Микроскоп МКИ-2М
Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном п...
Gespeichert in:
| Datum: | 1999 |
|---|---|
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122690 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-122690 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1999, ¹ 1
30
ÎÏÒÎÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÈÑÒÅÌÛ
0...45°
0�155 ìì
0...25 ìì
0...0,9 ìì
Àïåðòóðà
ýïèìèêðî-
îáúåêòèâà
Íîìèíàëüíîå
óâåëè÷åíèå
ìèêðîñêîïà,
êðàò
(ñ îêóëÿðîì
12,5 êðàò)
Ëèíåé-
íîå
ïîëå
çðåíèÿ,
ìì (íå
ìåíåå)
Âèçóàëüíàÿ
ðàçðåøàþ-
ùàÿ
ñïîñîáíîñòü,
ëèí/ìì
(íå ìåíåå)
0,08 64 3,50 150
0,15 125 1,70 400
0,35 250 0,80 600
0,50 500 0,40 1200
0,75 1000 0,20 1800
0,95
ïî cïåöçàêàçó
1250 0,16 2400
Ïðåäíàçíà÷åí äëÿ èñïîëüçîâàíèÿ â òåõíîëîãè÷åñêîì ïðîöåññå ïðè ïðîèçâîäñòâå èçäåëèé ýëåê-
òðîííîé òåõíèêè äëÿ êîíòðîëÿ äåôåêòîâ ñòðóêòóð èíòåãðàëüíûõ ìèêðîñõåì íà ôîòîøàáëîíàõ è ïîëó-
ïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèíàõ.
Ìîæåò ïðèìåíÿòüñÿ äëÿ èññëåäîâàíèÿ ôîòîøàáëîíîâ è ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí â ñâåòëîì è
òåìíîì ïîëå îòðàæåííîãî ñâåòà ïðè ðàçðàáîòêå òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ, â ëàáîðàòîðíîé ïðàêòèêå
è äëÿ ìàññîâûõ êîíòðîëüíûõ îïåðàöèé âíåøíåãî âèäà èçäåëèé ïðè ïðîèçâîäñòâå ÈÑ.
ÊÁÒÝÌ-ÎÌÎ
Í À Ó × ÍÎ-ÏÐÎÌÛØËÅÍÍÛ Å Ö Å Í Ò Ð Û Ñ Í Ã
Óãîë íàêëîíà îêóëÿðíûõ òóáóñîâ
Äèàïàçîí ïåðåìåùåíèé ïðåäìåòíîãî
ñòîëà ïî êîîðäèíàòàì X, Y
Äèàïàçîí ïåðåìåùåíèé ïðåäìåòíîãî
ñòîëà ïî êîîðäèíàòå Z:
ïðè ãðóáîé ôîêóñèðîâêå
ïðè òî÷íîé ôîêóñèðîâêå
ÌÈÊÐÎÑÊÎÏ ÌÊÈ-2Ì
öåâîãî òèïà è òèïà «ñåëôîê». Ïðè ýòîì øèðèíà
ïîëîñû îäíîìîäîâîãî ðåæèìà ó òàêèõ ñâåòîâîäîâ
óâåëè÷èâàåòñÿ ïðèìåðíî âäâîå. Ïðè ñáëèæåíèè çíà-
÷åíèé ôàçîâîé è ãðóïïîâîé ñêîðîñòè ïîëó÷àþòñÿ
âîëíîâîäû êîëüöåâîãî òèïà âñå áîëüøåé òîëùèíû,
îäíàêî ïðàêòè÷åñêîãî èíòåðåñà îíè íå ïðåäñòàâëÿþò.
Ïîëó÷åííûå ðàñ÷åòíûå ôîðìóëû äëÿ îïðåäåëå-
íèÿ ôóíêöèè èçìåíåíèÿ äèýëåêòðè÷åñêîé ïðîíèöàå-
ìîñòè â ïîïåðå÷íîì ñå÷åíèè îäíîìîäîâûõ âîëîêîí
è ðàñïðåäåëåíèÿ ïîëÿ ðàñïðîñòðàíÿþùåéñÿ â íèõ
ìîäû ïîçâîëÿò êîíñòðóèðîâàòü îäíîìîäîâûå âîëîê-
íà ñ óëó÷øåííûìè õàðàêòåðèñòèêàìè..
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ãåëüôàíä È. È., Ëåâèòàí Á. Ì. Îá îïðåäåëåíèè
äèôôåðåíöèàëüíîãî îïåðàòîðà ïî åãî ñïåêòðàëüíîé ôóí-
êöèè // Èçâ. ÀÍ ÑÑÑÐ. Ñåðèÿ ìàòåìàòè÷åñêàÿ.� 1951.�
¹ 4.� C. 309.
2. Case K. M. On wave propagation in inhomoge-
neous media // J. Math. Phys.� 1972.� Vîl. 13,
N 23.� Ð. 360�387.
ÃÍÏÏ «ÊÁÒÝÌ-ÎÌλ
Ðåñïóáëèêà Áåëàðóñü, 220763, ã. Ìèíñê, ïð. Ïàðòèçàíñêèé, 2
|
| spelling |
irk-123456789-1226902017-07-18T03:03:11Z Микроскоп МКИ-2М Научно-промышленные центры СНГ Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном поле отраженного света при разработке технологических процессов, в лабораторной практике и для массовых контрольных операций внешнего вида изделий при производстве ИС. 1999 Article Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122690 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ |
| spellingShingle |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ Микроскоп МКИ-2М Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном поле отраженного света при разработке технологических процессов, в лабораторной практике и для массовых контрольных операций внешнего вида изделий при производстве ИС. |
| format |
Article |
| title |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_short |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_full |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_fullStr |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_full_unstemmed |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_sort |
микроскоп мки-2м |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1999 |
| topic_facet |
Научно-промышленные центры СНГ |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122690 |
| citation_txt |
Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed |
2025-07-08T22:11:39Z |
| last_indexed |
2025-07-08T22:11:39Z |
| _version_ |
1837119107856596992 |