Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation

In the given paper the model of defect formation in silicon under light ion implantation is proposed which describes the whole complex of available experimental results qualitatively, and in a number of cases rather well quantitatively. In contrast to the models existing by now, it takes into accoun...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2000
Hauptverfasser: Voznyy, M.V., Gorley, P.M., Schenderovskyy, V.A.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2000
Schriftenreihe:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121130
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation / M.V. Voznyy, P.M. Gorley, V.A. Schenderovskyy // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 271-274. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-121130
record_format dspace
spelling irk-123456789-1211302017-06-14T03:03:46Z Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation Voznyy, M.V. Gorley, P.M. Schenderovskyy, V.A. In the given paper the model of defect formation in silicon under light ion implantation is proposed which describes the whole complex of available experimental results qualitatively, and in a number of cases rather well quantitatively. In contrast to the models existing by now, it takes into account the dissociation processes of complex defects. In the frame of assumption about subsurface vacancy absorption layer existence the expressions for spatial distributions of secondary defect stationary concentrations are obtained using the Lie group theory. Non-stationary complex defect system behavior in silicon is simulated depending on vacancy trap concentration, ion current density and implanted atom energy. 2000 Article Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation / M.V. Voznyy, P.M. Gorley, V.A. Schenderovskyy // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 271-274. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 61.78.T, 66.30 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121130 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description In the given paper the model of defect formation in silicon under light ion implantation is proposed which describes the whole complex of available experimental results qualitatively, and in a number of cases rather well quantitatively. In contrast to the models existing by now, it takes into account the dissociation processes of complex defects. In the frame of assumption about subsurface vacancy absorption layer existence the expressions for spatial distributions of secondary defect stationary concentrations are obtained using the Lie group theory. Non-stationary complex defect system behavior in silicon is simulated depending on vacancy trap concentration, ion current density and implanted atom energy.
format Article
author Voznyy, M.V.
Gorley, P.M.
Schenderovskyy, V.A.
spellingShingle Voznyy, M.V.
Gorley, P.M.
Schenderovskyy, V.A.
Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Voznyy, M.V.
Gorley, P.M.
Schenderovskyy, V.A.
author_sort Voznyy, M.V.
title Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation
title_short Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation
title_full Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation
title_fullStr Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation
title_full_unstemmed Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation
title_sort diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2000
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121130
citation_txt Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation / M.V. Voznyy, P.M. Gorley, V.A. Schenderovskyy // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 271-274. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT voznyymv diffusionmodelofdefectformationinsiliconunderlightionimplantation
AT gorleypm diffusionmodelofdefectformationinsiliconunderlightionimplantation
AT schenderovskyyva diffusionmodelofdefectformationinsiliconunderlightionimplantation
first_indexed 2025-07-08T19:14:38Z
last_indexed 2025-07-08T19:14:38Z
_version_ 1837107334210387968
fulltext 271����������� � �� ����� � ���� ������ ������ ������������ ���� ������ ������ �� ��� � ���� �� � ���� �������� ��� � ���� � � ����� ! ���� � � ��"� ����"�#"� $���� $"� �"� �%&'�%(" ��� ����� ����� ���������� ������� ��� � ������ �� ������ ��� ������ ��������������� �������� ������������������������#����� �� ��� � ����������� �� ������� ���� ��� �������� ������� ������������������������ ������������������ �� ������ ��� ����� ���� ���������� ����� ��� ��� ��� ��� ����������� �� ���������������� ��������������� ������� �������� ��� ���������� �������� ����� �� ����������������������� ������� !"��� ����� ���� ���������������������� ������� ��������� �������� �������� ���� ���� �������������� �� ���� ������������������������ ����������� ������ ��������� ��������� ����������� ���� ���������������� ��� ������������ ��� �����������#������� ���������� ��� ������ ���� ���� �� ���� ������������� �������������������� $"��%�� � ��� &" ����������������������� ��� � ������ ���������� ����� ��� �� ������������������� �������� � �������������� �� ���� ���������� �������'��� � ���������������� ������� � ��������������� ������������� �������� ������ ����������� ��� ����������������� ������� �� ������������������� � ��� �����%�� ("���� ������������������������� ������ �� ����� �� &"���������� �������� ����������������������� ��� �������������� ����������������������������������� ����� ���� �������������������������� ��� � �������� ��� ������� � �������� �������������) � ������ �������� ����� ���� ������ ������������ ���� �������� ������ ��� ������ �������� ������ �������� ���%�� �������� � ������� ����������������������������� ������ �������������������� ��� ������� ��� � ������� �� ������%������ ���� �� ����� �� ����������� ������� ������������ �������� ���������� ����������������� ����������� �� ��� �� ���� ����� � ���� ����� � ������������������� ���� ���� ��������������� ���� ������� � ������� ���� �������� ������������ ��������� ������ �� ���*���� ����� ���� ����������� ��������������� ��� ����������� �� �� ������������� ������� ����������� ������ ��� ��������� ������� ������ ����� �� &"� ����� ��� ��� ������������� �� � ����������� ��� � ����� +� ������������� � ������������������������� ��������� �������������������� ��� � ������������������������������ ��������������� ����������� �����,�� ����#           −= −−= +−+−= −−−−+= −−−−− −+−−+= , ,])([ ,. ,)( ,])([ )( � ��)*� !�))�+��� � ��)*!�)� *�)* � � �� *, )� +- .)�)*!�))�+�� � *�), )�)+-) ++ ++ $ $ -. ����������������������������������!� � ����)�� ��*�������/������� �� ��������������������� ��� �� ������������������� �� ����������������� ������������ ��� �� �����0������/� ������������ ���������� ���0����.�����,� 1234#�5!�67����55�&. ���� ������� ������ �������������������������� � ��� ������ ���� ������������ ������������������ ���������!��"���� ���#�$��% /�"� 0��� )����1���� ) � � � � ���� )��� ��� ��� - ���.������� � "�� 23�&��� 1���� ) � �� ���� �� 4��"5� 6$3�'$%�7� 283� (%$�� 0�95� 6$3�'$%�7� 22&� 3�8�� �'�� �5� � ����: �"�)"�� ;��� � �� �� ���� ��� �������� &((�� �� �!�� ����� �� �$<2���-� )������ �� 4��"5� 6$3�'((7� <2�� %%%�� 0�95� 6$3�'((7� <2�� %%%�� �'�� �5� ��������: !"� �)"�� !