Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution

Kinetics of oxygen distribution variation and oxygen clusters (thermodonors) formation is considered and described by a system of nonlinear equations. Analytic solution is obtained for homogeneous nonstationary distribution of oxygen and its complexes. It is shown that due to the interaction of oxyg...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2000
1. Verfasser: Selishchev, P.A.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2000
Schriftenreihe:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120230
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution / P.A. Selishchev // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 19-21. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-120230
record_format dspace
spelling irk-123456789-1202302017-06-12T03:05:34Z Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution Selishchev, P.A. Kinetics of oxygen distribution variation and oxygen clusters (thermodonors) formation is considered and described by a system of nonlinear equations. Analytic solution is obtained for homogeneous nonstationary distribution of oxygen and its complexes. It is shown that due to the interaction of oxygen interstitials and their complexes the homogeneous state becomes unstable at some conditions, and spatial periodical distribution develops. Its period lies in the range of 10-1000 Å . 2000 Article Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution / P.A. Selishchev // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 19-21. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 36.40. M, 61.66, 61.72. T, 68.65 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120230 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description Kinetics of oxygen distribution variation and oxygen clusters (thermodonors) formation is considered and described by a system of nonlinear equations. Analytic solution is obtained for homogeneous nonstationary distribution of oxygen and its complexes. It is shown that due to the interaction of oxygen interstitials and their complexes the homogeneous state becomes unstable at some conditions, and spatial periodical distribution develops. Its period lies in the range of 10-1000 Å .
format Article
author Selishchev, P.A.
spellingShingle Selishchev, P.A.
Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Selishchev, P.A.
author_sort Selishchev, P.A.
title Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution
title_short Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution
title_full Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution
title_fullStr Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution
title_full_unstemmed Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution
title_sort accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2000
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120230
citation_txt Accumulation dynamics of oxygen clusters in silicon and formation of their nonhomogeneous distribution / P.A. Selishchev // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 19-21. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT selishchevpa accumulationdynamicsofoxygenclustersinsiliconandformationoftheirnonhomogeneousdistribution
first_indexed 2025-07-08T17:30:20Z
last_indexed 2025-07-08T17:30:20Z
_version_ 1837100769827880960
