Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution
Kinetics of oxygen distribution variation and oxygen clusters (thermodonors) formation is considered and described by a system of nonlinear equations. Analytic solution is obtained for homogeneous nonstationary distribution of oxygen and its complexes. It is shown that due to the interaction of oxyg...
Gespeichert in:
Datum: | 2000 |
---|---|
1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
Schriftenreihe: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120230 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution / P.A. Selishchev // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 19-21. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-120230 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1202302017-06-12T03:05:34Z Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution Selishchev, P.A. Kinetics of oxygen distribution variation and oxygen clusters (thermodonors) formation is considered and described by a system of nonlinear equations. Analytic solution is obtained for homogeneous nonstationary distribution of oxygen and its complexes. It is shown that due to the interaction of oxygen interstitials and their complexes the homogeneous state becomes unstable at some conditions, and spatial periodical distribution develops. Its period lies in the range of 10-1000 Å . 2000 Article Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution / P.A. Selishchev // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 19-21. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 36.40. M, 61.66, 61.72. T, 68.65 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120230 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
English |
description |
Kinetics of oxygen distribution variation and oxygen clusters (thermodonors) formation is considered and described by a system of nonlinear equations. Analytic solution is obtained for homogeneous nonstationary distribution of oxygen and its complexes. It is shown that due to the interaction of oxygen interstitials and their complexes the homogeneous state becomes unstable at some conditions, and spatial periodical distribution develops. Its period lies in the range of 10-1000 Å . |
format |
Article |
author |
Selishchev, P.A. |
spellingShingle |
Selishchev, P.A. Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
author_facet |
Selishchev, P.A. |
author_sort |
Selishchev, P.A. |
title |
Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution |
title_short |
Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution |
title_full |
Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution |
title_fullStr |
Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution |
title_full_unstemmed |
Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution |
title_sort |
accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2000 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120230 |
citation_txt |
Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution / P.A. Selishchev // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 19-21. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
series |
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
work_keys_str_mv |
AT selishchevpa accumulationdynamicsofoxygenclustersinsiliconandformationoftheirnonhomogeneousdistribution |
first_indexed |
2025-07-08T17:30:20Z |
last_indexed |
2025-07-08T17:30:20Z |
_version_ |
1837100769827880960 |
fulltext |
19�����������
� ��
�����
�
����
������
������
������������
����
������
������
��
���
�
����
�� � ����
�������� ��� ����� �
�
����� !
���� �
�
��"� ����"�#"� $���� %"� �"� %&'�%"
��� �����
�����
�����������
�������
����������������
����������
���
��
���
�
�����������������������������
��
�����������
����
��������������������������������������
�����
����
�
����������
���������
�����
�����������������
���
����������
��������
��� ����
�
�����������
����������������
�����
��
��������������
���������������
������������������
����
������
�����
��
�������������
������������� ��������
���!"#�"##$%���
������������
�
���������
���������
�
������&'(��)���
����
� ��
������������
�������
������
���������
�����
�
�����
����
�
�������
��&*+'(���,���
��������������
������������������
�
�����������������
��
+����+����
��������������
���������
�
������-
����
��
�����
��� ������
�
����
����.����������
���������
�����
��
