставку на рис. 2, в) було встановлено, що товщина конденсату складає приблизно 7 нм. Оскільки час форму- вання для аморфної фази (рис. 2, а) вдвічі менший ніж для конден- сату на рис. 2, в, то можна говорити про те, що товщина аморфної плівки в цьому випадку складає величину не більше 3,5 нм. За наявности на відколах KCl полімерного шару, зародження конденсатів при Тс  360С відбувається також у два етапи (рис. 3), які дуже подібні до випадку без полімеру. Перший етап визначаєть- Рис. 3. ПЕМ-зображення та електронограми конденсатів Ag, сформованих на поверхні полімеру при t  120 c, Тс  360С (а, б – зображення структу- ри при різних збільшеннях). Fig. 3. TEM-image and electron diffraction patterns of Ag condensates ob- tained on polymer surface at t  120 s, Тс  360С (а, б–structure image at different magnifications). ЕФЕКТ ЗНИЖЕННЯ ПОРОГУ ПЕРКОЛЯЦІЇ У НАДТОНКИХ ПЛІВКАХ Ag 1111 ся формуванням неперервної аморфної плівки, а другий етап – за- родженням та ростом огранених кристалів. Однак, на відміну від конденсації на відколи KCl без полімеру, перехід до формування огранених кристалів спостерігається не на всій ростовій поверхні (див. рис. 3). Можливо, затримка в переході до росту кристалів на окремих ділянках ростової поверхні обумовлена неоднорідністю попередньо нанесеного полімерного шару. 3.2. Особливості нуклеації при осадженні зворотніх парових потоків Процеси зародження плівок Ag при осадженні зворотніх парових потоків на відколи KCl незначною мірою відрізняються від процесів при осадженні прямих потоків. Так, спочатку на поверхні підлож- жя зароджується неперервний аморфний шар, на якому згодом ро- стуть кристали Ag (рис. 4). Оскільки вже після 60 с осадження сфо- рмована плівка без руйнування відокремлюється від підложжя, можна припустити, що при осадженні зворотніх потоків швидкість нарощування аморфного шару вище, ніж при осадженні прямих Рис. 4. ПЕМ-зображення та електронограми конденсатів Ag при зворотних парових потоках при а – t  60 c, б – t  90 c. Fig. 4. TEM-image and electron diffraction patterns of Ag condensates ob- tained from back vapour fluxes at а– t  60 s, б– t  90 s. 1112 Ю. О. КОСМІНСЬКА, В. І. ПЕРЕКРЕСТОВ, І. В. ЗАГАЙКО потоків. При цьому кристали, сформовані на аморфній фазі, не ма- ють кристалічну огранку (рис. 4, б). Ці відмінні особливості, скоріш за все, пов’язані з більш інтенсивною дією йонізованих атомів пла- зми з поверхнею росту. Важлива особливість одержаного аморфного стану полягає в то- му, що під дією електронного променю безпосередньо в електрон- ному мікроскопі його кристалізація не спостерігалася. Таку метас- табільність аморфної фази можна пояснити її псевдоморфним рос- том при реалізації адатомами достатньо міцних хемічних зв’язків. Відмітимо, що в умовах малих пересичень флюктуаційне об’єднання адатомів у докритичні зародки малоймовірно. В зв’язку з цим кожен атом окремо повинен встановити з поверхнею підлож- жя достатньо міцні хемічні зв’язки. Так, згідно [16], конденсація можлива за умови перевищення енергії хемічних зв’язків сконден- сованого атома критичної енергії десорбції, яка визначається спів- відношенням ( ) ln c dc b c b c A T E k T nk T        , (3) де А(Тс) – параметер, що залежить від температури, n – поточна Рис. 5. Модельні уявлення про стадії зародження білярівноважних кон- денсатів Ag. Fig. 5. Model representation of origination stages of near-equilibrium silver condensates. ЕФЕКТ ЗНИЖЕННЯ ПОРОГУ ПЕРКОЛЯЦІЇ У НАДТОНКИХ ПЛІВКАХ Ag 1113 концентрація осаджуваних атомів над поверхнею росту. На основі виразу (3) можна стверджувати, що при зниженні n та збільшенні Тс, або, іншими словами, з наближенням до термодина- мічної рівноваги, спостерігається підвищення Еdc. Вслід за цим під- вищенням спостерігається ріст енергії хемічних зв’язків сконден- сованих атомів Еb. Однак створити досить міцні хемічні зв’язки між атомами Ag та підложжям при виконанні умов Фольмера— Вебера не уявляється можливим. Для розуміння механізму утво- рення аморфної фази розглянемо представлені на рис. 5 модельні уявлення про основні стадії цього процесу. Перша початкова стадія формування аморфної фази визначаєть- ся тим, що в приповерхневий шар підложжя імплантуються висо- коенергетичні атоми (рис. 5, а). При цьому не виключено, що час- тина атомів закріплюється на структурних дефектах підложжя, а всі атоми, що мають слабкі хемічні зв’язки з поверхнею підложжя (Eb  Eds) ревипаровуються. Продовження цих процесів на наступ- них двох стадіях призводить до утворення міцно зв’язаного з під- ложжям базового неупорядкованого шару (рис. 5, б, в), який в по- дальшому стає основою для псевдоморфного росту аморфної фази. Зі збільшенням товщини аморфного шару до деякого критичного значення спостерігається стрибкоподібний або плавний перехід в більш рівноважний кристалічний стан. 4. ВИСНОВКИ 1. Процеси зародження в умовах Фольмера—Вебера в системах пла- зма—конденсат та пар—конденсат при конденсації речовини поблизу термодинамічної рівноваги мають суттєві відмінності. До останніх, перш за все, необхідно віднести експериментально встановлений нами псевдоморфний ріст метастабільної аморфної фази при дії плазми на ростову поверхню. Цей факт уможливлює знизити поріг перколяції до декількох нанометрів, що є важливим для розв’язання багатьох прикладних задач. 2. Характер переходу аморфна фаза—дрібнодисперсний полікрис- тал за низьких температур конденсації (Тс  35С) прямих парових потоків має плавний характер, що свідчить про нестабільний стан аморфної фази. З підвищенням температури конденсації прямих потоків до 360С на утвореній аморфній фазі в подальшому ростуть окремі огранені кристали. 3. Відмінною особливістю формування конденсатів при зворотних парових потоках є більш високі швидкості нарощування аморфної фази та відсутність кристалічної огранки кристалів, що зароджу- ються на поверхні базового аморфного шару. Ці особливості струк- туроутворення конденсатів мають бути зумовлені більш інтенсив- ною дією плазми на ростову поверхню. 1114 Ю. О. КОСМІНСЬКА, В. І. ПЕРЕКРЕСТОВ, І. В. ЗАГАЙКО ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. J. van Deelen, А. Illiberi, А. Hovestad, I. Barbu, and L. Klerk, Proc. of SPIE, 8470: 84700P (2012). 2. N. Ahmad, J. Stokes, N. A. Fox, M. Teng, and M. J. Cryan, Nano Energy, 1, No. 1: 777 (2012). 3. P. Berini, Adv. Optics and Photonics, 1, No. 3: 484 (2009). 4. M. Volmer and A. Weber, Z. Physik. Chem., 119: 277 (1926). 5. X. Yu, P. M. Duxbury, G. Jeffers, and M. A. Dubson, Phys. Rev. B, 44, No. 26: 13163(R) (1991). 6. G. B. Smith, A. I. Maaroof, and M. B. Cortie, Phys. Rev. B, 78, No. 16: 165418 (2008). 7. В. И. Перекрестов, С. Н. Кравченко, А. В. Павлов, Физ. мет. металловед., 88, № 5: 72 (1999). 8. Yu. O. Kosminska, A. S. Kornyushchenko, and A. A. Mokrenko, J. Porous Mat., 20, No. 4: 967 (2013). 9. Г. К. Венер, Дж. С. Андерсон, Технология тонких плёнок: Справочник (Ред. Л. Майссел, Р. Гленг) (Москва: Советское радио: 1977), т. 1, c. 353. 10. Б. С. Данилин, Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких плёнок (Москва: Энергоатомиздат: 1989). 11. А. А. Мокренко, Ю. А. Косминская, В. И. Перекрестов, Журнал нано- та електронної фізики, 2, № 3: 40 (2010). 12. А. А. Чернов, Современная кристаллография (Ред. Б. К. Вайнштейн, А. А. Чернов, Л. А. Шувалов) (Москва: Наука: 1980), т. 3, с. 7. 13. Р. Гленг, Технология тонких плёнок: Справочник (Ред. Л. Майссел, Р. Гленг) (Москва: Советское радио: 1977), т. 1, c. 9. 14. K. S. Sree Harsha, Principles of Physical Vapor Deposition of Thin Films (Oxford: Elsevier: 2006). 15. V. I. Perekrestov, Yu. O. Kosminska, A. A. Mokrenko, I. N. Kononenko, and A. S. Kornyushchenko, Vacuum, 86, No. 1: 111 (2011). 16. V. I. Perekrestov, A. I. Olemskoi, Yu. O. Kosminska, and A. A. Mokrenko, Phys. Lett. A, 373, No. 37: 3386 (2009). 17. В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, Ю. А. Косминская, В. Б. Дешин, Металлофиз. новейшие технол., 34, № 2: 239 (2012). 18. V. I. Perekrestov, Yu. O. Kosminska, A. S. Kornyushchenko, and V. M. Latyshev, Physica B, 411: 140 (2013). 19. A. S. Kornyushchenko, V. V. Natalich, and V. I. Perekrestov, J. Cryst. Growth, 442: 68 (2016). 20. V. Perekrestov, A. Kornyushchenko, V. Latyshev, St. Ostendorp, and G. Wilde, phys. status solidi (b), 252: 397 (2014). 21. V. I. Perekrestov, Yu. O. Kosminska, A. S. Kornyushchenko, and V. M. Latyshev, J. Porous Mat., 21, No. 6: 1159 (2014). 22. V. Perekrestov, Yu. Kosminska, A. Mokrenko, and T. Davydenko, Appl. Surf. Sci., 298: 171 (2014). 23. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, and V. V. Natalich, Solid State Sci., 33: 12 (2014). 24. V. Perekrestov, A. Kornyushchenko, Yu. Kosminska, G. Wilde, S. Ostendorp, and N. Winkler, Appl. Surf. Sci., 316: 155 (2014). 25. V. I. Perekrestov, A. A. Mokrenko, Yu. A. Kosminskaya, and D. I. Rubets, ЕФЕКТ ЗНИЖЕННЯ ПОРОГУ ПЕРКОЛЯЦІЇ У НАДТОНКИХ ПЛІВКАХ Ag 1115 J. Surf. Invest. X-Ray, Synchrotron and Neutron Techn., 5, No. 4: 667 (2011). 26. А. А. Мокренко, Ю. А. Косминская, В. И. Перекрестов, Журнал нано- та електронної фізики, 3, № 2: 105 (2011). 27. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, and Yu. A. Kosminskaya, Phys. Solid State, 50, No. 7: 1357 (2008). 28. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, and Yu. A. Kosminskaya, Tech. Phys., 53, No. 10: 1364 (2008). 29. В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, Ю. А. Косминская, Б. В. Дешин, Вісник СумДУ. Сер. Фізика, математика, механіка, № 1: 43 (2008). 30. В. И. Перекрестов, С. Н. Кравченко, Приборы и техника эксперимента, 45, № 3: 123 (2002). REFERENCES 1. J. van Deelen, А. Illiberi, А. Hovestad, I. Barbu, and L. Klerk, Proc. of SPIE, 8470: 84700P (2012). 2. N. Ahmad, J. Stokes, N. A. Fox, M. Teng, and M. J. Cryan, Nano Energy, 1, No. 1: 777 (2012). 3. P. Berini, Adv. Optics and Photonics, 1, No. 3: 484 (2009). 4. M. Volmer and A. Weber, Z. Physik. Chem., 119: 277 (1926). 5. X. Yu, P. M. Duxbury, G. Jeffers, and M. A. Dubson, Phys. Rev. B, 44, No. 26: 13163(R) (1991). 6. G. B. Smith, A. I. Maaroof, and M. B. Cortie, Phys. Rev. B, 78, No. 16: 165418 (2008). 7. V. I. Perekrestov, S. N. Kravchenko, and A. V. Pavlov, Phys. Met. Metallogr., 88, No. 5: 482 (1999). 8. Yu. O. Kosminska, A. S. Kornyushchenko, and A. A. Mokrenko, J. Porous Mat., 20, No. 4: 967 (2013). 9. G. K. Vener, J. S. Anderson, Tekhnologiya Tonkikh Plenok: Spravochnik [The Technology of Thin Films: Handbook] (Eds. L. Mayssel and R. Gleng) (Moscow: Sovetskoe Radio: 1977), vol. 1, p. 353 (Russian translation). 10. B. S. Danilin, Primenenie Nizkotemperaturnoy Plazmy dlya Naneseniya Tonkikh Plenok [Low-Temperature Plasma Application for Deposition of Thin Films] (Moscow: Energoatomizdat: 1989) (in Russian). 11. A. A. Mokrenko, Yu. O. Kosminska, and V. I. Perekrestov, Journal of Nano- and Electronic Physics, 2, No. 3: 40 (2010) (in Russian). 12. A. A. Chernov, Sovremennaya Kristallografiya [Modern Crystallography] (Eds. B. K. Vaynshteyn, A. A. Chernov, and L. A. Shuvalov) (Moscow: Nauka: 1980), vol. 3, p. 7 (in Russian). 13. R. Gleng, Tekhnologiya Tonkikh Plenok: Spravochnik [The Technology of Thin Films: Handbook] (Eds. L. Mayssel and R. Gleng) (Moscow: Sovetskoe Radio: 1977), vol. 1, p. 9 (Russian translation). 14. K. S. Sree Harsha, Principles of Physical Vapor Deposition of Thin Films (Oxford: Elsevier: 2006). 15. V. I. Perekrestov, Yu. O. Kosminska, A. A. Mokrenko, I. N. Kononenko, and A. S. Kornyushchenko, Vacuum, 86, No. 1: 111 (2011). 16. V. I. Perekrestov, A. I. Olemskoi, Yu. O. Kosminska, and A. A. Mokrenko, Phys. Lett. A, 373, No. 37: 3386 (2009). 17. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, Yu. O. Kosminska, and V. B. Deshin, 1116 Ю. О. КОСМІНСЬКА, В. І. ПЕРЕКРЕСТОВ, І. В. ЗАГАЙКО Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 34, No. 2: 239 (2012) (in Russian). 18. V. I. Perekrestov, Yu. O. Kosminska, A. S. Kornyushchenko, and V. M. Latyshev, Physica B, 411: 140 (2013). 19. A. S. Kornyushchenko, V. V. Natalich, and V. I. Perekrestov, J. Cryst. Growth, 442: 68 (2016). 20. V. Perekrestov, A. Kornyushchenko, V. Latyshev, St. Ostendorp, and G. Wilde, phys. status solidi (b), 252: 397 (2014). 21. V. I. Perekrestov, Yu. O. Kosminska, A. S. Kornyushchenko, and V. M. Latyshev, J. Porous Mat., 21, No. 6: 1159 (2014). 22. V. Perekrestov, Yu. Kosminska, A. Mokrenko, and T. Davydenko, Appl. Surf. Sci., 298: 171 (2014). 23. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, and V. V. Natalich, Solid State Sci., 33: 12 (2014). 24. V. Perekrestov, A. Kornyushchenko, Yu. Kosminska, G. Wilde, S. Ostendorp, and N. Winkler, Appl. Surf. Sci., 316: 155 (2014). 25. V. I. Perekrestov, A. A. Mokrenko, Yu. A. Kosminskaya, and D. I. Rubets, J. Surf. Invest. X-Ray, Synchrotron and Neutron Techn., 5, No. 4: 667 (2011). 26. A. A. Mokrenko, Yu. O. Kosminska, and V. I. Perekrestov, Journal of Nano- and Electronic Physics, 3, No. 2: 105 (2011) (in Russian). 27. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, and Yu. A. Kosminskaya, Phys. Solid State, 50, No. 7: 1357 (2008). 28. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, and Yu. A. Kosminskaya, Tech. Phys., 53, No. 10: 1364 (2008). 29. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, Yu. O. Kosminska, and B. V. Deshin, Vіsnyk SumDU. Ser. Fіzyka, Matematyka, Mekhanika, No. 1: 43 (2008) (in Russian). 30. V. I. Perekrestov and S. N. Kravchenko, Pribory i Tekhika Eksperimenta, 45, No. 3: 123 (2002) (in Russian). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <FEFF005500740069006c0069007a00610163006900200061006300650073007400650020007300650074010300720069002000700065006e007400720075002000610020006300720065006100200064006f00630075006d0065006e00740065002000410064006f006200650020005000440046002000610064006500630076006100740065002000700065006e0074007200750020007400690070010300720069007200650061002000700072006500700072006500730073002000640065002000630061006c006900740061007400650020007300750070006500720069006f006100720103002e002000200044006f00630075006d0065006e00740065006c00650020005000440046002000630072006500610074006500200070006f00740020006600690020006400650073006300680069007300650020006300750020004100630072006f006200610074002c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020015f00690020007600650072007300690075006e0069006c006500200075006c0074006500720069006f006100720065002e> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <FEFF005900fc006b00730065006b0020006b0061006c006900740065006c0069002000f6006e002000790061007a006401310072006d00610020006200610073006b013100730131006e006100200065006e0020006900790069002000750079006100620069006c006500630065006b002000410064006f006200650020005000440046002000620065006c00670065006c0065007200690020006f006c0075015f007400750072006d0061006b0020006900e70069006e00200062007500200061007900610072006c0061007201310020006b0075006c006c0061006e0131006e002e00200020004f006c0075015f0074007500720075006c0061006e0020005000440046002000620065006c00670065006c0065007200690020004100630072006f006200610074002000760065002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200076006500200073006f006e0072006100730131006e00640061006b00690020007300fc007200fc006d006c00650072006c00650020006100e70131006c006100620069006c00690072002e> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Ефект зниження порогу перколяції у надтонких плівках срібла при квазирівноважній конденсації та дії плазми на ростову поверхню

Репозитарії

Схожі ресурси