Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
For TiBx film ~50 nm thick formed by magnetron sputtering from a pressed target onto the <100> GaAs substrate we experimentally revealed lateral nonuniformity ordering at microwave irradiation (frequency of 2.45 GHz, illuminance of 1.5 W/cm²). This correlates with improvement of the TiBx-n-n⁺-...
Збережено в:
Дата: | 2001 |
---|---|
Автори: | , , , , , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119331 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system / R.V. Konakova, V.V. Milenin, D.I. Voitsikhovskyi, A.B. Kamalov, E.Yu. Kolyadina, P.M. Lytvyn, O.S. Lytvyn, L.A. Matveeva, I.V. Prokopenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 298-300. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-119331 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1193312017-06-07T03:03:56Z Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system Konakova, R.V. Milenin, V.V. Voitsikhovskyi, D.I. Kamalov, A.B. Kolyadina, E.Yu. Lytvyn, P.M. Lytvyn, O.S. Matveeva, L.A. Prokopenko, I.V. For TiBx film ~50 nm thick formed by magnetron sputtering from a pressed target onto the <100> GaAs substrate we experimentally revealed lateral nonuniformity ordering at microwave irradiation (frequency of 2.45 GHz, illuminance of 1.5 W/cm²). This correlates with improvement of the TiBx-n-n⁺-GaAs diode structure parameters after similar microwave treatment. 2001 Article Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system / R.V. Konakova, V.V. Milenin, D.I. Voitsikhovskyi, A.B. Kamalov, E.Yu. Kolyadina, P.M. Lytvyn, O.S. Lytvyn, L.A. Matveeva, I.V. Prokopenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 298-300. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1560-8034 PACS 61.76.C, 73.40.K, 84.40 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119331 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
English |
description |
For TiBx film ~50 nm thick formed by magnetron sputtering from a pressed target onto the <100> GaAs substrate we experimentally revealed lateral nonuniformity ordering at microwave irradiation (frequency of 2.45 GHz, illuminance of 1.5 W/cm²). This correlates with improvement of the TiBx-n-n⁺-GaAs diode structure parameters after similar microwave treatment. |
format |
Article |
author |
Konakova, R.V. Milenin, V.V. Voitsikhovskyi, D.I. Kamalov, A.B. Kolyadina, E.Yu. Lytvyn, P.M. Lytvyn, O.S. Matveeva, L.A. Prokopenko, I.V. |
spellingShingle |
Konakova, R.V. Milenin, V.V. Voitsikhovskyi, D.I. Kamalov, A.B. Kolyadina, E.Yu. Lytvyn, P.M. Lytvyn, O.S. Matveeva, L.A. Prokopenko, I.V. Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
author_facet |
Konakova, R.V. Milenin, V.V. Voitsikhovskyi, D.I. Kamalov, A.B. Kolyadina, E.Yu. Lytvyn, P.M. Lytvyn, O.S. Matveeva, L.A. Prokopenko, I.V. |
author_sort |
Konakova, R.V. |
title |
Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system |
title_short |
Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system |
title_full |
Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system |
title_fullStr |
Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system |
title_full_unstemmed |
Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system |
title_sort |
ordering of lateral nonuniformity of tibx film and transition layer in the tibx-gaas system |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2001 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119331 |
citation_txt |
Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system / R.V. Konakova, V.V. Milenin, D.I. Voitsikhovskyi, A.B. Kamalov, E.Yu. Kolyadina, P.M. Lytvyn, O.S. Lytvyn, L.A. Matveeva, I.V. Prokopenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 298-300. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
series |
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
work_keys_str_mv |
AT konakovarv orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem AT mileninvv orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem AT voitsikhovskyidi orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem AT kamalovab orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem AT kolyadinaeyu orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem AT lytvynpm orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem AT lytvynos orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem AT matveevala orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem AT prokopenkoiv orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem |
first_indexed |
2025-07-08T15:40:03Z |
last_indexed |
2025-07-08T15:40:03Z |
_version_ |
1837093831689895936 |
fulltext |
�������� �
��� �
��������� ��
�� �����
�����������
�����
�������� ��������� ����� ���
�� � !"#���
$�������%��
�
���&��������� �
���
����������
������'��������&�����������&�()��������
��� �����
�����
�����
����
�����������
�
������� ��
���
����
����
���
�
�
� ���
����������
����
����������������������������� ����
������� ������� �������
���
����
��������
�
�����
��������
�
���� ��������������������
������� ��
���
����
����������
�
�
������ �������� �
������� ���
��!������������ ���
������
��������
�� ����"�������� ����� ��������� ����
��"���� �
����
������� �� ���� �� �������� �����
��������
���
�
�
������
������������������
�������
�����
�����
��
�����
����
������� �������������� ��
���
�
� ���
��������������
�
����
�
������� ������ ������
���
�� ����������������
���
�
��� �������������������������
����
���
�
������� �
����
���
���� �����
����
������ ����� ����� ��
���
����
����������
�
�
� �������
��������
�
�
���
�
��������
�
���
�
������
#$%&'�
(����������
����
������
���
������������
��� �������
��������
�������
��� ������ ���������
���
��� ����� " �������
��)*�����
����
������
��
� ������* !
�
��
�� ��
�� ����)*�
* !
�������
�� ����������!����)*����
+�* !
�
���
��� ��
�����
���
����
�
�������������� ��� �������
����
���
�
��������������
������)*�� ��������
�������
��������� ����
���� ���������� �
������
��
� ��������* !
��
�� ����
��
���� ����������������������
�,×$-$.�
��/ �
����
��
�� ����
��������
���
�� �
�����������
�����
�
��
����
�������������0���� �����������)*���������
1��
��
2-���������!����)*����
+�* !
�������
���
����
�����
2--��m������ ����������������+� �� �������
1��
��
�2
�/-- ��m3�������������
�����
��
���� �����������������+�
� �����
�4�×$-$.��4�×$-$� �
�%/�
5����
����
�������"��
��������
��� ���� �� ����
����6���
�������,2�*(0��������� �
�����$�2�78
�� ����
$%$-�
����������������
������
��� ����
������� ����
�
���� ����
����
����
��
������������������
������ �
��
����� � ���
� �����
������� �����
���
��� �����
���
��������
� �
���5)9: ��)����������� ��� �������
���
� ������ ������������1�����%%�� ���+%��
����
��������
� ������
���
����
�
�������
;!<5�&$�.&�<��./�,-�=���,�,-
�� ��������� �����������
����������������
�
� ����
�� ����������������������������
�
������������
�� ��!���"�#�$� � ��%������$�&���� �����"��#�"��$������!�����#$�'�(
��!���� ���$���%��)��#��$
��*��)��#��$�)����%��#��#�$� �� �����"����"�
%��
�
�� �&��������� �
���
���������'��()������� �,�
������
��� )���-��.�� �#��!��()�����
����>� �/�-�,, � �&2�&$���3� ? ">� �/�-�,, � �&2��/�,�3� 9�� ��>� 1�� 1�� @�
��1�����
�+��������?�����)*� �����42-A������
1� ����������� ��������
���������� ����� ����
��� � ����
���������B$--C�* !
�
��
�� �������"�������� �������� ���� � ��� ������������������������� �
��
��� ��� ��� �� ����� ����6���
�� ��� ��,2�*(0�� ������� �
�� ��� $�2�78
�� �����
�
����� ��
����� ��������������� ������)*����
+�* !
�������
���
������ � �����
� �����
���� ����
��� ��
��� ������
!��,�� �-���
��� ��� ��� ������� ������
�����)*� ����������������
; ������
������-��-.�-$�3�����
���� ��
�������
������-2�$��-$3�
���������������
�����$��$��-$�
�� ��!���"�#��������-��� ��������������������
����������������
�
�������� ���
���������/�0������
.�����
���� �� � ���
�����
����
���
��� ������
��� ����
�� ���
������� ��������)*
����
���� ���������� �������
����������� ��
���
����
����
������
�� ������ 1��������
����������������������
������ �
� �
������� � ������ ��
� ���������B$$$C�����
�
������?����$ �����
���
�
������
���� ��
����
���
���� " �
��������������)*�������� ���
�����������������
��������
6�
�� �������
���)*������ ������� �������� ��� �
�����
� ��������
�� ����� �� �
�����"�
����
������������������
�"���
������� ������� ������ ��� �
���
��
������
�����
������ ���)�D/�����#.'�����
�
������� ����� �
����������
�����
��������)** $�*!
��!
��������������!����� � ���
�
�� ���� ����� ����)*� �����
��� ������ ����������
�����
�������������������)* �� �
������������� ���)�D/�
���� ������
���
��������������������������������������� �
���
����
��E�
��� ������ �� ����������������� ��
����
����$-�
���
��������� ������������������������ �����������
�
���?����$� �
�������� ������� ����#,'��
�
��� �����
����
���
����
���������������� �
������� �����������!�*��* !
�����
���
�������� �� �������������� ����������� ��
���
�����
���������������������� ��� ���������������� ������ �
��
��������� �����
����
������� �����
����#,�&'�� ��� �� �
��
������������ ��� ����� " ��������������
�
�
�� ��
�������� ��
�� � �
������������
�
���
����� ���� �� ���������
���*�
�
��� �
��������������
��
�
���
�����������
���
�����
��� �
����������
�������1������
������
���� ������
������������)*�
* !
�
���
������
�����
���
���� �
������������
��� ��
��� ������ ������
������� �� ���������
����������
��� �
�
�������������
���
���� ������#,�&' ��
�� � ����������� ���
��
��
����������������)*����������
1��
�������
���
�2-�������
����������������� ����
������������������
��� �
���������
����* !
��� ��
���
��� ������������ ��������� �� ��� �������
������)*�* !
�
���
���
����������#�'�
!��������
�� ��������������������
�1�����#$%/�2'���
� ��������������
�
�
�� ��
����������� ��* !
�
�
���������
��� "� �����
��������
����3����
��
�
��� ��������
� ���
�������
�
����
��� ��������������
��
�
���������������
��
��� ����
����������� ��
�
����
��� ������
��
���� ���
����������������
�������
���������������� �
����
���
���
� ������������!�������
��� ������ ����������$-�
�����
�
���
��� ������
�4$,�2��%$����
������ ��� �����
�4.�2��%$ �
���� �����
����
�
������������?�������������
���
����
�������
�����������)*�* !
�
�
���������������� ��� ����
��
��� ������ �� ���������$-�
�
!
����������#2'�������������������������
�������
������� ���������
���
���������
�������������
��
���� �
����� ���
�� �������������������
�� � ����������� ���
��� �
�����
���������������)*�������"��
��������
��� ������ �� �
�����
�������������� ������������������������������
D������������� ����������� " ��������
�
�
���� �
��
�����
��� ������ �������
��� ��������)*�* !
�������
��
��������
� �
� ������
������ ����
���
��� ������ ���
����
�����
� �
���5)9: �
��
�� ����
���������?����/��D���
��
��
�� ����������� ��
��
������
�����$ ��
�
��
� ��� ����
�� ����
���
���
������
�����������
����������������������
�� ����� ��
������� ������
��0����������* !
��� ��
���
����������E��
��� ������ �������� �
���� �
��
���� ������
��
��������
/���� ��� 5���
������������� ��� ��)*� ����>� �� %� ����� �3� 1� %� ����
��
��� ��� ��� ������ ���� $-�
������ ������� � ���� �
� 2� ���
� µ� �
�
� µ� �
1
� ��������
���� ���� 1�
�����
��
�����
���
�����
��
� ��
�� ����
�����������
��
�
� �
����
��
����
���
��� �������
��������������
���� �������
���
� ���
�����������������
����� ���
�������������������)*����
+�* !
�������
���
������ � ��
����
����������
��� ������ �������
���� ����$ ��D���
�
����� ��������"��
���������
��� ������ �� ���������-�2%
/-- ������/�0������
�� ��!���"�#��������-��� ��������������������
����������������
�
�������� ���
��+��� ������� �
������+������� ���
��
��� ����������� +������ �� � �����������,�#�� ����������
; � �����
F�� ����������
��� ������ �������
- -�2 $ � / 2 & $-
) �������������ϕ1��G -�.� -��$ -�.� -�� -��� -��� -��� -���
��� ������
����� $�/ $��. $�/ $�� $�$2 $�$2 $�$2 $�$2
:����
��
�������%2��! �×$-%� $-%� $-%� .×$-%� $-%� $-%� $-%� $-%�
: ���
����
��� �����2��� .�2 ��- &�- $��� $��- $2�- ∞ ∞
/����
��;������
������)*�* !
�
���
����>���%������ �3���%� �������
���
� ��� ��� ������ ���� $-�
�
/����.��5)9:�
��
�� ������)*�* !
�
���
����>���%� ����� �3���%� ����
��
��� ��� ��� ������ ���� $-�
�
���
���
���
���
��� ����� ����� �����
����
X , mµ
H
, A
�
�
�
�
�
�
�
�
� �
� �
� �
�
�
�
��
��
��
�
E n e rg y, eV
(
R
/R
)
x �
�
�
�
$�
��
�
����
�������������
�����������������
��
���������
����� ������� ������ �������� ��� ���
���������
���������
���������������������
� ����
�������������� ��E�
��� ��
��� ��������� �
�
����������3�
� ���
���������
����
���
�������� ���������
��
�
�����
�
����
�
� ������
�� ���
�������
��
���������
��������
������
��
���� �������
����
���
����
������ ��
���
��� ���� ����
����
�����
������� ��
��
�� �����������
����� ������������������������
� ����
�����
��7������� ����������
��� ������ �����
�
���
��
������/%$-�
����������������
��
�����������
���
������� �� ������������ ���������������
�
������5
����1�
� �������������ϕ1�
����� ������
� ������ ������
�����
��
��
�
�
0����
����
�������
�������"�������� ��� � ��� �����������
��
����
�� ����
��� ������ ����������
�
�
���
���
� ������ " ����
���������)*�* !
� �����)*����
+�* !
�
�
���
��������
�� � ����������� ���
����������)*������ ���
���
��� �������
����������������������������
���������� �
������� ���� ���* !
�� ��
���
���������
2�&�������
$� !����=�
� ���� ���3�������&�
�����3�����
����������
� �
��
�&����������
������H �1 ��E�
����$�., � ����:�
� � �
�� ��9��F�1
�������G�G��� �
��1�� 88�4�5��3.�����3����
.�� �� ���
,���,��� �$��/ � ����:�
� � �
/� ��9��F�1
�������G�G��� �
��1�� 88�4�5��3.�����3����
1�2 �� ���
$$2$�$$2&� �$��, � ����:�
� � �
,� G����G�������5�!��*��
� ��:�G��=�� 1�� ���� ���88�
�����.�6�34
�2�$& �� ���� $-�$/� �$��� � ����:�
� � �
2� I�5��=� 0 ���:��( �� ���J��!���1����1���� ���88���>�
������������
�������
�����3�������� /7 �����
0�� ���� /,-�/,&� �$��. �
&� J��!���1����1��G����G�������I�5��=� 0 �� ��� ��� 88�3���������
4�����
.2�� ���� 2$�2/� �$��, �
.� 9�?��G�������G�G��E����������)��9�������
����� ���88�4�5��3�)���
�� ���.�� ..�� �� ���� �,���2/� �$��� � ����:�
� � �
�� 9�?��G�������:�G��=�� 1�� ��D�)��D1������1����� ���88�����"
���� �
���� .3�,& �� ���� ,�.�,/�� ��--$ �
|