Микроэлектромеханические системы в медицине
Представлен обзор МЭМС и биоМЭМС, областей их применения, конструкций, разработок микрозеркал, а также результаты аналитического расчета и расчета в программе Comsol Multiphysics микрозеркала с тепловым приводом....
Gespeichert in:
| Datum: | 2016 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2016
|
| Schriftenreihe: | Электрические контакты и электроды |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125929 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Микроэлектромеханические системы в медицине / В.Н. Шоффа, Е.Г. Бандорина // Электрические контакты и электроды. — К.: ИПМ НАН України, 2016. — С. 13-22. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |