Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures
We studied I-V curves of Au-TiBx-n-n⁺-GaAs and Au-TiBx-n-SiC 6Н surface-barrier structures. The structures were exposed to microwave treatments (frequency of 2.45 GHZ, irradiance of 1.5 W/cm², duration of 0-500 s). For these structures we measured how the Schottky barrier height and ideality factor...
Збережено в:
Дата: | 2003 |
---|---|
Автори: | , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/118018 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures / S.K. Abdizhaliev, K.A. Ismailov, A.B. Kamalov, Ya.Ya. Kudrik // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 2. — С. 202-204. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-118018 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1180182017-05-29T03:05:42Z Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures Abdizhaliev, S.K. Ismailov, K.A. Kamalov, A.B. Kudrik, Ya.Ya. We studied I-V curves of Au-TiBx-n-n⁺-GaAs and Au-TiBx-n-SiC 6Н surface-barrier structures. The structures were exposed to microwave treatments (frequency of 2.45 GHZ, irradiance of 1.5 W/cm², duration of 0-500 s). For these structures we measured how the Schottky barrier height and ideality factor depended on microwave treatment duration. It was shown that microwave treatments whose duration are up to 20 s do not impair the main structure parameters, while those with duration of 0.5-10 s may even improve these parameters. 2003 Article Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures / S.K. Abdizhaliev, K.A. Ismailov, A.B. Kamalov, Ya.Ya. Kudrik // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 2. — С. 202-204. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 84.40.-x http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/118018 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
English |
description |
We studied I-V curves of Au-TiBx-n-n⁺-GaAs and Au-TiBx-n-SiC 6Н surface-barrier structures. The structures were exposed to microwave treatments (frequency of 2.45 GHZ, irradiance of 1.5 W/cm², duration of 0-500 s). For these structures we measured how the Schottky barrier height and ideality factor depended on microwave treatment duration. It was shown that microwave treatments whose duration are up to 20 s do not impair the main structure parameters, while those with duration of 0.5-10 s may even improve these parameters. |
format |
Article |
author |
Abdizhaliev, S.K. Ismailov, K.A. Kamalov, A.B. Kudrik, Ya.Ya. |
spellingShingle |
Abdizhaliev, S.K. Ismailov, K.A. Kamalov, A.B. Kudrik, Ya.Ya. Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
author_facet |
Abdizhaliev, S.K. Ismailov, K.A. Kamalov, A.B. Kudrik, Ya.Ya. |
author_sort |
Abdizhaliev, S.K. |
title |
Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures |
title_short |
Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures |
title_full |
Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures |
title_fullStr |
Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures |
title_full_unstemmed |
Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures |
title_sort |
effect of microwave treatment on the parameters of au-tibx-gaas(sic 6h) surface-barrier structures |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2003 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/118018 |
citation_txt |
Effect of microwave treatment on the parameters of Au-TiBx-GaAs(SiC 6H) surface-barrier structures / S.K. Abdizhaliev, K.A. Ismailov, A.B. Kamalov, Ya.Ya. Kudrik // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 2. — С. 202-204. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
series |
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
work_keys_str_mv |
AT abdizhalievsk effectofmicrowavetreatmentontheparametersofautibxgaassic6hsurfacebarrierstructures AT ismailovka effectofmicrowavetreatmentontheparametersofautibxgaassic6hsurfacebarrierstructures AT kamalovab effectofmicrowavetreatmentontheparametersofautibxgaassic6hsurfacebarrierstructures AT kudrikyaya effectofmicrowavetreatmentontheparametersofautibxgaassic6hsurfacebarrierstructures |
first_indexed |
2025-07-08T13:13:47Z |
last_indexed |
2025-07-08T13:13:47Z |
_version_ |
1837084630997532672 |
fulltext |
�������� �
���
��������� ��
������
������� ����
�����
�������� ������ ��� ����� ���
�� ��� ��!�
"����������#���$����%�&��
�
���'��������� �
���
����������
������(��������'�����������'�)$��������
������
�
���
����������� �
���
���
�����������������
�����
����
���� ��������� ��������
�������
�
���
����
��
�� ����! "��# �
$%� ���� &��� #�
$%������ ���#�
'%�(��(��� �!
)'
��*���$����$� +����$�� �
�
��)��%����
��� ,�)��%����
�
�$���� �
��� -!��,��� $ ���)./�$��
��
����� #���$����%� &��
�
�� �'� �������� �
���
���������(�� �'�)$������� !0� �������
��� $��� ����1�*��%��)$�����
����2� 3�14�!!5� ��0� �,1�6� '�72� 3�14�!!5� ��0� 1�!�6� � ����2� $���$�%�8����$��%� �
����
����������������&�������������������7����
�����������������7������� !���������"������
�������������#�� �����������$���� �
%����� ���&����$���� �����&����� '���(����)� ��� ��
*��+,-
����������� ��� .�*��/�&�-� ��������� ��� �0*��� �1�� 2��� �#���� �����������$��&�������� #�$� �#�
��#���3)� "������� #��4#�� ���� ����5��)� ������� ��%������ ���&����$���� �����&���� ���������� 6�
$����#�$���#���&����$���������&�����$#������������������%�����������������&%�����#��&���
����������%���&�����-�$#�5�� �#����$��#������������� ��*0.�� ��&�)� ����� �&%����� �#����%���&�
������
�*��
!�+� �&����$���������&���-���������"�����������������-�4�55��&���������-���5��������"����
��%������������..�����78�����%��������%�"5��������. �� ��7�
$�� &��
�!��� ��
6����������������������������������$��#���&����������
&������5�����������������������������������5)��������4����
����������)�����9.�*:��;���%����5�����������&��4��#���������
���������#�������5��4�$��#�����������&����$�������������
���%���&�����������&�����������������������#������������
��&���������#��������#�������$����#��5�4���5�%���������
9.-�7-� -�<:�����������4���������&��#����&��������&�����
����������������4���������9 �.�:�
�#������������&����$���������������#����#���3)�"���
�������&�����������������������������'�#���������������
����5�%&�������&����$���������������#����"����1����5���
$�55��������������#������$#)��#���"=��������������$��3
$����������)��#������������&����$���� ������������'����
(����)������
*��+>-���������������.�*��/�&�-���������
����0*����1����%���&���������������7�����'���1�����
�����"������������������'����1�
'���,��
�����#� !��� #�
�#��������7�� �3 ������������������$����&��������#�
"��������� �3 ������%���
��5������������'��5�)����#��3����
����"����7÷*�µ&-���%����������������������"����.�. ��&071�
�#���3 5�)���$���?�7���µ&��#��38��#����%��������������
�����������$���?�×.�. ��&07���#����#���3)�"�������$��
���&�������4�&�4��������%�������4�������7���55�$���")
��%��������������5�)���?.����&��#��3���#���#&�������
����������#���3���4����$�������&�������4�4�5��4��&����&
���������
�#��������7������� +������$����%��%���������4��5��
&�4��������%�������4�������7�'5�)����#��3��������?�*���&1
�������%�������5)��#�&���55)��5��������"�������&������
���45����)���55�������)%����5��������"�����'�#���&������5-
$��#���%���������������������?�.�. ��&07-�$���&�������
��4�@�5)����#��(���1��������#�����4�5�� 5�)���?�.����&
�#��3�$����%��������������#�����7�5�)�����#��"�������������
������'���&������������µ&1�$�������&�������4�%#���5��
�#�4��%#)��;#&������������$�������&�������4����3�5��%���
�����4����������4��������&%��������9�A�.����B����55�$��
$��#�4�5��%5����4�
-��.���#��� ��!� ! ����� ��
2�����������"��#��)%���$�����3�&���������-�"���������$�55
���������&����$���������������������%����*������C���4��#�
�#���)������&�������������������������'���-���4�-�9..:1-�$�
�����&������#����5���������#���3)�"�������#��4#��ϕ�����
�� ����! "��# �
�����#�+������������ �
���
���
�����������������
�����
�����
��7������4�5������
����5��)�������������&��#�����$����"����#������&����������
�#������5�����������&������������#���"������5���������#�
������7����
�������������
%��������&����$������������
���������%��������������"5��.�'����������5����#���5�$��
�
%��������&��1�
;��������������&��#�������%��������������"5��.��#��
������������"5����4������������%���&������������������
&����$���������&����$��#��#���%����������������������
������&����$����������������������*0.�����#���"�������
%���&������"���&�������"������
6���#����&������
%���������&����$��������������������
�����������������-��#����#������%���&������"�4���������
4�������#���
%�������5�������������#�����$����"����#����&�
��������"���&����#�����-��#����#���3)�"�������#��4#��ϕD
������������������5��)��������������������#�$�����2�4��.
