Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин - Добровольский, Ю.Г. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 1999)
Метод и оборудование для его реализации позволяют проводить контроль полупроводниковой пластины и отдельных ее участков.