Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals

We used X-ray diffraction method of total rocking curves and nondestructive direct observation techniques (atomic force and scanning electron microscopies) to quantitatively determine the defect characteristics (radii and concentrations) for the main types of defects in Czochralski-grown silicon sin...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2000
Hauptverfasser: Prokopenko, I.V., Kislovskii, E.N., Olikhovskii, S.I., Tkach, V.M., Lytvyn, P.M., Vladimirova, T.P.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2000
Schriftenreihe:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121174
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals / I.V. Prokopenko, E.N. Kislovskii, S.I. Olikhovskii, V.M. Tkach, P.M. Lytvyn, T.P. Vladimirova // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 275-281. — Бібліогр.: 28 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-121174
record_format dspace
spelling irk-123456789-1211742017-06-14T03:05:10Z Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals Prokopenko, I.V. Kislovskii, E.N. Olikhovskii, S.I. Tkach, V.M. Lytvyn, P.M. Vladimirova, T.P. We used X-ray diffraction method of total rocking curves and nondestructive direct observation techniques (atomic force and scanning electron microscopies) to quantitatively determine the defect characteristics (radii and concentrations) for the main types of defects in Czochralski-grown silicon single crystals annealed at 750 °С. 2000 Article Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals / I.V. Prokopenko, E.N. Kislovskii, S.I. Olikhovskii, V.M. Tkach, P.M. Lytvyn, T.P. Vladimirova // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 275-281. — Бібліогр.: 28 назв. — англ. 1560-8034 PACS 61.10.Eq; 61.71.Ff, 61.72.Ji, 61.72.Nn, 61.72.Qq http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121174 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description We used X-ray diffraction method of total rocking curves and nondestructive direct observation techniques (atomic force and scanning electron microscopies) to quantitatively determine the defect characteristics (radii and concentrations) for the main types of defects in Czochralski-grown silicon single crystals annealed at 750 °С.
format Article
author Prokopenko, I.V.
Kislovskii, E.N.
Olikhovskii, S.I.
Tkach, V.M.
Lytvyn, P.M.
Vladimirova, T.P.
spellingShingle Prokopenko, I.V.
Kislovskii, E.N.
Olikhovskii, S.I.
Tkach, V.M.
Lytvyn, P.M.
Vladimirova, T.P.
Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Prokopenko, I.V.
Kislovskii, E.N.
Olikhovskii, S.I.
Tkach, V.M.
Lytvyn, P.M.
Vladimirova, T.P.
author_sort Prokopenko, I.V.
title Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals
title_short Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals
title_full Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals
title_fullStr Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals
title_full_unstemmed Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals
title_sort comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2000
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121174
citation_txt Comprehensive investigation of defects in highly perfect silicon single crystals / I.V. Prokopenko, E.N. Kislovskii, S.I. Olikhovskii, V.M. Tkach, P.M. Lytvyn, T.P. Vladimirova // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 275-281. — Бібліогр.: 28 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT prokopenkoiv comprehensiveinvestigationofdefectsinhighlyperfectsiliconsinglecrystals