fulltext 19����������� � �� ����� � ���� ������ ������ ������������ ���� ������ ������ �� ��� � ���� �� � ���� �������� ��� ����� � � ����� ! ���� � � ��"� ����"�#"� $���� %"� �"� %&'�%" ��� ����� ����� ����������� ������� ���������������� ���������� ��� �� ��� � ����������������������������� �� ����������� ���� �������������������������������������� ����� ���� � ���������� ��������� ����� ����������������� ��� ���������� �������� ��� ���� � ����������� ���������������� ����� �� �������������� ��������������� ������������������ ���� ������ ����� �� ������������� ������������� �������� ���!"#�"##$%��� ������������ � ��������� ��������� � ������&'(��)��� ���� � �� ������������ ������� ������ ��������� ����� � ����� ���� � ������� ��&*+'(���,��� �������������� ������������������ � ����������������� �� +����+���� �������������� ��������� � ������- ���� �� ����� ��� ������ � ���� ����.���������� ��������� ����� �� � �������� �������������������� ����������� ��� �� )� �� ������������ �� ��� ������������/�� �+��� � �� ���� ����������� ���)� ���� ���������������)� � �� ��� � ������� ������������� ������������������� �������� �� � �������� ��)������������ � �����!"#�0"#$%����������� ������������� ���������� ������������� ����� ������� ���� ������������� ���������� ��1����������+������� ��� ����� ������� � ���� ���� � ���������� ������ � � � � �� �� )� �� ���������������� ��� ������� � ��������� ���� �������������� ����� � ����������� ���2�����������+�� ������ ����� � ,����������������� � ������������������ ������ ��� ��������� ������������� �������������������������� ����� ����+� ����������������������� �������)� ��� ������ ������� �� � �������� ������������� ������������� 31%�4�!5�0#��6+�5'�55+�5'�7*��)+�58�5" �� � ������� �������������������� ������ ��� ���������� ���������� ��� ������ ������������ �� ������ ���� �� ����������� ( �)� *"���)����� ��� )��� ��� ���� ��� ��!�� ��� �� +�� �� �!�� �,����� )��� �������(� )������ �� ���������9�� ����� ��� ���� �������� ������ ��������� �������� �� ����� ��� ��� ����������� ���� ������� ��� ������ � ������� ���� �� �� �� ���� ����������� ��� ,���������1�������� ��������� �� � ���� �� ���� ����� � ���� �������������� ������ ������ ��� ���� �� ���� ���� ����� � �� .�� ��� ������ ������� � ��� �� � ��� ��������������� �� ��� ���������� ���� �� ��� ����� � �� �� ������ � � ���� ���� � ��� ������� � � ��� ��� � ����������+� ���� �������� � ��������� ������ ������� � ������.���� ������� ������� ����� ����'#�'###�Å�� ������ ��� �������+� ���� �+� ����� � �+� ��� �������+� �������� � ���� ������ ������ 3�� ��� � � ��'7�'*�::;�� �� �������������� � � ��*7�'*�::;���� �� �������� ���������#0�#'�##� � ��� �����������.�� �������� � � ���� ��������� �� ��� ��� ��� ������������������� �� ������������������ ������ � � �������� �������� ��������� ������ ��������������� ������ ���������������� ������������ � ���� ������ ����� � ��� � ��������� ��� ������� ��� �������� �� � ���� ����������������� � ���3 ������������������������ ���������� ��� ���)� ������ ������ ��� ��� ������� ������ �� ,�������� ��� ��� �� � � ��� ����� <��� � ��� ������������������� � ������ � �������� �����������2�� ��� ���� ������� �� ���� � ������� �� ���� � �� � ������ ���� �� �� � ������������ ��� ��������� .�� �� ����� �� �� �� ���� ������� ����� ��������������������������� �����+���� ����� ����������������������+��� ���� ��� �� ����� � ������� ������ ����� ������� ���� ����� ��=� �� ������ ��� ���������� ������� �+��� ������ �� �������������� �� � ��������� ������ � ���������� ������ ��� ������� � � )���+��� ����� �������� ���������������������� ���� ������ ����������� � �������� � ��������������������� 3� � ������ ���� �������� �������� ����&!+0(���������� � ������ ����������������� � ���� ��� ��� ������������� ������� )� � ��� ���� ������� ������������ � ���������� �� ������������� � ���+���������������� �������� � ���������� ���&0�5(��6���� �������������������� ��������� ����������� ��� ����������������������������������������������� ��������� ��������� �����&8(��>����� ������������� ��������� ������� ������������ ��������������� � � �����&:+'#(� 1�� �������������������������� ����������������� ,���� � ��������� ��<��� ���������������� �� ������������ � ��� �� ���������������� �� ����� ��� ������ �� ���� ��������� *# �� ��$-%.