Структура, свойства и получение твердых нанокристаллических покрытий, осаждаемых несколькими способами - Береснев, В.М.; Погребняк, А.Д.; Азаренков, Н.А.; Кирик, Г.В.; Ердыбаева, Н.К.; Понарядов, В.В. (Успехи физики металлов, 2007)
В обзоре представлены результаты, касающиеся нового направления создания наноматериалов и нанотехнологий, а конкретно, получения, структуры и свойств нанокомпозитных и нанокристаллических покрытий, нанесенных несколькими методами, имеющих не только высокую твердость, но и другие механические характеристики. На примере нитридов, силицидов, оксидов и их комбинации показаны способы получения, изучена структура и свойства покрытий в зависимости от условий и параметров нанесения или осаждения покрытий. Особое внимание уделено получению нанокристаллических, многокомпонентных, нанокомпозитных материалов, нанесенных вакуумно-дуговым, магнетронным и ионноассистируемым осаждением. Кратко описаны области возможного применения таких покрытий. Проведен анализ работ и рассмотрена физика процессов получения твердых и очень твердых покрытий.