&������#�%�� �������� � ��� ���������������� ������ ������������������������ ������� ��� �� ���� ��� �� ������ �� ����������� ��� ���� ��� ����������������� �� ������ ��� ����� ��,���� �� ���������������������������������� ��������,��� � � �������%����� ��� � �� ������������� ������ ����� � � ����� �� �� ������ � �� �������� ���� ��������� ��� ��� ���� ����� ��� %�� �� ������ �� ����� �������� � ����������� �������� ����� ���� ������ ���� ����� �� �� ��������� ���� � � ��� ��� ���� �������� ��������������� � � � ������������� �� ����������� ������������ ��+������� ������8���� � ������� ��� ��������� � ��� ����� ������ ��� �������� ��� ������ ����� ��������� �������� �� � ������ �� ����� ���� ������ ������ �� ���� �� ��� ���� ���������� '��(�� �#� ���� �� ��� � ����� ��������� ��������������� ��� ����������� ��� �����)� �������� ���� 1� ������������$(�.$�..0����������������� ����������!$�.-�..0����� ������� ������ ����!5�.5�..� $6$ �� ��$6$7������ ������������������ ����� ������� ������ ��������������������������� � ������������ ������!�������/����������� ������ �� ��� ��,������ ������ ���� ����0�-�+��������+��/�� � ������� ���� �������������� � ��� ������������ �� ������������ �� ��� ��� �� ������ -�+��=�>���+���>�/����������� ������ �����/������������� ������������ �������� ������������ � ��������������� ��+�� /� ���� ������� ���� ��� ������������9������ ���� ���� +�/�� � ������������ ���+��� .��?"��� ����?�/���� ������� �� �/� ����������������� ��������� �� ��� �������� ����� � ������� ����������������� ������������!������ ��� �� �������� ("����� -"� ��� � �����!�� �� �������� ���� ��� ������������ �������� �������� ������� ������������ �������≠�.����≠�.�� +� ���������� ��� ������ ��� ������ ��+������� ����� 5"������� ������ ���� ������ ���������� ����!�� :� � ������������� ���������� 5"��� ���������������� ��� � ������� �������� ��� ���������� �������� �����+�� ���� �������!������ �����������#            += +=== ∂−∂−∂−∂− −∂−∂+∂+= ==∀∂= ∀∂= − − ,)()( ,)()(, ), ()( ,)(,)(;,, ),(),(,,, ! $! ( $!. !$!& ..$ ! . . $ �+��+� �+�-+-�. ����** ) ��+�9 �+�-+-�.9 +�+-�.9 ) + + ;;�$� � ����-.���.���!���$��������� �� �� <�� �������� �� �������� ���� ���� ���� �� � �� ������������������������������������� ������ ��� � ���� ��������������� ���� ��������������������� � ������� ������������������� ������������ ������� ���������# � .)� �)��* ) ++++ +−−=+++− )( &$ ;;�&� 3����������� ����� ��������� ����������������� �� �������� ���� ���� ����� ���� ������� � ("��������������� � �� ������������������� ������� �� ������� ������ �����.�= ��=�.�������� ��������� �������������� ���������� ������� ������&�# ∫ −=+++− ? ++ ?? � �)�+��* ) . .. �&$ .)( ;;�(� % ����� � �������(�� � �� �������� �� � ������������ ����������������� ������ �������� ������������������� ��� �� ���������� ������������ �� ���� � �� ��� �� ����������� 2��� ������������������������$��� �������� ��� ������� ��� ���� ������ ��������� ������ ����-�+���� �������� ���� ���������� ������ ������9!�=�∂ ��� �������� ������ �������� ��� �>+��)�� ��*������?������� ��� � ����������� ���� ��� ��� ��� �!��� %�� �� ����������� ������������ � ���� ���� � ����� ���� ���������� ������������ � �������� ����������������������� ����������������� ���������� �&�������(������� ������ ��������������?�� .++++ �)� = �����������������������������������������������������������������������������������������������-� ����� ��� ���� ���������� ����!�� �������� �������� �� ���������-�������� �� ������������� � ���������� ����� ������������� ����� ������ ��#        = += += ++= − − )],()([)]([)( )],()()([)]([)( ),/()()( ,/)()( +*+�)+� +� +�+!)+�)+� +* !�+��+� 1+1�+�)+ .. ! .. .. $ . ! .. . $!.. $$ ;;�5� � ����@!��@$��������� �� ���������������� ���������� ����� ����������).�+����������� ������� �������������� ����������������� �����,�� ���# ),()( )( )( )( +-+ ,) +� �) !