�
��������
��������������������
�����������
���
��
)�
��
������������
��
���
������������/��
�+���
�
��
����
�����������
���)�
����
���������������)�
�
��
���
�
�������
�������������
�������������������
��������
��
�
��������
��)������������
�
�����!"#�0"#$%�����������
�������������
����������
�������������
�����
�������
����
�������������
����������
��1����������+�������
���
�����
�������
�
����
����
�
����������
������
�
�
�
�
��
��
)�
��
����������������
���
�������
�
���������
����
��������������
�����
�
�����������
���2�����������+��
������
�����
�
,�����������������
�
������������������ ������
���
���������
������������� ��������������������������
�����
����+� ����������������������� �������)�
���
������
�������
��
�
��������
�������������
�������������
31%�4�!5�0#��6+�5'�55+�5'�7*��)+�58�5"
��
�
������� ��������������������
������ ��� ����������
���������� ��� ������ ������������
�� ������
����
��
�����������
(
�)� *"���)�����
���
)���
��� ����
��� ��!�� ��� �� +�� ��
�!�� �,�����
)��� �������(�
)������
��
���������9��
����� ��� ����
�������� ������
��������� ��������
�� �����
��� ���
����������� ����
������� ��� ������
�
�������
����
�� �� �� ����
�����������
���
,���������1�������� ��������� ��
� ����
�� ���� �����
�
���� �������������� ������ ������ ��� ����
�� ���� ���� �����
�
��
.�� ��� ������ �������
� ��� ��
� ���
���������������
�� ���
���������� ���� ��
��� �����
�
�� ��
������
�
�
���� ����
�
���
������� �
� ��� ���
� ����������+� ���� �������� �
��������� ������ �������
�
������.����
�������
�������
�����
����'#�'###���
������ ��� �������+� ����
�+� �����
�
�+� ���
�������+� ��������
�
���� ������ ������
3��
���
�
�
��'7�'*�::;��
��
��������������
�
�
��*7�'*�::;����
��
�������� ���������#0�#'�##�
�
���
�����������.�� �������� �
�
����
���������
��
���
���
���
�������������������
��
������������������
������
�
�
��������
�������� ���������
������
���������������
������
����������������
������������
�
����
������
����� �
���
� ���������
���
������� ���
��������
��
�
����
�����������������
�
���3
������������������������
����������
���
���)�
������
������
���
���
�������
������
�� ,��������
��� ��� ��
� �
��� ����� <���
�
���
�������������������
�
������
�
��������
�����������2��
���
����
������� ��
����
� �������
��
����
� ��
�
������
����
�� ��
� ������������ ��� ��������� .�� ��
�����
��
��
��
����
�������
�����
���������������������������
�����+����
�����
����������������������+���
����
��� ��
�����
�
�������
������
�����
�������
����
�����
��=�
��
������
���
����������
�������
�+���
������
��
��������������
��
�
���������
������
�
���������� ������
���
������� �
�
)���+���
�����
�������� ����������������������
����
������ �����������
�
��������
�
���������������������
3�
�
������
���� ��������
��������
����&!+0(����������
�
������ �����������������
�
����
���
���
�������������
�������
)�
�
���
����
������� ������������
�
���������� ��
�������������
�
���+����������������
��������
�
����������
���&0�5(��6����
��������������������
���������
�����������
���
�����������������������������������������������
���������
���������
�����&8(��>�����
������������� ��������� �������
������������
��������������� �
�
�����&:+'#(�
1��
��������������������������
�����������������
,���� �
���������
��<���
����������������
��
������������
�
���
��
����������������
��
�����
���
������
��
����
���������
*# �� ��$-%.������
��
��������������
��
�
������� ��������������������
�������������������
��
��<��
����
�����
�������� ������
���
�������
�
�
������<���
�������
�
��
�������������������
����
�
�����
�
������
�����������������
�������������� ��� �� � ������ �
������
.������
�� ���������������
�����
������������������
����������
�������
������������
�������������������������
���
���
�� ��
�
��
���� ����
��∆��
<�
������
�������,�������
���
����<����1����
������
���������������
����� �
��<���
�����
����������������������
����������������������
����������������������
+�������������
��������
��� ��
�
)� ���������������������������?�.��6���������@�3��6���
����� ����
�����
������
��
���
�������������
�����
���&0(
��������
��
�����
+�����������
�
���
��
����
�'�
=�
�
� ��/ �+� ���
∗∗
��/ + ���
���
���
�
����
������
��������������
�
���
��������
������������
�������������
���������ν�����ν0���
���
,�
������������������ � �����
�����
���
���������
��
�����������������
��
����
�
���������
���������=�
�����������
��
�����
���������
�����+�����
�
��������������
����������������
�������
�������������'�
���
��� ��
�������������� ��
������
�
�����������
���������+����
+A�+A�����
�����������
�������
�����
��������
��*+�!+���+�
+���+��
��
���
�����)���
����
�������
������������
����
�������������
�+���
���
����
��
���
������
����� ��
����
,��������&'+*(4
�
)1�
�
−−=
∂
∂ *
'*+'
' γ BB�*�
''+'''+ ����
�
−−+ +−=
∂
∂
γγ BB�!�
�C�*+A
�����������������������������������
������
����
��
'
'
*
2�
�/1 −∇−= BB�0�
=
���
� �������������
������� ����
+�2+� ������������
����
�������������
�����������������
����
����������
��
�
��
∑∫
=
−∇−=
'
+' D�D��D���
������#�2 BB�"�
#'+
���E��3����
�����
������������
��������
�
���
�� γ
�
F'
��
����
���������������������������������
�����
����������
�
�������+�/-*.��*���������������
��
�����
����
�
���
�������=
�����������
�
������ ����������
���
������
��
���
�������� �������������������
!��"��������
�� �����
)�
��
���'�����*��������
�����������
�
�������������
'
��
*+'#
#
' +
=
�
�
�
γ BB�5�
( )
( )
( )
∑
∏
∏
=
≠
=
++
−
−
=
+
−
×
×
−=
+
�
�4
4
44��
�
��
�
�
� �
��
'
'
'+'+
'
'
'+'
#
' *+'
*+''+
��
����
γγ
γ
γ
γγ
BB�7�
)�����������������
������������
�����������������������
4
�'� �C�#��C��#+��
� �C�#��C�#+�
�≥�*��.����������
�������γ���F'≠
γ
�
F'������≠�4�
�)�
�����
�����������
������������������������
�
��
��
������������ #' �� 〈 � �G�#��)�
�
���
+��� *+''+ γγ 〉〉+
����
����
�G�'� ��
� ������ ��
�� ��� �7�� �����������
� ����
���
��+�������
������
��
�����
���.����������
���� '
'+
*+'
� �
+
≈
γ
γ
���
'+
'+
��
��
+
+≈
��
�
�
�
γ
γ
�
=�
�� �
�
��
��
� ��� ����
�� ����� ���� �����
�
����
���������� ��� ���
� ��� �������������+
��
� '��H '*+''' 〈〈∆=∆ ��� γ � �
� ��
� ,��������������
����
��������∆ �
< ����
������������5�E�7����������������
����
�
�����
��������
���������
������
����������������
���������
����
�����������
�����
��
�
��
������
�������
�
�
������
��������������������
��
���
�����������
��
���
�����
������
#�� ������������ ��� ���������
�� ������
����� ��
���������� ��� �$������ $���� ����� ���
)��
�����
���
���� ���������,���������������������
�
�
��������������
���
�
,���������'�����*������������
����
��
������������� ������������� �+�' ��δ +� �+� ��
δ ��I
�
������������� ���
����
��������'�+� �*�������� ������������
�����
�� � 〉〉≈ #' �� +�
�G�'���
�� �����
�+�' ��δ + ( )
�� ��
+≅ λδ
���+�
���������
������
,������4
( )*��/
*�//
�
�
H��
���H�
�H
����
∆+−+
+−=
∗∗∗νν
��
��������������
��
�
������� ��������������������
�������������������
*'�� ��$-%.������
( )( )#
** H�� #�#��/ αγλ +++ ( )∏
=
+ =+
*
#'+ #
�γλ �8�
=�
�
*
#� ##=α +� /H* *+'γγ = +� ∫ −= ��
���#�# �
������� �
)�
�
���
��
�
�������������������
��
����������
�
�
�����������
��������
� ( )�αα = �5�λ������
������������
��������������
��
������
���
��������
�����������
�
����
��� = ��.�������
���
�
���������������J������������
��
������#-�.�����
�
���
��
������
���������
�K�
�������
�������������������������=
��
������������
�������������
�
����� �
���� ������
����
� ���������
���������������
����������
��
��������
��
�'��� *
# 6�#�# +−= +
��
�
6 ����������
������
������������������
��
������ ##
�����������������
���������
����
������
�������
�������
���
����������
=�
�� ���
��������
��
������
��������
���
�
��
��
��������
���������
������
���
�������
�������
����
�����
��
��������������
��
��+���
������
�
��������
�
�
���
������� �
��)���+����������������
���������������������
�
������
�������������
�������
�����
+���
��
����������
�
�������������
������
�����
�������
����
�����
����
���
�����������������
�������+���
�-��
��
�����
�� ������
�
������������
��������
�
���������
��
�������������
���
��
�
���������������
����
�����������
��������+����
��� �� �
)�
� �����������
���
������� ����
��������8����
( )'*' ### +++= 6�6�6�� γγγα BB�:�
.������
�
���������� �������
������� �αα ≈ ���� ��H*π +
��
�
6
�
�
�
� α
α
*
'* −
= ��'#�
���
������
�������������� ����� ��
�
���
��� �α � ��
������������
������%+������
���������
�
���
�
���������
�
�����'#����'###���������
������
�
��
���������
)�
����
�����
��������������� �������
����
�������
�
�
����
�� ������
�����������������
�
����������������
��
�
�����
��/
��
���
�����������������
�����
�� �
�
�
������
��
���������
��
�����
���.�����������
��
�����
���
����������
�����������������
���
�������
�����L�����
�
��
�����
����
���������
��
��������������
�%����� �������
)�
����������
�����
�������<�1��?
���
��������������� ��
����������
�����������
��������
���� �
5���������
'� @�M�LN ���+���.�L�O�� N�+�P�2�@O��O�� 7�8���
�� �
�
�
�� �
�'
8��� ���� ����� QR��
���
���?�)S+�T��
+� '::7+� *0#� ������I�����
*� =�9���
�+�/�?�2���������/�I
����2����������������������
���
�
�����
��
�� �������� HH�����"5�)�+���+�"�+� ���'"05�'""0�':"8�
!� U���TN N����+�@�L��O�VN��+�@�M�)�VW��+�?�R���������3
��������
��
���������
��������
��� ������
��
�������� ��������
����������HH
����
���
�� �
9
�����
�� 9�������� #&�'#�+� ���'#7:�'#8*�'::"�
����X ����
�
0� ?�.�M����+�@�3�6��
����%�
�����������
���������������
����
����� ���
�����
�� ����
�� ���������� ��� �������HH� 2
9
���
*����
��� �
��!�
)
��
�
)+� ���7�+� ���'!*0�'!*7� �':88�� ���
I�����
"� .�@�U�����
N+�U�M���� +�@�3�3���
+� ���������
� .�
������
����� ��� ����
�� ��
�������
�� ���������� ����
��� ��� �������� HH
2
9
���
�*����
����
��!�
)
��
�
)��!��8�+� ���::8�'##*� �'::7�
����I�����
5� ��)�L����
+���1�@���
� ��+�?���@���
� �+���@�6����
��+
<�I� ����
�1������������ ���
�
���������� ����
� �
��
��� ��
��
������
��
�� �������� ������ �� ��
�%-������� ���
����� HH
2
9
���
� *����
��� �
��!�
)
��
�
)�� �'�''�+� ���':7:�
':80�':8!�� ����I�����
7� 3�@�3�
��
+� @�.�3��� �
+� )�Y��%�������� ���+� ?�����
� ��
������
�
���� ��� �������� HH��
�3��� )� 9������� ���
�����
�� �
9
�
+
�(�0�+� ���"7�5#�':8:�� ����I�����
8� .�.�9�� �
� ��+�@�@��?� ZJ������+� 3
���������
�� ��� ���������
�������� �����������
�
���� �
���
�� ���
������
�� ���� ���
���������
���������������
��������������������
�
�������
���������HH�2
9
��
� *����
��� �
��!�
)
��
�
)+� !�+�0�+� ���0#"�0#:�'::7�� ���
I�����
:� 6�1�6����� �
+� @�.�< ���� �
+� @�K��
������+� L�.�2����+
��.�%�
�
��
+� 9��
����� ��� ��������� �
������ ������ ��
,�����
�����������������
��������������
�
�� ��������
���������
��������
�� �� ����� ����� HH�2
9
���
�*����
����
��!�
)
��
�
)+
!�+�!�+� ���!!8�!0'�'::7�� ����I�����
'#� �6�K���
����
+�1�L�3�����
+�K�K�6����
�� ��+�2
���
��
�� �
��
!�
)�� � ��� �����
�� �
�
�
��
�!��� ��� :�� :
�
��� 3�
�����
[�5:+� .�������
� ��� �����
������
������+�I������� ����
�����
���
��
�+� '::7� ����I�����
|