������ �� �������������� �� � ������� �������������������� ������������������� �� ��<�� ���� ����� �������� ������ ��� ������� � � ������<��� ������� � �� ������������������� ���� � ����� � ������ ����������������� �������������� ��� �� � ������ � ������ .������ �� ��������������� ����� ������������������ ���������� ������� ������������ ������������������������� ��� ��� �� �� � �� ���� ���� ��∆�� <� ������ �������,������� ��� ����<����1���� ������ ��������������� ����� � ��<��� ����� ���������������������� ���������������������� ���������������������� +������������� �������� ��� �� � )� ���������������������������?�.��6���������@�3��6��� ����� ���� ����� ������ �� ��� ������������� ����� ���&0( �������� �� ����� +����������� � ��� �� ���� �'� =� � � ��/ �+� ��� ∗∗ ��/ + ��� ��� ��� � ���� ������ �������������� � ��� �������� ������������ ������������� ���������ν�����ν0��� ��� ,� ������������������ � ����� ����� ��� ��������� �� ����������������� �� ���� � ��������� ���������=� ����������� �� ����� ��������� �����+����� � �������������� ���������������� ������� �������������'� ��� ��� �� �������������� �� ������ � ����������� ���������+���� +A�+A����� ����������� ������� ����� �������� ��*+�!+���+� +���+�� �� ��� �����)��� ���� ������� ������������ ���� ������������� �+��� ��� ���� �� ��� ������ ����� �� ���� ,��������&'+*(4 � )1� � −−= ∂ ∂ * '*+' ' γ BB�*� ''+'''+ ���� � −−+ +−= ∂ ∂ γγ BB�!� �C�*+A ����������������������������������� ������ ���� �� ' ' * 2� �/1 −∇−= BB�0� = ��� � ������������� ������� ���� +�2+� ������������ ���� ������������� ����������������� ���� ���������� �� � �� ∑∫ = −∇−= ' +' D�D��D��� ������#�2 BB�"� #'+ ���E��3���� ����� ������������ �������� � ��� �� γ � F' �� ���� ��������������������������������� ����� ���������� � �������+�/-*.��*��������������� �� ����� ���� � ��� �������= ����������� � ������ ���������� ��� ������ �� ��� �������� ������������������� !��"�������� �� ����� )� �� ���'�����*�������� ����������� � ������������� ' �� *+'# # ' + = � � � γ BB�5� ( ) ( ) ( ) ∑ ∏ ∏ = ≠ = ++ − − = + − × ×        −= + � �4 4 44�� � �� � � � � �� ' ' '+'+ ' ' '+' # ' *+' *+''+ �� ���� γγ γ γ γγ BB�7� )����������������� ������������ ����������������������� 4 �'� �C�#��C��#+�� � �C�#��C�#+� �≥�*��.���������� �������γ���F'≠ γ � F'������≠�4� �)� ����� ����������� ������������������������ � �� �� ������������ #' �� 〈 � �G�#��)� � ��� +��� *+''+ γγ 〉〉+ ���� ���� �G�'� �� � ������ �� �� ��� �7�� ����������� � ���� ��� ��+������� ������ �� ����� ���.���������� ���� ' '+ *+' � � + ≈ γ γ ��� '+ '+ �� �� + +≈ �� � � � γ γ � =� �� � � �� �� � ��� ���� �� ����� ���� ����� � ���� ���������� ��� ��� � ��� �������������+ �� � '��H '*+''' 〈〈∆=∆ ��� γ � � � �� � ,�������������� ���� ��������∆ � < ���� ������������5�E�7���������������� ���� � ����� �������� ��������� ������ ���������������� ��������� ���� ����������� ����� �� � �� ������ ������� � � ������ �������������������� �� ��� ����������� �� ��� ����� ������ #�� ������������ ��� ��������� �� ������ ����� �� ���������� ��� �$������ $���� ����� ��� )�� ����� ��� ���� ���������,��������������������� � � �������������� ��� � ,���������'�����*������������ ���� �� ������������� ������������� �+�' ��δ +� �+� �� δ ��I � ������������� ��� ���� ��������'�+� �*�������� ������������ ����� �� � 〉〉≈ #' �� +� �G�'��� �� ����� �+�' ��δ + ( ) �� �� +≅ λδ ���+� ��������� ������ ,������4 ( )*��/ *�// � � H�� ���H� �H ���� ∆+−+ +−= ∗∗∗νν �� �������������� �� � ������� �������������������� ������������������� *'�� ��$-%.������ ( )( )# ** H�� #�#��/ αγλ +++ ( )∏ = + =+ * #'+ # �γλ �8� =� � * #� ##=α +� /H* *+'γγ = +� ∫ −= �� ���#�# � ������� � )� � ��� �λ�� � ������������������� �� ���������� � � ����������� �������� � ( )�αα = �5�λ������ ������������ �������������� �� ������ ��� �������� ����������� � ���� ��� = ��.