Электроакустическая конверсия в модуляционно-легированных гетероструктурах SiGe/Si
Методом высокочастотной гибридной акустической спектроскопии на частоте ~ 225 МГц изучена температурная зависимость эффективности линейной генерации звуковых волн электрическими полями в модуляционно-легированных гетероструктурах Si1–xGex /Si. Показано, что сигнал конверсии для области температур...
Gespeichert in:
Datum: | 2008 |
---|---|
1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Фізико-технічний інститут низьких температур ім. Б.І. Вєркіна НАН України
2008
|
Schriftenreihe: | Физика низких температур |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116774 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Электроакустическая конверсия в модуляционно-легированных гетероструктурах SiGe/Si / В.И. Хижный // Физика низких температур. — 2008. — Т. 34, № 1. — С. 79-85. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineZusammenfassung: | Методом высокочастотной гибридной акустической спектроскопии на частоте ~ 225 МГц изучена
температурная зависимость эффективности линейной генерации звуковых волн электрическими полями
в модуляционно-легированных гетероструктурах Si1–xGex /Si. Показано, что сигнал конверсии
для области температур 4,2–150 К связан с наличием областей пространственного заряда в структуре
и кулоновским механизмом возбуждения продольных акустических волн электрическим полем, нормальным
к поверхности планарной структуры. Изучено влияние содержания атомов Ge x в когерентно-
напряженных слоях SiGe на амплитуду сигнала конверсии. Обнаружена высокая чувствительной
величины эффекта к изменению индекса x в интервале 0,1 < x < 0,13. Обсуждается влияние возможной
пьезоактивности слоев SiGe, а также зарядов на глубоких ловушках вблизи границ раздела
Si/SiGe/Si на величину сигнала конверсии. |
---|