AT kislovskiien comprehensiveinvestigationofdefectsinhighlyperfectsiliconsinglecrystals
AT olikhovskiisi comprehensiveinvestigationofdefectsinhighlyperfectsiliconsinglecrystals
AT tkachvm comprehensiveinvestigationofdefectsinhighlyperfectsiliconsinglecrystals
AT lytvynpm comprehensiveinvestigationofdefectsinhighlyperfectsiliconsinglecrystals
AT vladimirovatp comprehensiveinvestigationofdefectsinhighlyperfectsiliconsinglecrystals
first_indexed 2025-07-08T19:20:24Z
last_indexed 2025-07-08T19:20:24Z
_version_ 1837107698469961728
fulltext 275����������� � �� ����� � ���� ������ ������ ������������ ���� ������ ������ �� ��� � ���� �� ���� �������� ��� � ���� � � ����� ! ���� � � ��"� ����"�#"� $���� $"� �"� �%&'�()" ��������� � ������ ��������� ��������� ��������� ���� ��������� ��� ��� �� ����������� � ��� ����������� � ���� �������� �� ������������������������ ��� � ��� ����!� ���� � �����"��#����$����"��%� ����� #�������� � ����� )��� � �� ����� � ���� ������ ������������ ����*&��� �!�� ��������+� ,'�(����'�$-&������� �� .��"/�0$(�'**1��2�3�4/�0$(�'**1���2��'�� �/ �5"#"�+������ ,� ��� � �� ��6� ��� ���� ������������ ���� $-� 7�,�"� #������� 8 �� +� ,')*�����'�$-(������� �� $��� � �� �� ��!��'9����6� �� ������������� ���� +� ,������ �� &' ��� �������������� �������!"�#��$�"%#��#��"#"�&��#!'��(�!��)��������#����"��!"�)������!"�#*���)�� "�#��"�!%�������+�"#$�!��#�!�������!�����(��&�!"�#��$�!�#�!#,���-�"#�����"�"�"�)�& ���"��$����"%������!" !%���!"����"�!��+����������!#�!��"��"�#��-��#��"%��$����" ,���#������!"������.#!%��&�'��(�#/����&�!#� ���(&��!� �"�&�������&����"� 0 �12� ���(��� )����� �������!"�#����"��!"���&�����!"�����&�!#����!�����(��&�!"�#��$�!�#�!#, ���"#$�!��#�!� $�!�#�!#, � ��,�����!��)��� 3� �� ����)�����$����!��,"���!��)��� 4� � ���!!�,"����#��,�*&�!�"�#����� � � ��� �� ���*� �� 5"����/�&&�'�#/��"%�"���&�!#�����(&��!� �"�&��/�"%#�"����&#� !�"�#�����)���"%��$#�"�,����!"�#�����!#�"������������"��"��!� "���&�����!"���6%��������,#��"�����!"��+��"���"�"��&���&�!#� �"#$���)�!��!���������$,���" ��"#$�-�����)���#���!&��� "�����#�$���* �"%�$�7����8���%���!"���.�"�#��#������!" �"��!"���������!%�!� �"�&�����#��(���"��$,#�"��!���#��$#�� ������&�!#��*��������"��$��"��$�'��(�7����8������#&)��( ��$��#���,�#*&�$������"�������.�"�#������$�"�#&#( 79��48�����/�&&�����#�������$��"�&���)��"�(�"�#���#��!� �� "�&&�����"��!"����70���8� :#/�)����"%���*#)��,�#*&�$�#��!%���!"���.�"�#��#� ����!"�������"��!"���&��$,����!"�#����"�&&���$�����������#$ *���(��#&)����6%����������"#�"%����!"�"%�"�����!"������!� �;"��$�& ��$�&&�&�""�!�����"#�"�#���������"����)�� ������!�&" "#���"�!"�"%�$��6#��&&��"��"���#���,��!"�!�&& �!���#"���� "�!"�����!"������.#!%��&�'��(�#/����&�!#�����(&��!� �"�&� +�����&����"� 0 �1�-�* �����(����� �"#,#(��,% �+�������(�� 7�8-��6#��#�"%�����#$���,�!��&�!#���"�#�������"#�*��,�#)����� ��!%����%�(%����#&�"�#��,&����/�)������ �"#,#(��,% �* ����(�� �!%�#"�#�������"�#���#��)�� �"%�����$,&���7 8�+��� �&�#�7<8-��6%��!#�)��"�#��&����� �������!"#$�"� ��/%���*�� ��(��,,&����"#���!%���$,&�������*&���#���"#���"�!"��$,��� ��!"�#���#�& ��"�$������$��"��#����"�(��"�����"����"����73� � 8��6%�������& ����$�'����"�,#���*&��"#���"��$����#�& �#$��(�����&�,���$�"����#���"��!"���&�,����!"�#��=��"�"�! >�* ����&&�����!"#����������!"�!#���&�"�#��&��("%��������" *��"��"#���"��$����,���$�"�����#������!"��#��#�& �#���" ,� "%�"��������$���"#�*��,���#$����"� 6������#����&�!