������� ��� � ���������������J������������ �� ������#-�.����� � ��� �� ������ ��������� �K� ������� �������������������������= �� ������������ ������������� � ����� � ���� ������ ���� � ��������� ��������������� ���������� �� �������� �� �'��� * # 6�#�# +−= + �� � 6 ���������� ������ ������������������ �� ������ ## ����������������� ��������� ���� ������ ������� ������� ��� ���������� =� �� ��� �������� �� ������ �������� ��� � �� �� �������� ��������� ������ ��� ������� ������� ���� ����� �� �������������� �� ��+��� ������ � �������� � � ��� ������� � ��)���+���������������� ��������������������� � ������ ������������� ������� ����� +��� �� ���������� � ������������� ������ ����� ������� ���� ����� ���� ��� ����������������� �������+��� �-�� �� ����� �� ������ � ������������ �������� � ��������� �� ������������� ��� �� � ��������������� ���� ����������� ��������+���� ��� �� � )� � ����������� ��� ������� ���� ��������8���� ( )'*' ### +++= 6�6�6�� γγγα BB�:� .������ � ���������� ������� ������� �αα ≈ ���� ��H*π + �� � 6 � � � � α α * '* − = ��'#� ��� ������ �������������� ����� �� � ��� ��� �α � �� ������������ ������%+������ ��������� � ��� � ��������� � �����'#����'###�Å�������� ������ � �� ��������� )� ���� ����� ��������������� ������� ���� ������� � � ���� �� ������ ����������������� � ���������������� �� � ����� ��/ �� ��� ����������������� ����� �� � � � ������ �� ��������� �� ����� ���.����������� �� ����� ��� ���������� ����������������� ��� ������� �����L����� � �� ����� ���� ��������� �� �������������� �%����� ������� )� ���������� ����� �������<�1��? ��� ��������������� �� ���������� ����������� �������� ���� � 5��������� '� @�M�LN ���+���.�L�O�� N�+�P�2�@O��O�� 7�8��� �� � � � �� � �' 8��� ���� ����� QR�� ��� ���?�)S+�T�� +� '::7+� *0#� ������I����� *� =�9��� �+�/�?�2���������/�I ����2���������������������� ��� � ����� �� �� �������� HH�����"5�)�+���+�"�+� ���'"05�'""0�':"8� !� U���TN N����+�@�L��O�VN��+�@�M�)�VW��+�?�R���������3 �������� �� ��������� �������� ��� ������ �� �������� �������� ����������HH ���� ��� �� � 9 ����� �� 9�������� #&�'#�+� ���'#7:�'#8*�'::"� ����X ���� � 0� ?�.�M����+�@�3�6�� ����%� ����������� ��������������� ���� ����� ��� ����� �� ���� �� ���������� ��� �������HH� 2 9 ��� *���� ��� � ��!� ) �� � )+� ���7�+� ���'!*0�'!*7� �':88�� ��� I����� "� .�@�U����� N+�U�M���� +�@�3�3��� +� ��������� � .� ������ ����� ��� ���� �� �� ������� �� ���������� ���� ��� ��� �������� HH 2 9 ��� �*���� ���� ��!� ) �� � )��!��8�+� ���::8�'##*� �'::7� ����I����� 5� ��)�L���� +���1�@��� � ��+�?���@��� � �+���@�6���� ��+ <�I� ���� �1������������ ��� � ���������� ���� � � �� ��� �� �� ������ �� �� �������� ������ �� �� �%-������� ��� ����� HH 2 9 ��� � *���� ��� � ��!� ) �� � )�� �'�''�+� ���':7:� ':80�':8!�� ����I����� 7� 3�@�3� �� +� @�.�3��� � +� )�Y��%�������� ���+� ?����� � �� ������ � ���� ��� �������� HH�� �3��� )� 9������� ��� ����� �� � 9 � + �(�0�+� ���"7�5#�':8:�� ����I����� 8� .�.�9�� � � ��+�@�@��?� ZJ������+� 3 ��������� �� ��� ��������� �������� ����������� � ���� � ��� �� ��� ������ �� ���� ��� ��������� ��������������� �������������������� � ������� ���������HH�2 9 �� � *���� ��� � ��!� ) �� � )+� !�+�0�+� ���0#"�0#:�'::7�� ��� I����� :� 6�1�6����� � +� @�.�< ���� � +� @�K�� ������+� L�.�2����+ ��.�%� � �� +� 9�� ����� ��� ��������� � ������ ������ �� ,����� ����������������� �������������� � �� �������� ��������� �������� �� �� ����� ����� HH�2 9 ��� �*���� ���� ��!� ) �� � )+ !�+�!�+� ���!!8�!0'�'::7�� ����I����� '#� �6�K��� ���� +�1�L�3����� +�K�K�6���� �� ��+�2 ��� �� �� � �� !� )�� � ��� ����� �� � � � �� �!��� ��� :�� : � ��� 3� ����� [�5:+� .������� � ��� ����� ������ ������+�I������� ���� ����� ��� �� �+� '::7� ����I�����