����&��������������#��������7����
��������������������
��������������������&����$���������&�����;����������
�#�����&���#��4����%%�������"��#��#�����$�����������
������"����#������&������������#�����#��4�������������
��4���������%�����������������4�����#����&����������
�%�����#��4����4��������#�������5�����������%%������")
'�1�����������������#��"�����������������5��5��������&��#�
���$����"����#����&�������������'��1�������������������
��������������
�#���"��������5����4����$��#��#���
%���&����5�����
�"������� ��� 9.�:���#��������� ��������� �#��� ���%�5)��4
���������%%��������#���%���
��5��������5�)����������#����
���&�&����$���������&������#�����#������� 9.�:���5���
�%%������������#�������%�5)��4������������4������������
���5���������������������5���4����&���5�
����������������
�����������������#������������������������#������")�&��
���$���������&�����6���#��5��"���������#����#���#��4��
���&�����������"�������")����$�������"5�8��#�)�3�%�������
�����)���������4��������&���&%��������
��&�5����#��4������&����������������&����$���������
��������$�����"������������#��������7������� !������
6����&��������$�����������%���&������&%����&�������
������5�������������������
%���������#�������&�'�%����.���1
&����$���������&�����E��������#����&%5��-�#�$����-����
4�����������������&����$���������������������07����6��$��
�������#�����5��������"���������������5������5������������
��������&����$���������������#���4�55��&���������������
6�����&�������-����������5)>��4�����������
%���&����5�����
���������4�&����������#��4���������&����$���������&���
������5��������"��������-��#����#��&�����������������4���
�����������#����%���&��������������#���#�4#�#�����4�����)
��4��������#���������4���5��������"������#��������������5��
���������������&��"���%��������&����$����%�$�������#�
�����������������5�)��-��#�������5���4������4�����������
����%���&������
6���#��5��"���������#���%������������������&����%����-
����#���%#�������5�����������4��$�#��������������#����)%��
��&����-��%������$-�����������%��"5�&��6�����5������$�55
�����&����������5)���5��������"����(��5��)�"��-������4����
�
����-�%��4����������5��������"�����5�������������$�55�9.7-
.
:��6�����&���#����"���%��������&����$��������������")
�#���"�������������������"��#���)���5������������������
���������&�����#��&��)��&����(��5�"���&�'����#�������&
&����$���������������1�����4���������������$�&������"5�
�������'���5��4����&�&����$���������������1��E����&��#��
���&������#���%���������������5����)��-�������&�����������5
�������#���������(�����������������������
/������#�! �0�
���
)
�#�������5�%��4���������������"�����&����$�������
�����-������#��5����3����������������#���
%���&����5����
��5������������4��#������������&����$���������&������
%���&���������������7�����'���� !1�������"�������")
�������#���$��3�
1 0�� $�� &��� ������� ���������7����
������� ��������"������� ������
������ ���� ���������� ���������� ���&����$���� �����5��4�
���#��$����
�
� �� 0���ϕϕϕϕϕ2���!� !��# �*� �����
��� ������� ������
3������ ��
�������
�
� ��
����
��� ��� ����� ������ !�
�� �����
� �
���
�������# �0���
�4����*���5�'�/6���"%�
�! �������5�$�6�78��'��
��#���3)�"�������%���&����� F�����������&����$���������5��4-��
��'������51 ��* . * .� .* ��
ϕD-��G ��<H �� � �� � �� � �� � �� � ��<H
� .��
.��� .�.* .�.* .�.7 .�.* .��
��
��
��
��
��
��
��� ��� ��� ��� ���
−�
−3
−5
−7
−9
−11
����
�
��
�
������� �� ��
�
�������
��
��
���
��
������4�5������
�� ����! "��# �
�����#�+������������ �
���
���
�����������������
�����
�����
:�'�������
.� F�I���"����3#�&��-�2��#��G�3#����-�G�@��G�����#�4��-�G���
J�5����#3��-�E���� �5�%%�-�E�F��K��>��-� �#��4�� ��� ��&��
����������&������5� %��%������� ���� ��� ������� ���&����$���
%�5���� ��� ������ ���� &����������� ��������� //
;�$�����$
����$��'9'.1-� %%�� �.��*� '.HH.1� '���K������1�
�� I������5��L)��-������K�����-� �#��&�5� ������� ��� %�5����&��
���$���� ���������� ��� ���������55)� ���������&�&������5�� //
<�=>��''.1-� %%��
��*
� '.HH�1� '���K������1�
7� G�6�� ���#3��-� G���� ��������#�3��-� G�F�� �3�%��-� I������ ��
�����5��4� ���&����$���� ���������� ���5�� ��� �������5� ������
���� �&%����)� ��&%�������� ��� ������������� ��5����� 5�)���� //
��?��� %�<�=>�'9' 1-� %%�� .
�.<� '.HH
1� '���K������1�
� ���������������-�,�E��@�"�����-�6����E��3��-���M����55��4#-
F�G�� @���"��#��3�-� ����������������&������������ ��� �#�
�������� ��� ��)���55���������&�������� ")� %#���&���)� //�(����
� �'�� ����� $/--� %%�� ��7��� � '.HHH1�
*� ���E�����5-����F��4�����-� M�� �������-� �����K�����-�E�����
$����&�5�� ��
����� 4��$�#� %������� ���N�����7;<��� //�;�
���
���� ����� ���� ��@�������@��6'-� %%��
<�*
� '.HH 1�
� G�G��E�5����-�K�G��J���3���-�G����������-�G�I���35)������#-
N����� �3#���3-�E�N��� 2�5����-�E�G�� �#���5��-� �#)�����
�#�&���5� %��������� ��� �#����/��/��/��/����� �������� ������
����� �
%����� ���&����$���� �����5��4� //�
��?��� %�<�=>�'9'
1-
%%�� 7��7*� '.HH
1� '���K������1�
<� ��O��F����3�-�;�� �� %����"�5��)� ��� �%%5�������� ��� #�4#�%�$��
&����$���� ����55������� ���� ���#��5�4���5� %��%����� //�A�$����
:(��--$'*1-� %%�� *<.�*<�� '.HH71� '���K������1�
� G�6�� �#�&�3��-���&���5� ���� ������� ��� �5�����&�4������ ���
�������� ��� �#�� �5�&���� "���� ��� �5��������� ����5������ //
:����
�$���$��O�� .� -� %%�� .���.�7� '.HH 1� '���K������1�
H� ���J�"�=��#�-�G��J�&-�K��E�>���-�������5� ��� �"���%����� ")
&����$���� ������������ //�B�����
��� #�
��$'H1-� %�� < H� '.HH 1�
.�� F����C�����-���G�� �3��%�5L-�O�G��C4�)�&���-��%%�������
��� ��4������ ����������� ��� �#������ =��������"����� ����������� ��
&����$���� ���5�� //�>�.�� =�����
�� ���%��-''..1-� %%�� .7HH�.
��
'.HH 1� '���K������1�
..� +�J��+�����#-�;�
��� :��
�'����-�;
����� '.H
H1�
.�� K�G��J���3���-������J�&�5��-� ��E��@)��)�-�;�N���;5�3#-
G���� ������-�I������ ���&����$���� ������������ ��� �#�� �������5
���������� ������� 5���5� ���� %���&������ ��� ���%�5)��4� 5���5�� ��
����� �%���
��5� ����������-� ���
����� &&&� &�
�����B��'�� C:����
���
������� �''��
�� ����
��������� ��� &���@����� ;�
������D-
��&�3-�K�����-� M�5)� �H���4���� 7� ����-� %%�� �� ��7H� '����1
'���K������1�
.7� ��2�� ����&��3�-� G���� J���5��-� E�N��� G�5�3#-� G���
N�3#�&�#�3-� ��&�� ��%����� ��� ��"5�&������ 4��$�#���� ���� ���
4���-� ���
����� &&&� &�
����� �������� C�������� B��/���� ���� :�
��
���;�
������D-�O��4����-� %%�� ���� � '����1� '���K������1�
.
� ;�G������-�E����K�&&-���N���J��%��-���O��G���"L��-�N��O�
E�3����-�K��������� %#���� ���&������ �����4� 4��$�#� ��� ��5��
���� ���"���� "�53� ��)���5�� ���� �%���
��5� 5�)���-� ���
����� &&&
&�
����� �������� C�������� B��/���� ���� :���
��� ;�
������D-
O��4����-� %%�� *7� �� '����1� '���K������1�
|