#����$,&��������&����"� 0 �1��"%����"�� (��&�������������"��&�γ ��������!"#$�"�����7������8����*&� #���"#���"�!"�)�� �&��(����)��"�#�����#$���"����"����!%��� �!"����"�!��#��,����!"�!� �"�&���6%����"�!%�������+�����$�&&� ��(&�����"�#���!�""����(�7�����98����/�&&-��%#/�)����%�)� �#"��#������/����,��!"�!�&��"�&�" ��?���������"�����$,#���*&� "#����& .����!!�����&& �"%������&"��#*"������* �"%����$�"%� #���/�"%#�"�����(����������"��"%�#��"�!�&�$#��&��#��� � ��$�!�&�������!"�#��#�������"�#���������(&��!� �"�&��!#�"���� ��(�����!"�������"%��!#$,&�!�"���!%���!"���#���!"��&���� ��!"��"��!"�����&�#�%���"#�*���!!#��"����#�� 6%���*#)�������!�&"����$� �*��#)��!#$��"#���&��(���;� "��"�* ��,,& ��(�"%��"#"�&��#!'��(�!��)��+6@�-�"�!%������ /�"%�"%������#��%�(%����#&�"�#���#�*&��!� �"�&����� ����� ���!"#$�"� �7�4���08��6%���$�"%#�����*�����#��"%��(����� �&�.���� ��$�!�&�"%�#� �#�������"�#���!�""����(�* ��$� ,����!"�!� �"�&���5"�(�)�������&��!#����"��"����!��,"�#���#� ��(�&�����,�����!����#��*#"%�!#%����"�������������6@� !#$,#���"��7��8��6%��$�"%#���$,&# ���;,&�!�"����& "�!�& ��&�"�#��%�,��*�"/����"%����"��$�����������!"�#��,���$� �"����#���"��!"���&�,����!"�#��+"%���"�"�!�>�* ����&&�� ��!"#������!#����!���"�#���*�#�,"�#������"#����������!�"� "����(-���������!"�!%���!"����"�!���6%���$�'����"�,#���*&� "#�,���#�$�!#$,��%����)������"�"�"�)�����(�#�"�!��#���!� "��&�����!"��"��!"�����������(&��!� �"�&�� � � �� ��$0$1������ ����������������� ����)���������� ��� ��� �� ����������� � ��� ����������� ���� 6%��#*A�!"�)��#��"%���/#�'�/���"#�$�'��!#$,��%��� ��)����)��"�(�"�#��#���!"��&�!#$,&�;�����!"��"��!"�����#� %�(%& �,����!"��.#!%��&�'��(�#/����&�!#�����(&��!� �"�&�� *#"%��#�������&���������"�����#"%��$�&������&��(��"� 0 1�� 6#��#�"%����/�������"%���*#)��6@��"�!%����������%�(%� ���#&�"�#���#����"��!"�)������!"� #*���)�"�#��$�"%#�� +�"#$�!��#�!�������!�����(��&�!"�#��$�!�#�!#,���-� ��� ���� �� ��� ���� +*� ��������� � ��� ����� �������� ������ �� ��� � �� ��� �� 6%��6@��"�!%�����������(�����&�.�"�#��+�#��"%��!����#� &��(������!"�-�#��"%��/�&&�'�#/��$�"%#��#��B��"�(��&C����� ������!�""����(���"����" �+D���#��$�"%#��������7� ���<8-� D�"���*�����#��'���$�"�!�&����!��,"�#��#��"%����"�(��"�� +#)���"%��#�",�"���(&��-����������!�""����(���"����" ��"�"%� 6@��"��&�����!%�����,,�#�!%�$�'����"�,#���*&��"#���"��� $����*#"%�����!"���.������!#�!��"��"�#������#$�"%����� ,�����!��#��"%����"�(��"������������!�""����(���"����" �#� "%����(&��#�� ��!����!��� 5�� "%������!"�)����.���#������!"� :��������!#$,���*&��"#�+#���;!���-�"%���;"��!"�#��&��("% Λ��"%���#���%���"#�!#�������A#��"& �"%��!#%����"��������� �����!#$,#���"��#���!�""����(���"����" ����"%��/%#&��+��� !&����(�"#"�&����&�!"�#�����(�-���(�&���#��"%��*�����#��� � ��$�!�&�"%�#� � �%���"%��$������$��"������$����* �����(�"%���#�� *&��!� �"�&�������!"#$�"���/�"%�/���& �#,�����"�!"#��/��� �#/��6@���#�������(&��!� �"�&�/%��������!"����������#�$& ���"��*�"����������$�#��"/#�+!#%����"������������-�������!� "�#����"����" �!#$,#���"��"%�"�������"�(��"���#)���"%��#�"� ,�"��#&�����(&���6%� ���,����#����$,&����)��"�#�� θ∆ ���#$ "%���;�!"�?��((����&�!"�#��,#��"�#��#��"%��!� �"�&��"����� 7�4���08E� ( ) ( ) ( )θθθ ∆+∆=∆ ����!#% ::: � 5��#�$�"�#��#��"%������!"�!%���!"����"�!���,,������� "%����!#$,#���"��"%�#�(%�"%���"�"�!�>�* ����&&�����!� "#��� ( ),;� −= exp ������!#����!���"�#���*�#�,"�#������"# �������� �!�""����(�� ( )θµ ∆�� �� 5�� "%��� !����� ��� "%� ��$�������"��!� �"�&��,,�#;�$�"�#��+������/%��� � >> µ � /%���� µ � ���"%��&������!#����!���"�#��,%#"#�&�!"��!��*� �#�,"�#������ ����"%��!� �"�&�"%�!'����-��"%��!#%����"�!#$� ,#���"��:!#%�����(�)���* �"%���;,�����#��/%#����#�$��� ��$�&���"#�"%�"�#��"%��!#����,#����(�#����#����,����!"�!� �� "�&�7�38��*�"�/�"%��#$������"�#��&�,���$�"����"%�"���� �;,�������"%�#�(%�������µ�����#��� $$�"��!�������!"�#� "%���������#��!#$,#���"����+���"%����$���,,�#;�$�"�#�- ( ) ( ) ( )θµ θµγ θ ∆ ∆ =∆ 2 ds0 diffR � :���� γ ����"%������!"�#��!#�����#��"%����!����"����� *��$��"%����"�������!���*�#�,"�#��!#����!���"�� ( )θµ ∆ ���� #��"%��#�����#�� Λ/π ����"%��"#"�&����&�!"�#�����(��������� �*#�"� γµ / ��"� <>>∆θ ��/%����<����"%��/��"%�#��"%� "#"�&����&�!"�#�����(�� 6%����(�&�����,�����!��#�� ��µ ����)�� ������"�)��"#���� ��!"�" ,��������.���6%�����!"����*&���#���"#�,���#�$����(� �#�"�!��#��!#$,&�;�����!"��"��!"������#�$���* �����!"��#� ��������"�" ,���������.���7� ����8��5��"%������!"�!#�!��"��� "�#���������.������������!���"& ��$�&&��"%���"%����,��,#��"�#� ,���!�,&���#��"%�����"�"�!����,&�!�$��"�����&���%#&���7��8� 5��"%���!�����/%���"%���������#�!#���&�"�#������"%������!" ,#��"�#����#���!���,�����"�"%��(�����&�������!"�#��,���$� �"����#���"��!"���&�,����!"�#��� ,; ����� ��µ �������$��#� !#�"��*�"�#�����#$�"%������!"��#����!%�" ,��α�7��8E ∑= α α ,, ;; ����� ( ) ( )∑ ∆=∆ α α θµθµ ���� � 6#�,���#�$�������"������"�"�"�)�����(�#�"�!��#����� ��!"����#$�"%��6@����(�&�����,�����!���� ( )θ∆: ������!% !�����+������,�!��&& �/%���"%������!"�����!"�)��������� ���: � �#���"�&���"�#���" ,��#������!"������!#$,���*&��"#�"%���;� "��!"�#��&��("%�Λ-��#���%���"#�$�������6@��/�"%�%�(%�)��� ������!����!����(&�����#&�"�#�� 6%����!����"����� �*��$�%���"#�*��!%���!"���.���* �%�(% ��(����#��!#&&�$�"�#������$#�#!%�#$�"�.�"�#����������� "�#��&�����#���#��"%�����������$��"�����"%�"����"%���!��� #���!�����"�!"���"����" �#�!�&&�"�#����#���� $,"#"�!����� ������!�""����(�7�9��0����8��6%�����*�"��"��&& ��$,�#)���"%� ���(�#�"�!����&��*�&�" ��6%��,���#��#��"%����#�!�&&�"�#����#� ���������!�""����(���"����" �+*#"%���������"��&�7�9��08���� ��"�(��"���#)���#�",�"���(&��7��8-������"��$�����* �"%����� ��!"�)�� ����!"� ������� ���: ���#�� !&��"���� "%��� ������� �� clAHR =eff ��:����=����"%��$�(��"����#����!�,�#!�& �,�!��)�!"#��� clA ����"%��!&��"���,#/���+�#���,%���!�&�!&��� "���� clA 9 �:εΓ= �� /%���� ( ) ( )νν −+=Γ �� 9 � �� ν � ��� "%� �#���#����"�#��ε����"%���"������"�!&��"���*#����� �����:���� "%��!&��"���������-���#�����&#!�"�#��&##,�� 9>:: ;=��� � /%���� ;: ���"%��&##,������������>����"%��?��(����)�!"#� $�(��"���� 6%���*#)�����"�����#��6@��"�!%����������/�&&����!#�� ��"�#����#�����(�#�"�!��#��!#$,&�;�����!"��"��!"��������� "��$����"%������#���#�*&��!� �"�&�������!"#$�"����/�"% %�(%����#&�"�#������ �#,"�!�&�����(��+������(���-��6#�"���" ������"�& �"%��$��������6@���#���%���"#�"�'����"#��!!#��" "%�����"��$��"�&���!"#����6%���!���*���#���* ����(&��!#�� � α1 � � - ������>��(��$�#�����+���-��������+999-�� $$�"��!�?��((����&�!"�#���$���� ���$��"��* ���%�(%����#&�"�#������ �������!"#$�"���+���+α��!%���!"����� "�!������"�#�-E���=����� �"�*���F������F��=�$#�#!%�#$�"#������=���$,&�� >�=���"�!"#�� ����������������� ����)���������� ��� ��� �� ����������� � ��� ����������� ���� � �� ��$0$1������ )#&�"�#��#��"%�����"��$��"�&����!"�#��/�"%�6@��#��"%� !� �"�&��"������7� 8� ������ ���� ���� ��� ��� ����� ������ ���� � �� ��� ���� ����� ��� � ��� ���� � ����� �� 6#��"�� �"%����$,&�������!����/�������"%���"#$�!��#�!� $�!�#�!#,��+��F-����#�!#,��555��+>�(�"�&�5��"��$��"�� G��-������!�����(��&�!"�#��$�!�#�!