Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния - Филатов, Ю.Д.; Ветров, А.Г.; Сидорко, В.И.; Филатов, А.Ю.; Ковалев, С.В.; Курилович, В.Д.; Данильченко, М.А.; Прихна, Т.А.; Боримский, А.И.; Куцай, А.М.; Полторацкий, В.Г. (Сверхтвердые материалы, 2015)
Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама.