APA (7th ed.) Citation

Voznyy, M., Gorley, P., & Schenderovskyy, V. (2000). Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Voznyy, M.V, P.M Gorley, and V.A Schenderovskyy. Diffusion Model of Defect Formation in Silicon Under Light Ion Implantation. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2000.

MLA (8th ed.) Citation

Voznyy, M.V, et al. Diffusion Model of Defect Formation in Silicon Under Light Ion Implantation. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2000.