� )?+�!��) ++)� −+    +× ×        + += .. . . . $ . . ! $ ;;�6� � �� ���������� ���� ����������������� ����� �����-�+� ������+�� )��*�� ���� �� � ���� ���� %� ���� ������� ���,�� ������� ����5�������6������ ��� ������������� ������ �������*�����@� �� �������� 6"�������������������� ������������ ���� ���� ��������� ����� $"�� ("# )./exp()( ,exp)( $. $ ! . . �+�+� � ++ -+- −=             − −= ;;�7� 1����� ����������-.���.��+.���!������$�����7��������� ��� ������������� ������ ����� �� $"�� ("��*���� ����� ��� ��� ��� ��� ��� ��� � ��� ��� ��� ��� � �� ��� x 10 , A. -3 � � � +�������4 � ��������� ���� ���� ��������4�� �� ��� ������AB�����#�!�/ ����������� ������ �� ���� ��+�� ���������� �� �� ������ �!� � ��� �� ���� �� ������ ��� ����� �� ���� �������� ���##���� ���� &"�0 $� /� ������� ����� � ������ ���� �� ��-�+�0� &� /� ����� ���� ����� ����� ����+�0� >�=�!�µ2C��$����=�(.���D� &"� ������������������ ����� ������� ������ ��������������������������� � ������������ $6&�� ��$6$7������ �� ����������� �����������+����� ���� ���������� ������� ����� �� &"����� ����� ������<����!��% ��������� ������ � �� ������������!���������� ������ ������������������� �� ���������������������� ���� ������ ����� ���� ������� ������������ ������ ������������ ����� ���� ������������ ������ �������� ��������� ��������-E��% ����������� � �������������� ����������� ����!�� ���������� ����� ����� ����� ������������������ ����������� ������������������� ����� ���� ������������� ��� ���� ����� ������������� ��� ������ ������������������ �� ������� �� ����������� ������� ������� ����� ������ ����������� ����!���������� ���������������� ��� ��� 7"� %��<����$��������9��� �� ���������� �� �������� ����� ��������� ����� �������� ����� ������������ �� ����� ��� �� ������+���������������� ������ ��>��%�� ��������� ��� �� �� �������������������� ����� ��������!��<����$��� : ��� �� ������� �� ����������������������$�(��<����$�� ����� ����������������������� ���������������������� � ������� ����� �������� �� �� ���F������������������ ����� ������� �� ������������������ ���������������� ���� ��� ��� � ���� ����������������� ��������������%�� ��������� ����� ����������� ������� ������������� ����� �� ���������������������� �� � �� ������� �� �����<����$��� ��� � ������������������� �������������� ��� ������� ����������������� ��� ������������������� 4�������������� ���� ���� ������ ����������������� ��������������� �������� �������<����&��% �� ������� �� ��� � ���������������� ����������������� ������� ��� ���������������������� � ��9����� ����������������������� ����� ������% ���������� ���������� ������ ������������� ���� ������������������� ����������� ������������ ��.�! ���������� ������ �������������������������.�.$�.�.-���� ������ ("���������������� ������������ ������������� ����� ���� ���������������������������� ���������� ���� ������ ��������������������� �������������� ����������������� �������� ���� ������ � &"� ������� ������������ �������� ������������������ ������������������ ������ ��������� ����������������������������� ��� ������������������� � �������� ����� ������� ����������� ����������������� �� ������ � �������<����(��% ������������� � � �������� ������������ ���� ����� ������������ �������� ��������G�.����G�.������� ������� ����� �� � ����������������� �� ������ �������� �� ��� �� ������ ��������������!��<����(���H� ������������� ���� ������������������ � ����� ��� �������� ��������� �� ������� ����� ���� ���� �������� ����� ����� ����� �� ��� �������� ("�� -"������� �������������������������� ������� ��� ������������$�����&��<����(���%�� � ���������� �5�������6������� ����������� � ������� ���� �������� ���� �������������� �� ������������� ���������� ��� � ����� �� ����������� ��������� �� ������ ������ ������������� ������������ ���� ���� ���� ������������������ ���������� ��� ��� ��� ��� ��� � � ��� ��� ��� � �� x 10 , A. -3 � � � � ��� ��� ��� ��� ��� � � ��� ��� ��� � �� x 10 , A. -3 � � � � � +���� ��� 3������ ��� ����������� �������� ������ �� ��� � ���� ��� �� ����� � ��# ����������� �� ������� �� ������+��� ���������� ������ �� >� ��� ���� �� � �-.�=�.�5�#�!�/��.�=�.0�$�/��.�=�.�.&0�&�/��.�=�.�!-0�(�/��.�=�.�6-� ��� ���� ������ � ����� �� >�� �� � ������ �� ���� ��� ���� �� � ��.=� .�!-�# !�/�-.�=�.�.50�$�/�-.�=�.�50�&�/�-.�=�5� ��� ��� ��� � � ��� ��� ��� ��� ������� x 10 , A. -3 � � � +���� )�� 4 � ���� ����������� ��� ���� ����� ��� �� �������� �� ����������� ���� ��������# !�/�(.���D0�$�/� �-$���D0�&�/�65���D� $6( �� ��$6$7������ ������������������ ����� ������� ������ ��������������������������� � ������������ ��� ������������������ ��������� � �������������� ��� � ������������������� ���� ������� ���,�� ������� ����!�� ,���� ����� � ���� ���������������� ��������� ������ ������������� ��� � ����������������� ���� ��������� �� �������� � � ����� �� � ������� ����������� ������� ������������� ���� ���������������������������� ������ � ���� ���� ���� ��� ������������������� ������� ������ �������� ��,����� � �������������������������,��� � � ��������<��� ������� ������������� ��+������� � ����� ��� � ����������� ��� ����� �������� �� ������������������� ������ �������� ��� ���� �� �����,������ ����������� ���������������������� ��� ���� ������� ���������� ������������ �������������� �� ��� ���� �������� ����������������������� ������ ����� �� � ���� ���������� ���� ������������ ����� ������� ������ ����� ������������������������ ������������������ ����� ���� ��������������������������� ������ ��� ����� ������ ���������������� ���������������� ��� �������������� A��������� !� %��2��2��������2��8��2���������2�� %���� �������� ���� !� �� ' !���� �� ���� � � �� ���� � �� ���� � ,��� D��� ���� � ����� F������ �!I7(�� ���� *�������� $� D�� +�� D��� ������ J�� 2�� @ ��������A�� � �� !��� ��� �� ��� ' � ���� ���� 8������� ������� � �!I6I�� ���� *�������� &� D��8��J�� �����8��8��J������������2��D�������� ������� � +�4�� 4�������� 1�������� ��� ����� �� ������ �� ��� � ���� ��� ���� �� �� �������� CC�0 B ��� �4��� ���� ��!� ) �� � )� �-�-��� �7&-� 7&I� �!I6-�� ���� *�������� (� 2��D��@������ ����2��%��1� �� �����������D��K��%������� ����� F����� ��� ����� � ����� ���� ��� ���������� ��� ������ ��� � ��� �� ��� � ���� CC����� ��� �� 0 B ����� �� C������� ).�!.�� �!-6&�!-6I� �!II.�� ���� *�������� -� 8�� 1�� F���9���� ��� %�� �� �������� 1�� D�� 1������� '�� %�� K����� ����������������� ���� ������ ��� ����� ���� ����� � ��������� ���� ������ ���� ����������� ��� �������� CC�0 B ��� � 4��� �� � ��!� ) �� � )� �-�!$��� �� $$I$�$$I-� �!I6-�� ���� *�������� 5� 1�� L�� M�������!!� �� ��� �� ? �� ,� �!�� � � ������ ��� �D��' ���� E����� �� �+ �� ���� ���� ���� 4 �������D������� H��� ����� N����������� 8��� O����� ������ �!I75�� 6� O��� ��� J���� �� ���� D�� %�� '������� 2�� 8�� +�������� �� 2���� �� ��� ���� �������� ��� H24%3�� 1������� ������ F����� �!I77�� ���� *�������� 7� :�� '�� F����������� ���� � �� �� �� � ������ ��� �D�� ��� 8��� O����� +������ �!I-&�� �� ��� ��� � � ��� ������ ��� ��� � �� � � � ������� +���� /�� � ����������� ������ �� ���� �� �������� ��� ������� ��� ����� Φ� ���������� �� �� ������ �!�# !� /� ����� � �������� ���� ��� ����������0� $� /� ��������� ��� ��������� ���������� � ����� �� �������� �� &�/� ������� ������ �� ���� �������� ������ ��� ���� ����� � �������� ���� -"� 0���#� �������� ���� P����Q� ��� �������� � ����� ���� P������������� ��� �Q