#,��6 �D��?��94 +�.�!%�@�,�*&�!-��6%�����& "�!�&�� �"�$��#������( ����� ,����)������ �$�!�#���& ����D5�H�<� �+GH-����*&����� "#����&�"�"�)�& ���"��$�������"��*�"�#��#��,%������������� ����#�����������"%����$,&����"������* �����(�!%���!"����� "�!����� ������"�#�� 6%����F��!����/����"�'���* �"%��� �µ$��!������+I� �!�����-�����(��"!%�����&�!#��"�,�+/%#����������#��!��)�� "����/���J ��$�����#���!���������! �/���9� �':.���� �,���(�!#��"��"�/����*#�"�J�� ��K$-����"�,,��(�$#����6%�� ���*&������"#��"�� �"%����$,&�������!�����"�����/%#�����.�� )��������#$���)���&�Å�(�"�ö$���,�"#�"����#��$�!�#��� $���.��� ��� ��� ����� 6%����$,&���������#����)��"�(�"�#���/����,��,�������#$ /������ "%�"� %�)�� *���� !�"� ��#$� "%�� !��"��&� ,��"� #�� � �.#!%��&�'��(�#/����&�!#����(#"�+(�#/"%��;���〈111〉-��6%� $�"����&�/���#��!�" ,����"�������"�)�" �/���� �0�Ω⋅!$���#�� !��"��"�#���#��#; (�������!��*#��!#�"�$���"�#���/��� J����⋅� �<�����≤�� � �!$�9�����,�!"�)�& ��6%����$,&����!�" ��#$�/������"����)����& �"#�"%��(�#/"%��;����/�����;,#��� "#�!%�$�!#�� ��$�!�"���"$��"����"����"�"%����"%�!'�����/�� 0 �µ$��6#���$#)��,#���*&��$��'��(��#��"%��"���"$��"� "%����$,&���/�������"%����"!%���"#�"%����,"%�#��� �µ$�#� *#"%������� 6%����$,&���#*"���������"%���*#)��/� �/������,�� ��"�����"#�"%����(�#�,�E�D ��D9 �����D0 ��6%#�����#$ D9 �����D0 �(�#�,��/���������&����"���"�$,���"����#� 0 �1���#��9 �����0 �%#��������,�!"�)�& ��+6%��$�&���� ���&��(�/���,���#�$�����������&���#�������".�"�*�����"%� ��(#���"$#�,%������"���,��������#���0 �'����"#��;!&��� ,#���*&��#; (���B��,&�"�#�C�#��"%������������!��&� ���- 6%���"%� �/��������%������������/��%���/�"%�% ��#�&�#��! �!����#��"/#�$���"���"#���$#)��#;������&$�"%�"�$�(%"��,� ,�����"�"%����$,&�������!�� 6%��D ���$,&���/�����#"������&����6%� �/����������#� �"������#������!"��"��!"�������"%�����(�#/�����(&��!� �"�&� /��0� *� ����� ��� ��' ���� �� L�����)��"�(�"�#���/�"%�"%���"#$�!��#�!��$�!�#�!#,��%�)� ��)��&���*�"��"��&����"��!"�#�����������!��$#�,%#&#( �#� "%����$,&����"������+������(���-� �#�����(�#/��D ���$,&���+��(����-�"%��������, ��$�� ��&����(�������#$& ����"��*�"���#)���"%�������!���6%�����)� ���(����.������%��(%"������*#�"� ���µ$������0��$�����,�!� "�)�& ��6%���������!��!#�!��"��"�#������*#�"�<⋅� <�!$��� �#�������&���D9 ���$,&���+��(���*-�#���!�������, � ��$���&�,��!�,�"�"��� +/%#����)���(�� ��.��� ���� ��� ��� �4�µ$-�����/�&&����"%�����((��(�"�����"�"%�������!���6%� ���(��%��(%"�����*#�"�0 ��$� �#�������&���D0 ���$,&���+��(���!-�"%���)���(����.�� #��, ��$���&����(��������*#�"� �������� �40�µ$��/%�&��"%��� �)���(��%��(%"������� �����0 ��$�����,�!"�)�& � ����&�#�$����������& ����#��"%����$,&�������!���#�(%� ������:���*�����#��"%������&"��(�)���* �"%���"#$�!��#�!� $�!�#�!#, ��6#� �;!&���� "%�� ����!"�#��,#���*&�� �����!� $�!�#�!#,�!�"�&"�#��"%���#�(%�����)�&����/��!�&!�&�"�� "%�������!���#�(%�����* �"%���#&&#/��(��;,�����#�E ∫ ∫= � 4; ; �4 � ���4�4� ;; : � |),(| � :�����+4��-���������!"�#��"%�"���,�����"��"%����)��"�#� #��"%�������!���"��������#$���,&�����;4�����;��������.���#� "%��������#��/%�!%�#�����"��$������#�(%����� 5"������$��'�*& �"%�"��#�������&�����$,&���"#"�&������!� �#�(%������ �) �: �������*�"��"��&& �*�&#/�"%�"��#�����(�#/� ��$,&���+����6�*&���-���"�"%����$��"�$��"%�������!���#�(%� �����:��+��"��$������#��"%�����&�� �0× �0�µ$�/�"%#�"�$�!� �#�!#,�!����(��-�����,,�#;�$�"�& �"%����$���#���&&���$� ,&����5"��%#�&��*���#"����%#/�)����"%�"���"���"%��$�&���� ���&��(��#��#�& �9 �%#����"%�������!���#�(%�����:����� �#�����#�$�" �����$�;�$�&��6%��$�&������&��(��#��0 %#����&�����"#����#�(%�������!����������$�'��������!� $#�������#�$� L���!���������#$�"%���!�����(��&�!"�#��$�!�#�!#, ,�""�����"�'����#��"%��D9 ���$,&��+��(��9�-�"%�"�"%������� ,��!�,�"�"���+�*#�"� �0�µ$������.�-�����"%�����((��(�"��� 6%��!%���!"����"�!����� ������"�#��$�,,��(�#)���"%������� ��!��+��(��9*-���((��"��"%�"�"%���*#)��,��!�,�"�"������ ��!&���#���#��!%�#$��$��"#$��*#�����"#�#; (���+,�#*� �*& ���L9-��6%���!�����(��&�!"�#��$�!�#�!#, �,�""���� "�'����#��"%��D0 ���$,&��+��(��9!-��%#/�,��!�,�"�"���/%#�� ��.�����≤���µ$�����/�&&����&����������!"��+�*#�"�� �µ$��� ��.�-��"�$$��(���#$����&#!�"�#��&##,����"����!"�#��/�"% "%��!� �"�&������!�� 1��23����� ����� ��� *� � ���������� ���� �� � �� *� �6%��6@���#��"%����$,&����"�����������%#/�������(��4���%�� "���"��(�"%�$��/���������$#��&��#������!"��"��!"����"%�" ��!&�����,�����!��#������#$& ����"��*�"������'�&�'��,��� #�'��� ��� *������ ��*���� � ���� � 3���(�� ������ %44� ��� ��������� ����� � %$4�� %14� 5εεεεε��6� 3���� ��� � ��� ����� �������� ���*�� � � � ������ � *������ �� � 7� ��$,&� ���&�� ��.�� ���&�� ��.�� �# �0× �0µ$ 0×0�µ$ �: ��Å ε��M N �) �: ��Å D ��� � �9 �������������3�< D9 ��3 ��� � �� D0 N�0�� �����9� ����� �9 � < �� ��$0$1������ ����������������� ����)���������� ��� ��� �� ����������� � ��� ����������� ���� - �������#&�������,&����,�""�����#�������$,&�������!����&����(�)���* �"%���"#$�!��#�!��$�!�#�!#,���#����$,&���D �+����´-��D9 �+*��*´-�����D0 �+!��!´-� � � � �� �� �� ����������������� ����)���������� ��� ��� �� ����������� � ��� ����������� ���� � 3�� ��$0$1������ !�,�"�"�������!��!�&������&#!�"�#��&##,�����"%��!� �"�&���� /�&&� ��� ,#��"� ����!"�� ���� "%��$�&� �������� �!�""����( 7� ����8��5"��%#�&��*���#"���"%�"��&&��""�$,"��"#����!��*� "%��#*���)���6@�����"%��/%#&����(�&������(��* �����( #�& �#���" ,��#������!"�����&���+�"�/���,#���*&��"#���"�#�& ��#&�"�����(�#���#����(�&�����,�����!���-��6%�������&"� ��#$�"%����!"�"%�"���������!#$,#���"��#��6@����#$���� ��!"��#����������"�" ,���+������.��-�*�%�)�������������"�/� � �����������"���(�#���#��"%����(�&������(���5"����"%�"���!" #�'��� ��������� �� � � ��� ���� � � � � ���� � ���� ��� ���� � �� ��� ����� � �� ��� ���� ���� � 5���7� 8� 5$$$7� ������ �� � 5�* �ααααα�3� ��7�� 5� �� � � ����� � ���� ��� ��� * �� � ���� � ���� ��� �� ��� � �3� ��� ���� � � � �� �� ��� ����9��!� �����!� ���� �� ��� * � ���� ��� �� ��� � ���� ��� ���� �� �� ��� �����7 ��$,&���# :�� µ$ �����$ ����!$ �9 :;��µ$ �;��!$ �9 ������� %44 ��� �� ���9 3� ⋅� � � �0 ��9⋅� �� N � � 9�0⋅� �� 999 �� �N���9 � ⋅� � � �0 3�9⋅� �� N N�� ��4⋅� < %$4 ��� ��0 NNN3�� ���⋅� � � 9 0� ⋅� �� �0 ���� 0� ⋅� 3 � � ���⋅� 999 ��0 �NN<�9 �� ⋅� �� � 9 �0⋅� �� �0 ���� 0� ⋅� 3 ��� ���⋅� < N %14 ��� N �� �9� �� ⋅� 3 � 90 �� ⋅� �� N NNN N0� 0� ⋅� 999 N �� �9� �<⋅� 3 � 90 0�0⋅� �� �� ��0⋅� < - ���$����""�����#��������(&��!� �"�&������!��(�)���* �"%���!�����(��&�!� "�#��$�!�#�!#,���#����$,&���D9 �+"%���$�(������!�""������&�!"�#���+�-��"%� ��$�������*�"����!%���!"����"�!����� ������"�#��#��!%�$�!�&��&�$��"��#� �����!��+*--�����D0 �+"%���$�(������!�""������&�!"�#���+!--� � ��µµµµµ� � � ��µµµµµ� �< �� ��$0$1������ ����������������� ����)���������� ��� ��� �� ����������� � ��� ����������� ���� /%�!%����*&���#���"#�,���#�$����(�#�"�!��#��!#$,&�;���� ��!"��"��!"������5��"%���!������!#����"��! �#��6@�����!��,� "�#�����"%��"#"�&����&�!"�#�����(��+?��((�,��'-������"�"%� "��&�����#���$,#�"��!�� �����"��$�����"%������!"�,���$�"����+�������:���"%�!'� �����������������" ����#�����'�&�'��,��!�,�"�"�����������:; ���������" ��;�#�����&#!�"�#��&##,�-�* ���""��(�"%��$���� �����6@��/�"%�����#��"%���;,�����#����#�� !#%: ���� ����: ��� �� �� �� �� ��� ��� � �� ��� �� �� �� �� ���� � ���� � ������� � � � � � � ��� �� �� �� �� �� � ��� � � � �� �� �� - ���/��6#"�&��#!'��(�!��)����#�������$,&���+���+α��!%���!"����"�!������"�#���+���-����&�!"�#�-����"%��"#"�&����&�!"�#�����(��+���*��!-������"�"��&��(a´, b´, c´) +�#&���&����=�"%�#� ���#"������;,���$��"-����$,&��E�D �+����´-��D9 �+*��*´-�����D0 �+!��!´-���%#/�������&�#�"%��!#%����"�+"%����#&���&���-�������������6@� !#$,#���"���#��,��!�,�"�"���+���%���&���-�����&#!�"�#��&##,��+�#""���&���-�����,#��"�����!"��+���%��#""���&���-� ����������������� ����)���������� ��� ��� �� ����������� � ��� ����������� ���� �<��� ��$0$1������ #*"���������7� ����8��6%����"��$�����,���$�"���)�&��� ����(�)������6�*&�����L����%#�&���#"��"%���(���$��"�*�� "/����"%��,���$�"����)�&����#��,��!�,�"�"��������$�&& &##,���#������#$�6@���#����������"����&�!"�#����6%����.�� #��&��(��,��!�,�"�"����������&#!�"�#��&##,���(����/�&&�/�"% "%#�����"��$�������#$�����!"�#*���)�"�#���+������(���� ����9-��6%����.���#���$�&&�,��!�,�"�"����������&#!�"�#� &##,������!&#���"#�"%#���#*���)����#����$�&�����$,&���* "����$����#���&�!"�#��$�!�#�!#, �7����<8��>�������!���*�� "/����"%�������"����$� �*������"#���������"�!#���"�#���#� �"�"��"�!����)��"�(�"�#��/�"%����� �������!"#$�"� ������&�!� "�#��$�!�#�!#, �����/�&&������������"�"%��$�&�,��%��"#� #��!� �"�&������(�#/��(�!#���"�#����6%� ������"��&& ���� ��!"�*#"%�"%��,��!�,�"�"�#��!��"���������" ���������!"��#�� $�"�#��7�8� �""��"�#��������/��"#�"%��!#$,&�;�����!"��"��!"����#� "%�����(�#/��D ���$,&��+��������!"�,���$�"���)�&������ 6�*&���-��5"��%#�&��*���#"���"%�"�)���#�������!"�����"%��� !� �"�&��%�)��*�����&�#�#*���)���* �����(�,&����/�)��� �� !%�#"�#������ �"#,#(��,% �7 8���#$,����#��*�"/����"%� ����!"�,���$�"���)�&����#*"�������#��"%�����(�#/��+D - ���������&���+D9 �����D0 -���$,&������*&���#���"#��"�"� "%�"�"%�����"��&�����!"��"��!"������*�"��"��&& �����!"��"%� !%���!"���#������!"�,�#��!"�#�������(����"%���"%��$�&�"���"� $��"�� ���/#�&���&�#�&�'��"#��"�����"%�"�6@��"�!%������$�'�� �"�,#���*&��"#�,���#�$�����"�"�"�)�����(�#�"�!��#��������!� "�#��,���$�"�����#��,#��"�����!"������"%��$�&����������!�"� "����(�+ 0ds )0( µµ �������&�9��⋅10-4 for (111) reflections and 0��⋅10-5 for (333) reflections)+������(��4-��5"��%#�&� *���#"���"%�"�*#"%�"%��$������$��"���������& ����#����!% &#/���"����"����#�����������!�""����(����"%���$$����"��)�� !���" �#��"%����!�,�#!�&�&�""�!��,#��"�����#�& �,#���*&����� "#���,���"�#��#��$�!%�%�(%���!#�"��*�"�#���"#����������!�"� "����(���#$�$�!�#����!"�� �����* �� ���%�)��$������!#$,��%����)����)��"�(�"�#��#������!" �"��!"�����#���.#!%��&�'��(�#/����&�!#�����(&��!� �"�&� �����&����"�.�O� 0 �1���>���!"�#*���)�"�#���* ��"#$�! �#�!�������!�����(��&�!"�#��$�!�#�!#,������*&������"# ��"��$����"%��$����" ,���#������!"�����"%���*#)��%�(%& � ,����!"�!� �"�&�������&�#�$��������6@���#��"%����!� �� "�&��* �%�(%����#&�"�#���#�*&��!� �"�&�������!"#$�"������ ,���#�$���������& ����#��"%������&"��#*"�������5���#��(�"%�� /��*�����#��"%��(�����&�.���� ��$�!�&�"%�#� �#�������"�#�� �!�""����(�* ��$,����!"����(&��!� �"�&���6%������*&������"# ��"��$������$���!�&�)�&����#��"%������!"�!%���!"����"�!�� ���/�&&����#��������!"�#��,���$�"����#�����������!�""����( ��#$�,#��"�����!"������"%��$�&����������!�""����(� 6%������&"��#*"����������"%����!#$,����#��"#�"%������ ����!����"���#����$�&�����$,&���"%�"�/����#*"����������( ���"��!"�)��$�"%#���#������!"�#*���)�"�#���)����!��"%�"��" ���,#���*&��"#�,���#�$���&��*&������%�(%& ����#�$�"�)����� �(�#�"�!��#��!#$,&�;�����!"��"��!"�����������(&��!� �"�&� * �!#$*���"�#��"%���#�����"��!"�)��$�"%#���#������!"�#*� ���)�"�#���������� ���������"��&�"�!%������#��"#"�&��#!'� ��(�!��)�� :��������� �� ��� �&�� ��� ��� P��%�&&�$#�"� KK� ?"� @��� "� 5� < �� ��:�� ,�� 4� +�339-� �� ���?#�(%����� ?�� ��)�!����� �����&&������ �"�&&�� KK�?"��!!�"� ����� ;;+3-�� ,�� 4��3� +�330-� 9� ���Härtwig, G. Hölzer, E. Föster, K. Goetz, K. Wo'�&�'�������#&��KK�����" � � "�� ����/$+�-��,���9�+�334-� 4� @�>��>��&�""���� �I��H���&���� ���L/�����>��?&�!'�����:����� KK�?"�����"�A/��!!�"� ������ $�+4�-�� ,���9� +�333-� 0� F��>��"�!%��F��:��"�������$$��(��KK��!!�"�����"�;� ��1���,� �4� � +�3< -� �� ���P��%�&&�$#�"�KK�?"�@��� "�5� < ���<4��,������+�33 -� � Q���%�'������F�� 5$����Q�� ��.�'���Q��Q�"����(�� KK� ?"� @��� " 5� < �� �4$�� ,�� �4�� +�33 -� <� 6��5�%�'�/��KK�?"�����"�A/��!!�"��������<+4�-��,����0��+�330-� 3� �����P#�#�'#)��>�������'��#)��������%�'%#)�'������H��F�'� ��$#)� KK�B��.3�=�+9-�� ,�� � 33� +�3< -� � � �����P#�#�'#)��������%�'%#)�'������P��D#$#)"��)�������>��� *�� ��� KK�����"� � � "� � �"� +�-� �$/+�-�� ,�� 9 �� +�33�-� ��� ��@�� �!%�������� @�� ?#�!%����� :����I����� :����(���/�� KK �� ��@��� ��� 8�"� �� /<+�-�� ,�� < 4� +�33�-� ��� @�� ?#�!%����� ��@�� �!%�������� ���I�,"��� ���F���#&#�����@��� �"�/��"��:����(���/������R�&�%���� KK�?"��!!�"� ������;;+�-� ,�� 009� +�330-� �9� ��F�� D�)��(�"#��� ���F���#&#�����@������/$���� ?���� ��'�� @�����"�/��"��F����?�����������?�#/�����I����&'���KK�?"�����" @/� � � �� � � �� ������ �;+94-�� ,�� ��09� +�3<4-� �4� P�?��F#&#�'������5��L&�'%#)�'���� ����H��&#)�'����P����H��)�"�'������P��D#�S� �P�����)�'���� ��5!���?�H��D���#��KK�6� ��� � C ��� �� ,� �� � .���� � 8 ��=+��-��,���0�+�33 -� �0� P�P����$#�%'�&��'#��P�?��F#&#�'���� ��5��L&�'%#)�'���� ��� H��&#)�'����P����H��)�"�'���� �I��D��S�� �P�� ���)�'�� �� �� 5!�� ?�H��D���#���> ��$�!���"��,��"�"�#��#��"#"�&��#!'��(�!��)���#��?��(( ���� �������!"�#��* ����(&��!� �"�&��/�"%�$�!�#����!"��+���@������-� ���!� � ����@����H��)�+�33<-� ��� D�5��>�"���'#��P�?��F#&#�'����F� ��L���#)�'�����A���� ��D'������� ' �� �8�>���� ����@��� ����+���@������-�����'#)��>�$'���H��)�+�3<<-� � � ��:��>�����!%��KK�����"�:�,"�7�/+4-��,��� 4��+�3 �-� �<� ?����D���#�� KK�?"��!!�"�@��� ��<+�-�� ,�� �0 � +�3 0-� �3� R�I������'����D'����@��� ��� ! ���+���@������-�����'���F#�!#/ +�3<�-� � � ��5��L&�'%#)�'���� �F��H��&#)�'����P�?��F#&#�'���� �I��D��S� 6����P&���$��#)���L�P��@��%�"��'� KK�6� ��� � C ��� �� ,� �� � .���� � 8 ���+�-��,��9�+� -� ��� �F��H��&#)�'������5��L&�'%#)�'����P�?��F#&#�'���� �I��D��S��6��� P&���$��#)��KK�6� ��� � C ��� �� ,� �� ��.���� � 8 ���+ -��,��9�+� -� ��� F����H��)#(&�.��D'����������� � ��A ����� �� ��� �'������@���' ����+���@������-�����'#)��>�$'���H��)�+�3<9-� �9� :��6���'���� KK�B"���8�<"�������$�+0-�� ,�� ��3� +�3 �-� �4� :��6���'�����:�� �,�&"��:�� ����&� KK�����"� � � "� � �"� 0�1��+�-�� ,� H3 � +�3 -� �0� ��� %�%��"��:��6���'�����?����D���#��KK�����"�:�,"�7��1+�-��,� <94� +�3<�-� ��� H�����������5�#����H��H#%���KK�?"�@��� "�5� < ��/=��,�� 43�+�3< -� � � ���?��(%#&.��F����?������I�@��?##'���������:�"!%��#�����:��H��������� F���#&#�����@������/$����@�����"�/��"����I����&'���KK��� �"�6�8"�7 1=+0-��,��433�+�3<3-� �<� H�� ����#'��� ��� 5'����� 6�� Q�$�$#"#�� ��� H#*� ��%�� KK� ?" �!!�"� ������ ;/+3-�� ,�� 049 � +�339-