APA (7th ed.) Citation

Kravetsky, M., Sypko, S., & Fomin, A. (2002). Investigation of the effect of technological parameters on efficiency of chemical string cutting of semiconductor materials. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Kravetsky, M.Yu, S.A Sypko, and A.V Fomin. Investigation of the Effect of Technological Parameters on Efficiency of Chemical String Cutting of Semiconductor Materials. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2002.

MLA (8th ed.) Citation

Kravetsky, M.Yu, et al. Investigation of the Effect of Technological Parameters on Efficiency of Chemical String Cutting of Semiconductor Materials. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2002.