Микроэлектромеханические системы в медицине - Шоффа, В.Н.; Бандорина, Е.Г. (Электрические контакты и электроды, 2016)
Представлен обзор МЭМС и биоМЭМС, областей их применения, конструкций, разработок микрозеркал, а также результаты аналитического расчета и расчета в программе Comsol Multiphysics микрозеркала с тепловым приводом.